第2讲净化间安全

微/纳制造工艺技术Microfabricationtechnology第二讲：净化间安全乔大勇课程内容净化间布局一认识常用化学药品三应急设备使用方法二安全制度四净化间布局－工作区纯水站空调机房走廊走廊净化间布局－辅助区应急设备使用方法－灭火器火灾大体分为四种类型：A类，木材、布料、纸张、橡胶以及塑料等固体可燃材料的火灾。B类，易燃/可燃液体、易燃气体和油脂类火灾。C类，带电电气设备火灾。D类，镁、钠、钾及其合金等可燃金属的火灾。应急设备使用方法－灭火器Ａ类火灾Ｂ类火灾Ｃ类火灾Ｄ类火灾水灭火器：○×××机械泡沫灭火：○○××二氧化碳灭火器：×○○×卤代烷灭火器（1211）：○○○×ＡＢＣ干粉灭火器：○○○×ＢＣ干粉灭火器：×○○×Ｄ类干粉灭火器：×××○应急设备使用方法－灭火器本超净间配备有15只烟雾报警器及如下的消防设施：声光报警器一只1211灭火器6只消防水箱两只紧急逃离通道标识灯4只手动报警器4只净化间电话可拨打外线报警应急设备使用方法－灭火器不要尝试去扑灭比垃圾桶大小还大的火灾或已经明显失控的火灾!应急设备使用方法－灭火器不要尝试去扑灭比垃圾桶大小还大的火灾或已经明显失控的火灾!应急设备使用方法－灭火器失去控制事件发生是灭火立即危害生命人员受伤由紧急逃生口带伤者逃离由紧急逃生口迅速离开通知全体人员通知救护车否是否是否拨119应急设备使用方法－防毒面罩套头式过滤防毒面具口鼻式过滤防毒面具正压式空气呼吸器应急设备使用方法－冲身洗眼器身体溅到化学药品以冲身洗眼器冲洗通知全体人员立即脱去超净服应急设备使用方法－其它护目镜橡胶手套一次性洁净手套应急设备使用方法－其它皮裙耐高温洁净手套八小时日时量平均容许浓度（TimeWeightedAverage），也叫做TLV(ThresholdLimitValue)或PEL（PermittedExposureLimit)，系指在每天工作八小时，一般工作者重复暴露此浓度以下，不致于有不良反应；短时间时量平均容许浓度（ShortTermExposureLimit），系指一般工作者连续暴露在此浓度以下任何十五分钟，每天四次，不致有不可忍受之刺激，或慢性不可逆之组织病变，或麻醉昏晕作用事故增加之倾向或工作效率之降低；最高容许浓度，系指不得使一般工作者有任何时间超过此浓度的暴露，以防工作者产生不可表示物质易从皮肤、粘膜渗入体内。若容许浓度有注明忍受之刺激或生理病变者。若容许浓度有注明“皮”字，“瘤”字，表示此物质经证实或疑似对人类会引起肿瘤之物质；(Immediatelydangeroustolifeandhealth)，系指在一次30分钟的接触中可以致人昏死或造成不可逆器官病变的浓度，如磷烷的IDLH为200ppm，氨气的IDLH为500ppm.认识常用化学药品－名词解释TWASTELCEILINGIDLH认识常用化学药品－名词解释动物50％致死量，系指给予试验动物群组一定剂量（mg/kg）的化学物质，观察14天，结果能造成半数（50%）动物死亡的剂量称为LD50（MedianLethalDose）。单位为mg/kg，分子为物质的量，分母为试验动物的体重，表示每公斤试验动物所暴露物质的量有多少。由于实验结果会因试验动物的种类及试验方法而异，因此在LD50的数据后注明了试验动物种类以及物质进入体内的方式（如喂食、静脉注射、腹腔注射或皮肤接触等）。动物50％致死浓度，系指在固定浓度下，暴露一定时间（通常1~4小时）后，观察14天，能使试验动物群组半数（50%）死亡的浓度，亦即MedianLethalConcentration。单位为ppm，表示试验动物在每立方米空气中吸入了多少立方厘米数的物质。同样的，在LC50数据上也注明了试验动物的种类、暴露时间LD50LC50认识常用化学药品－丙酮外观无色液体，采用玻璃容器包装，有刺激性的醚味和薄荷味，有机溶剂，液体和蒸气易燃。