第八章光纤白光干涉测量术

白光干涉测量的2种方法•光程补偿法•波长扫描法光程补偿法总结：2个干涉仪，一个传感，一个工作在扫描状态，在2干涉仪的光程差相同时，获得最大干涉条纹。或者扫描干涉仪的一个臂，在两臂光程差相同时得到最大条纹。缺点：只能实验室使用波长扫描法•宽带光源注入干涉仪，•测量光谱中的周期波长间隔波长测量法中，用光谱仪获得的光谱波长扫描白光干涉测量中的问题：一、光谱仪昂贵，且不便于仪器化。一般有2种解决方案：1、基于CCD阵列的光谱仪结合Fizeo干涉仪，或玻璃衍射光栅。但CCD在1um无响应，与光纤系统的发展趋势不吻合2、用可调谐F-P滤波器，或基于此的光纤激光器进行扫描，获得白光光谱，更适合仪器化和工程化二、白光光谱呈正弦分布，不能准确的测量出峰值处的波长波长扫描白光干涉光谱获取技术光谱仪和可调谐滤波器采集光谱比较（M-Z干涉仪）传统的OPD测量方法2121OPD1.2.3.2121*int(0.5)OPDOPD与某一个峰的波长变换傅里叶变换频率法北京理工大学：OPD测量中的相位测量技术白光干涉相位测量术原理12212()OPDn目前已经研究的基于相位解调的白光干涉测量术•傅里叶变换白光干涉测量术•傅里叶变换白光干涉相对测量术•波长扫描白光干涉测量术•相移白光干涉测量术•白光干涉正交测量术1.傅立叶变换白光干涉测量实验结果傅里叶变换白光干涉测量术复用2个传感器傅立叶变换白光干涉相对相位测量术原理（略）2:波长扫描白光干涉测量术解调原理测量的相位与傅里叶变换白光干涉法的比较3.相移白光干涉测量术一2()()cos[(2)]3kIabk13213(3)2IIarctgIII1,23kor3.相移白光干涉测量术二131()sin3IIgb21322()cos3IIIgb测量温度测量应变连续加应变时与频率法的比较4.白光干涉正交测量术目的：解决短光程差的干涉仪光程测量正交信号的李萨如图正交解调算法双谱峰追踪法波动±170nm正交法波动为±80nm号外：北京理工大学推出光纤可调谐FP滤波器（OFTF）性能•自由光谱区宽度FSR：755nm•3dB线宽=0.1~0.15nm•精细度F=600-700•损耗Loss=3dBFSR=74.6nm3dB线宽：0.08nmFSR=74.6nm精细度：938