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清洗：1，槽内换液流程，包括开始通知哪些部门，准确的联系方式，由谁负责，排液，加液时间到正常开始生产整个过程等。机器槽内换液必须通知水站，告知自己所在部门、线别及要换排哪几种液，由工序长负责排液，加液由工艺完成，液加完以后，试投一片，测试减薄量的大小，能否正常生产。2，每个槽内换液的周期，和时间点。碱槽、酸槽24小时一次，3、5、7水槽12小时一次，制绒槽10天一次。3，液用完后如何确保连续生产，员工如何知道液用完。液用完后立即进行更换，员工在生产当中会根据报警信息的内容，告之工序长。4，物料员关于目前化学品如何领用，区分，管理。物料员是根据少量多次，单一品种，双人领用和专用领料车并佩戴防护用品，按酸碱和易燃易爆化学品不能储藏在同一贮藏室的原则实行分开和专人管理。5，三楼处集中换液的流程，每种化学品一般更换的周期（每桶）。要点:两人.一人换液,一人监督.换液人员穿戴好防护用具：双层乳胶手套,戴好防毒面具,穿好防酸服,穿好防护靴.a.设备报警后确定集中供液需要更换的化学品桶。b.将集中供液显示屏操界面中需要更换的化学品桶显示状况由“A线启用/B线启用”切换为“A线停止/B线停止”c.关闭进液管和回流管阀门。d.拆卸回流阀下端的回流管,（用扳手将空桶回流口拧紧）将回流管取下，放置于指定区域。e.将进液管从空桶进液口处进行拆卸,使其与空桶脱离.将空桶拉出至指定区域放好.同时将该液的满桶运送上来,使其进液口,回液口与进液管,回液管阀门位置上下相对应.f.打开满桶的回液口,将回液管下端插入.同时将其上端与回液阀接口拧紧.g.打开满桶的进液口,将进液管接上,拧紧.h.确认各接口是否拧紧.(进液口;回液口;进液管;回液管;阀门).i.将进液阀完全打开,将回液阀打开与水平方向呈30~~45度角即可。j.将集中供液显示屏操界面的显示状况由“A线停止/B线停止”切换到“A线启用/B线启用”观察集中供液系统，确保无异常，即可恢复生产。k,确认化学品，放置化学品，将满桶回流盖松开，接入回流及抽液管，检查密封圈，接抽液管，检查各接口，关闭工艺窗。l,换液完复位液位，确认集中供液机工作，放置防护服，并记录让领班确认并签字。HF（一天）HNO3（两天）NAOH（一天）HCL（两天）6，上下道碎片如何区分，区分的作用。清洗上道和下道的碎片是分开记录，分开包的。上道的碎片是原装碎、隐、裂缺角，崩边等它是制绒前碎片。下道碎片是经过制绒后的碎片，一般是机碎，隐裂或人为造成的。它们区分的作用是：便于回收。7，设备故障达到什么程度需要向上汇报。因设备故障3分钟内不能处理，立即通知设备和领班。达到半小时后要通知当班主管，超过1个时间通知区域主管，超过2小时区域主管通知高级主管。然后由高级主管通知经理。由设备开设备维修单。8，如果不合格片退库，手续如何办理？如果因原材料硅片不合格，异常缺陷，首先保护好现场，然后找巡检过来拍照取证，把材料交给领班，由领班退库，由领班和巡检交涉退库事项。9，清洗间每条线每个班要求的产量，在制品要求的上下限，工艺允许在制品的等待时间是多长。清洗间每条线每个班的产量现在是13500PCS，在制品的上下限，是4张流程卡，但如有特殊情况，根据情况来逐量增加，工艺允许在制品的等待时间是越短越好。10，减薄量的控制。