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1报告编号：机密等级：一般件解密期限：流通号：半导体厂及光电厂化学品供应系统安全基准建立(结案报告)计划主持人：林永芬执行人员：余清其、黄崇琦、林木荣合作单位：新竹科学工业园区管理局中华民国八十八年一月十五日谢志『半导体厂及光电厂化学品供应系统安全基准』之建立，承蒙新竹园区管理局钟锦海专委及林辉宏先生多方协助，提供园区厂商化学品现况数据、厂商协调作业及计划审议行政之执行。于计划执行期间，对于科学园区相关现况之调查及使用状况，更感谢德碁半导体、华邦电子、世界先进等司对安全基准提供工厂实际运作及未来发展方向之指导参考，也感谢台湾伊默克公司提供台湾供货商施工之安全考量。最后谢谢所有参与说明会之先进莅临指导草案之修正，期盼使本安全基准能成为捍卫工厂安全之共同基本准则。財團法人工業技術研究院工業安全衛生技術發展中心執行單位：23摘要近年来园区产业之重大工安意外事故频传，由新竹科学园区民国83年至87年灾害分析数据显示，与化学品接触引发之职业灾害占发生灾害类型之第二位。并由日本半导体制程灾害事故分析显示，液体类化学品造成的灾害事故高达61%，为能有效发挥与落实安全管理制度，期建立半导体厂及光电厂液体化学品之储存、供应、使用相关规范、标准，使各厂能有统一之安全基准为管理参考依据，使业者透过安全基准规范，以有效发挥及落实安全管理，避免意外事故之发生。本计划不仅可做为现有化学品供应系统之安全基本依据及准则，对于系统之新建、修改及变更使用，对作业期间之自动检查与稽核，对维护保养管理之安全规范，均可为重要基本安全参考依据及要求，以预防半导体厂及光电厂所使用之化学品造成危害。过程中除汇整国内之劳工安全卫生施行细则及设施规则、特定化学物质危害预防标准、有机溶剂中毒预防规则、中国国家标准CNS…等，更参考国外规范如：SEMIS2-93、NFPA318、FMDataSheet7-7、FMDataSheet7-29、UBC…等相关资料，草案研拟并配合专家与业者实务经验，共同探讨研拟出可行性高、标准一致的准则，以建立最适宜台湾科技产业应用之安全基准。本基准以可燃性液体、酸性液体及碱性液体三类为研究建立标的，防范液体化学品外泄引火、腐蚀、泄漏、不兼容性混合及毒性之潜在危害为研究要项。基准之制定将化学品供应系统依化学品入厂至出厂所有过程为考量，以区域划分考量范围内之安全设施，将之划分成概述、收货区、储存区、储槽、分配输送房、清净室、输送系统管线及废液处理等项目。其各节重点如下：第一节概述，为整体性之人员防护管理、火灾阻隔设计及物质标示等；第二节收货区／码头，以化学品不兼容性、搬运储存、泄漏防护等为重点；第三节储存房，重点为化学品排液防护、通风排气及储藏设计；第四节分配输送房，重点为通风排气、排液泄漏、限量储存等；第五节储槽，4重点为排液系统、安全指示／警报设计、泄漏应变及防制等；第六节储存柜／桶瓶空器／手推车，规范储存柜设计、容器使用限制、手推车使用规范等；第七节输送系统／管线，着点输送设计、加压系统安全防护及泄漏侦测；第八节清净室，规范使用于清净室之手推车、化学品使用限量及储放溢流保护等；第九章废液处理，重点为不兼容性危害及废液收集保护系统等。由以上建立安全卫生管理信息、准则方案，以确实达到防止灾害发生，保障劳工安全与健康，提升园区整体生产效率并创造整体产业经营利润。5目录志谢......................................................Ⅰ摘要......................................................Ⅱ目录......................................................Ⅳ图目录....................................................Ⅴ表目录....................................................Ⅴ一、前言...................................................1二、研究目的...............................................4三、实施方法...............................................5四、结果与讨论.............................................84.1潜在危害与作业区分类...............................84.2国内外数据汇整与草案制定...................................94.3实务分析与讨论....................................104.4安全基准汇整与修正.........................................11五、结论与建议............................................135.1安全基准架构.......................................135.2安全基准条文.......................................135.3讨论及建议.................................................24六、参考文献..............................................26附件(一)化学品供应系统相关安全规范比较来自中国最大的资料库下载(二)半导体及光电厂化学品供应系统安全基准建立期中报告数据(三)期中及期末报告审议记录数据6(四