其蒸气比空气重，会传播至远处，遇火可能造成回火，与浓硫酸蒸汽混合后易爆，轻微中枢神经抑制剂，高浓度蒸气可能引起头痛、恶心、头晕、嗜睡、动作不协调和精神混淆、刺激眼睛、吞食或呕吐时可能倒吸入肺部不同暴露途径之急救方法：吸入：移走污染源或将患者移到空气新鲜处，若不适的症状持续就需立刻送医。皮肤接触：以温水缓和冲洗受污染部位5分钟或直到污染物除去。眼睛接触：立即将眼皮撑开，用缓和流动的温水冲洗污染眼睛20分钟，或直到污染物除去，必免清水进入未受影响的眼睛，立即就医食入：若患者即将丧失意识或失去意识或痉挛，勿经口喂食任何东西，若患者意识清楚让其用水彻底漱口，切勿催吐，让患者喝下240-300毫升的水。丙酮（Acetone）C3H6OTWASTELCEILINGIDLH750ppm937ppm未定义未定义认识常用化学药品－浓硫酸外观无色液体，采用玻璃容器包装，强腐蚀性，本身不会燃烧，但高温会分解产生毒气如硫氧化物。与很多无机或有机化学品接触，可能导致火灾或爆炸，与金属接触会释放出易燃氢气，与水会剧烈反应。吸入或食入可能致死，会腐蚀眼睛、皮肤、呼吸道，可能造成失明、肺水肿（症状可能延迟发生）。不同暴露途径之急救方法：吸入：可能引起肺水肿，将患者移至新鲜空气处，严重者就医输氧。皮肤接触：去除污染衣物，以温水缓和冲洗受污染的部位不少于20-30分钟，就医。眼睛接触：立即将眼皮撑开，用缓和流动的温水冲洗污染的眼睛20分钟。可能情况下可使用生理食盐水冲洗，避免清洗水进入未受影响的眼睛，立刻就医。食入：若患者失去意识或痉挛，不可经口喂食，若患者意识清楚，让其用水彻底漱口。不可催吐。给患者喝下240~300毫升的水，若有牛奶，于喝水后再给予牛奶喝下。若患者自发性呕吐，让其身体向前倾以减低吸入危险，并让其漱口及反复给水。立刻就医。98%浓硫酸（SULFURICACID），H2SO4TWASTELCEILINGIDLH1mg/m32mg/m3未定义未定义认识常用化学药品－浓磷酸外观无色油状液体，采用玻璃容器包装，强腐蚀性，某些化学反应会释放毒性气体，与金属接触释放易燃氢气，腐蚀眼睛、皮肤和呼吸道，会引起眼睛失明和永久性的刮伤。不同暴露途径之急救方法：吸入：移除污染源或将患者移到新鲜空气处，就医。皮肤接触：脱掉污染的衣物，用缓和流动的温水冲洗患部20分钟以上，就医。眼睛接触：立即将眼皮撑开，用缓和流动的温水冲洗污染的眼睛30分钟，冲洗时不要让含污染物的冲洗水流入未受污染的眼睛里，就医。食入：若患者即将丧失意识，已失去意识或痉挛，不可经口喂食任何东西，若患者意识清楚，让其用水彻底漱口，不可催吐。给患者喝下240~300毫升的水以稀释胃部内的物质，就医。85%磷酸（PHOSPHORICACID），H3PO4TWASTELCEILINGIDLH1mg/m33mg/m3未定义未定义认识常用化学药品－发烟硝酸外观无色或淡黄色发烟液，采用玻璃容器包装，为强氧化剂，与可燃物接触反应产生热，可能引燃。会造成灼伤，可能导致皮肤永久损及失明。可能导致肺水肿而致死。有吸湿性。不同暴露途径之急救方法：同浓硫酸70%硝酸（NITRICACID），HNO3TWASTELCEILINGIDLH2ppm4ppm未定义未定义认识常用化学药品－氢氟酸外观无色液体，必须采用聚丙烯容器包装，刺激灼伤眼睛、皮肤及呼吸系统。可能造成骨质硬化，与水接触会有猛烈喷出的危险。储存于金属容器时，易燃性的氢气可能产生并累积。蒸氣對眼睛、鼻子、嘴巴及肺部有嚴重的刺激性，蒸氣的濃度在50~250ppm之間具有爆炸性。损害症状：接触30％以上浓度的氢氟酸，疼痛和皮损常立即发生。接触低浓度时，常经数小时始出现疼痛及皮肤灼伤。局部皮损初起呈红斑，随即转为有红晕的白色水肿，继而变为淡青灰色坏死，而后成为棕褐色或黑色厚痂，脱痂后形成溃疡。手指部位的损害为皮下组织坏死，呈灰褐色或黑色。甲周肿胀。严重时甲下积液形成，甲床与甲板分离，指甲浮动。高浓度灼伤常呈进行性坏死，溃疡愈合缓慢。严重者累及骨骼，尤以指骨为多见，表现为无菌性骨髓炎的征象。