工艺要求:0.3~0.4g通过速度V来控制减薄量,公式:△M1*V1=△M2*V2通过添加HNO3/HF来提高减薄量(比例:0.5L/1L),每添加0.5LHNO3减薄量提升0.02G通过控制药水自动调加速率来改变减薄量大小,例如500pcs/0.5L改成450pcs/0.5L,则减薄量增加0.02G11，制绒后绒面观测比较步骤:取较大碎硅片,过清洗线四次,并用显微镜观察绒面状况结果:未过清洗线的硅片表面无绒面,随着清洗次数增加绒面越大。扩散：1，换源流程？生产过程中要经常观看源瓶状态，待源瓶内液位低于2CM时即需换源，先需电话通知巡检人员到场，换源人员要穿防酸服，防酸裤，戴防毒面具及汗布手套和乳胶手套，将气源柜内快使用完的源瓶拆卸下来，拆卸时注意先关闭进气阀门后关闭出气阀门，然后将源瓶放至扩散间源瓶贮存室并登记。接下来便可取新源瓶，先检查外观是否正常，然后依次拧开出气阀门和进气阀门，观看瓶内液柱是否有异常，待巡检人员检查完毕后再将阀门拧紧，然后用推车推至车间进行安装，先将源瓶阀门再拧开，然后先接出气管再接进气管，完成后即进行鼓泡实验，将扩散小氮流量打到500，鼓泡10秒钟，再将流量打到1000，鼓泡10秒钟，一切正常后再将流量恢复为0，然后将源瓶放置到位，再将换源登记填写好，换源完成。2，如何确保源的先进先出？扩散间源瓶贮存室内的源瓶分两个位置放置，后入部分和先入部分，取源瓶时应从先入部分取，待先入部分全部使用完后，将后入部分标识牌调换成先入部分，这样便可确保源瓶的先进先出。3，换源需要做哪些安全防护措施？穿防酸服，防酸裤，戴防毒面具，双手要戴汗布手套和乳胶手套，必要时还需穿防酸筒靴。4，什么“五双”制度？双人使用，双人保管，双人维护，双把锁，双本账。5，开管式扩散炉与闭管式扩散炉的不同？优点？缺点？开管式扩散炉一般是指以前老厂使用的老式设备，其炉门较简陋，没有安装石棉保温隔热层，硅片放置在浆上后需在两端都放置石英档板。闭管式扩散炉即指现在三楼使用的新式设备，炉门处安装有石棉保温隔热装置，炉内只需放置一个石英档板。6，方块电阻与温度的关系？并且如何调整设备参数。方块电阻值与温度是成反比的关系，若方块电阻偏低则说明炉内温度偏高，此时需将温度调低，若方块电阻偏高则说明炉内温度偏低，此时需将温度调高。正常的方块电阻值是43-48区间，调整温度时一度温度对应一度电阻，最大调整幅度不宜超过5度。7，各温区之间的温度差极限值？炉内温区大体分为炉口，炉中，炉内三个部分，在操作界面上又被细分为5个部分，其中温区一和温区二显示的是炉口部分的数值，温区三显示的是炉中部分的数值，温区四和温区五显示的是炉内部分的数值，各大温区间的温度差极限值不宜超过30度，各小温区不宜超过10度。8，什么是拉恒温？先设定恒温850度，待温控器显示与设定温度一致时，便可根据炉尾热电偶所在位置查看实际温度，热电偶与炉体对应的位置分别为：炉口30CM，炉中70CM，炉内110CM，当热电偶测得实际温度低于850度时，则降PB数值，实际温度就会开上来，当热电偶测得温度高于850度时，则应加PB数值，实际温度就会降下来。9，洗管、洗舟的流程，配液比，以及维护的周期，由谁负责？洗管，洗舟的流程是，首先应通知设备人员将石英管从扩散炉内取出来放置在专用的推槽内，然后推运到洗管间内，再将清洗机内残留的杂质和水份排干净，关闭阀门后接着便往清洗机内放水至20-30CM，然后便开始向机槽内配HF，HCL，再将石英管放入液体中依操作说明进行清洗流程，有喷淋，鼓泡，转洗三个过程，待流程完成后，将液排至另一边槽内，然后再用水枪对石英管进行水洗，最后再用气枪将石英管吹干，即可通知设备将石英管安装回扩散炉。