)安全基准草案研讨说明会参与厂商及相关人员名单(五)化学品供应系统安全基准说明会记录及厂商回复意见(六)化学品供应系统安全基准、说明、意见及参考数据汇整表图目录图一全球半导体业之灾害损失(1985-1994).................3图二化学品供应系统安全基准执行流程....................7图三液体化学品供应系统流程架构图......................9表目录表一日本半导体制程灾害事故分析表..............................2表二半导体厂及光电厂化学品供应系统安全基准说明会时程表........................................................11一、前言近年来园区产业之重大工安意外事故频传，虽归因于安全管理制度未能有效发挥与落实，但对于化学品之储存、供应、使用…等安全基准无统一规范标准之参考依据，致使无法有效发挥及落实安全管理，造成意外事故发生。由新竹科学园区83年至87年灾害分析数据显示，与化学品接触引发之职业灾害占发生灾害类型第二位，并由日本劳工部对日本半导体制程灾害事故所做的一份分析显示，如表一，由液体类化学品造成的害事故高达61%，其中酸/碱液体占51%、有机可燃性液体也高达10%之多，所以对于液7体类化学品的使用、输送及管理不可轻忽。由保险界对全球半导体业在1985-1994年间灾害损失金额及事故件数之统计资料分析出，液体泄漏造成的损失金额高居首位，损失有五亿八仟万美元，可能引发火灾的相关事件数也占首位(图一)。因此园区管理局有鉴于半导体及光电工厂制程使用之化学品其种类及特性之复杂性及高潜在危害性，为保障其作业人员、经营财产、社会大众及整体环境安全，特针对化学品之供应系统进行「半导体厂及光电厂化学品供应系统安全基准」之研拟，过程中除汇整国内外相关数据，配合专家与业者实务经验共同探讨研拟出一致的标准或准则，以建立最适宜台湾科技产业应用之安全基准，使业者透过安全基准规范，建立安全管理信息、准则、方案，进而落实达到防止灾害发生，保障劳工安全与健康，提升园区整体生产效率并创造整体产业经营利润。8表一日本半导体制程灾害事故分析表制程灾害事故化学物质磊晶氧化微影蚀刻清洗不纯物扩散离子植入CVD加热搬运钢瓶柜其它合计发生率％酸、碱0092336703110039251气体230106210211244324有机溶剂00321100000021810其它00141403013022815合计23262751135134141211181100资料来源：日本劳工部调查灾害事例(1991)来自二、研究目的半导体厂与光电厂化学品供应系统安全基准建立计划，旨在保护人员从业之安全，预防半导体厂及光电厂所使用之化学品供应系统发生危害，故对特殊、高危险化学品进行必要性之安全规范，建立化学品供应系统安全基准。本计划之目的如下：(1)建立化学品供应系统安全基准(2)提供化学品安全稽核基准本计划不仅可做为现有化学品供应系统之安全基本依据及准则，对于系统之新建、修改及变更使用、作业期间之自动检查与稽核、维护保养管理之安全规范，均可为重要基本安全参考依据及要求，以预防半导体厂及光电厂所使用之化学品造成危害。10三、实施方法建立化学品供应系统安全基准的执行流程如图二所示，其每个工作项目之实施方法如下：3.1危害分类及危害分析：首先为鉴认作业场所潜在之危害化学品种类及其潜在之危害性与造成危害之方式，本基准以液体类之化学品为研究对象，将其分成可燃性液体、酸性液体及碱性液体等三类，涵盖系统潜在具有外泄引火、腐蚀、泄漏、不兼容性及毒性等主要危害为防范研究建立安全基准之要项。3.2化学品供应系统安全相关数据汇整：汇整国内现有之安全卫生相关法令，将有关液体类化学品储存、使用、输送等规范内容，与国际相关规范如SEMI、NFPA、FM…等汇整出之液体类化学品安全指引相互参照，做为供应系统安全基准建立之参考。3.3化学品供应系统安全实务解析：安全基准建立之时，与有关半导体厂及光电厂合作访谈参观，结合实务之作业了解与现场分析，适时回馈至数据汇整流程，以修正本基准之完整性。由数据汇整与分析，并配合供应系统安全实务解析，建立化学品供应系统安全基准之基本架构及草案条文之内容。3.4化学品供应系统安全基准草案检讨与修正：由建立化学品供应系统安全基准之基本架构及草案条文，敬邀半导体、光电厂及化学品供应相关各厂安全卫生代表，召开本草案基准之说明会及技术训练推广，由各界反应所得见意纳入检讨修正方案，并进行基准最后总讨论与修正。3.5化学品供应系统安全基准建立：化学品供应系统安全基准之建立，其草案内容并经由科学园区管理局敬请各科处、消防署及园区工安委员会安全基准小组等专家召开期中及期末两场草案之审查。同时而汇整修正之化学品供应系统安全基准，并函送中华民国台湾半导体产业协会(TSIA)进行本基准之审查。1112图二化学品供应系统安全基准执行流程化學品供應系統潛在危害分析化學品供應系統安全基準技術說明化學品供應系統安全實務解析彙整SEMI安全基準彙整化學品供應系統安全技術化學品供應系統安全基準建立完成化學品供應系統安全基準可燃性液體酸性液體鹼性液體化學品供應系統安全基準檢討修正國外技術合作業界參與討論13四、结果与讨论4.1潜在危害与作业区分类来自中国最大的资料库下载本基准以可燃性液体、酸性液体及碱性液体三类为研究建立标的。可燃性液体以外泄引火为主要危害，酸性液体及碱性液体以材料腐蚀或碰撞泄漏、人员接触为主要危害，其中也包括毒性物质造成人员健康危害及储存化学品燃载量之限制。液体化学品供应系统从进料作业区起，若由槽车送入工厂，可藉由输送至储槽经由管线送至化学供应房及清净室，若是桶装或瓶装则可藉由货车在码头区卸货，再由堆高机或手推(拉)车送至化学储存房或分送至化学供应房及清净室使用，使用后之废弃物转存至废液收集桶，再输送至废液槽或废液储存房储存。本安全基