氢氟酸酸雾可引起皮肤瘙痒及皮炎。剂量大时亦可造成皮肤、胃肠道和呼吸道粘膜的灼伤。眼接触高浓度氢氟酸后，局部剧痛，角膜迅速形成瓷白色混浊，如处理不及时可引起角膜穿孔。40%氢氟酸（HYDROGENFLUORIDE），HFTWASTELCEILINGIDLH3ppm6ppm未定义未定义认识常用化学药品－氢氟酸不同暴露途径之急救方法：氢氟酸灼伤后的中和方法不少，总的原则是使用一些可溶性钙、镁盐类制剂，使其与氟离子结合形成不溶性氟化钙或氟化镁。吸入：用2.5%葡萄糖酸钙溶液超声雾化吸入，每次15-20ml，3次/日皮肤接触：氢氟酸灼伤治疗液（5％氯化钙20ml、2％利多卡因20ml、地塞米松5mg）浸泡或湿敷。以冰硫酸镁饱和液作浸泡。严重者可作钙离子直流电透入，利用直流电的作用，使足够量的钙离子直接导入需要治疗的部位，提高局部用药效果。在灼伤的第1～3天，每天1～2次，每次20～30分钟。重病例每次治疗时间可酌情延长。眼睛接触：立即分开眼睑，用大量清水连续冲洗15分钟左右。滴入2～3滴局部麻醉眼药，可减轻疼痛。可用1%葡萄糖酸钙眼药水滴眼。同时送眼科诊治。40%氢氟酸（HYDROGENFLUORIDE），HFTWASTELCEILINGIDLH3ppm6ppm未定义未定义认识常用化学药品－冰醋酸冰醋酸（ACETICACID），CH3COOHTWASTELCEILINGIDLH10ppm15ppm未定义未定义16℃为澄清、无色的液体；采用棕色玻璃容器冷藏保存。16℃以下则为无色冰状之固体，有很强烈的醋味及易潮解。其蒸气和液体可燃，蒸气比空气重会传播至远处，遇火源可能造成回火，吸入或吞入有害，蒸气会刺激呼吸道，引起肺部伤害，浓溶液会腐蚀眼睛和皮肤，引起永久眼睛受损如失明和皮肤灼伤，包括组织坏死和结疤。食入或呕吐可能倒吸入肺部不同暴露途径之急救方法：同硫酸认识常用化学药品－双氧水外观无色液体，采用塑料容器包装，刺激呼吸道，可引起轻度刺激及皮肤炎或鼻、喉严重刺激及肺水肿，会使皮肤发白。浓溶液会造成灼伤起泡并发红。浓度高的蒸气或雾滴会使眼睛发红、流泪、发炎，并可能损伤致盲。食入可造成喉咙及胃出血。吞入H2O2可能因产生大量氧气形成压力，而造成严重伤害。不同暴露途径之急救方法：吸入：即立将患者移至空气流通处，立即就医。皮肤接触：立即用水清洗皮肤。若渗透衣服，立即在冲水中脱掉衣服，并用水清洗皮肤，就医。眼睛接触：立即撑开眼皮，以温水缓和冲洗受污染的眼睛0-30分钟以上，就医。食入：若患者意识清醒，给水彻底漱口，或让患者喝250毫升的水稀释胃中物质，若患者意识不清，则不可服用任何东西。切勿催吐，立即就医。双氧水（HYDROGENPREOXIDE），H2O2TWASTELCEILINGIDLH1ppm2ppm未定义未定义认识常用化学药品－硅烷无色气体、有毒,会与空气反应、有窒息性影响，必须在特气柜中存储，采用专用管道、减压表和阀门进行控制与传输。与空气接触会自燃，燃烧时会释放出未结晶的二氧化硅浓烟。主要的健康危害是此气体在空气中会自燃且有潜在的剧烈燃烧危害。若硅烷在高压下释放或在高流速下，可能发生延迟性的爆炸。排放硅烷时若没有发生自燃，便要小心有极大危险将发生，进入泄漏区要穿戴正压式呼吸器。不同暴露途径之急救方法：吸入：施救前先做好自身的防护措施以确保自己的安全,需两人以上进行救援,将患者移至新鲜空气处，立即送医皮肤接触:脱掉受污染衣服，用大量水清洗患部，继续用水冲洗至少15分钟，结束时用干净衣物覆盖受伤部位，立即送医眼睛接触：撑开眼皮,使用温水缓慢冲洗15分钟，用湿润棉棒将眼睛任何可移除之异物移除，冲洗完毕用干净纱布覆盖，并以纸胶布固定，立即送医。硅烷（Silane），SiH4TWASTELLC50IDLH5ppm10ppm9600ppm未定义认识常用化学药品－二氯硅烷一种有毒的高燃性、毒性、腐蚀性液化压缩气体。必须在特气柜中存储，采用专用管道、减压表和阀门进行控制与传输。此气体无色但遇湿气时有白色烟雾。在