清洗石英管和STC桨的配液比是：HF（32L）；HCL（8L）=4：1清洗石英舟的配比是：HF(16L)；HCL（8L）=2：1石英管、STC桨及石英舟的维护由工艺人员负责。10，方块电阻不均匀度的计算方式？测方块电阻是在炉口、炉中、炉内、三个位置各取两片，测其中间部位的电阻值，取六片中电阻最大值减去最小电阻值，再除以最大电阻值加最小电阻值，即可得出其不均匀度。11，新式舟与旧式舟的区别？新式舟每舟可装150PCS硅片，硅片是朝负斜方向放置的，旧式舟每舟可装300PCS硅片，是垂直放置的。12，偏磷酸的产生？处理？偏磷酸是由于PCL3与硅片上残留的水份及进出管时空气中的水汽反应生成的，现在每个炉管都装有不锈钢槽盛偏磷酸，每班在下班前都会用酒精和碎布将其清理干净。13，一旦发生POCL3泄露如何处理？A，先紧急疏散人员并隔离封锁受到危害的区域，同时迅速通知安全部门；B，限制闲杂人员及未穿防护装束人员接近；C，进入危险区域观察前，空气呼吸器和个人防护装束必须穿戴完整；D，污染区未完全清理前，限制人员接近，直至完全清理干净为止。14，TCA2+1、4+1、8+1的区别？什么是TCA，是什么饱和？作用是什么？为什么不再继续做TCA而只做饱和？TCA（C2H3CL3）三氯乙烷，是指用TCA进行清洗操作，清洗掉石英管内的金属杂质，饱和是指模拟一次扩散过程，使石英管内充满磷元素，这样会使生产时硅片的扩散更充分更均匀。2+1是指先做两个小时的TCA清洗，然后再做一个小时的饱和，依次类推：4+1和8+1。15，扩散的舟速扩散进管和出管的舟速是250M/H或300M/H。16，什么叫硅晶脱落？什么叫崩边？中间裂纹？对角裂纹？十字裂纹？如何确认扩散前产生的裂纹还是扩散后产生的裂纹硅晶脱落是指在硅片表面四边有硅晶体脱落，但没有达到缺角的程度，崩边是指在硅片的四边有缺角且较严重，中间裂纹即指在硅片中间部位有裂纹，对角裂纹是指在硅片的四个角有裂纹产生，十字裂是指有裂纹交叉成十字形状，多发生在单晶硅片上。扩前裂纹在裂纹处有扩散痕迹，而扩后裂纹则没有。17，扩散间每条线每个班要求的产量，在制品要求的上下限，工艺允许在制品的等待时间是多长，另外，要求前清洗间保证的在制品数量是多少。每个班要求达到的产量在13000PCS，扩前在制品要求在8批2400PCS，扩后在制品要求在3000PCS，允许在制品等待时间不能超过2小时，清洗间应保证在制品数量是3000PCS。18，方块电阻及其大小方法。方块电阻工艺范围：45-50方块电阻越小，表明搀杂浓度越高，所以只需要控制好反映速率便可很好的控制Si片的方块电阻，方法如下：1.小N2流量越大，方块电阻越小2.大N2流量小，可使炉口扩散不到，大N2流量过大，可以使单片方块电阻不均匀度变大；3.干O2流量变大，增大方块电阻；4.扩散温度越高，方块电阻越小（现场可以通过小范围改变温度来控制方块电阻）。刻蚀：1，槽内换液流程，包括开始通知哪些部门，准确的联系方式，由谁负责，排液，加液时间到正常开始生产整个过程等。通知水站7520，设施8791，工艺排液，产线人员协助作业，加液时间约为2小时，其中包括排液、酸洗、碱洗、清理碎片、降温、试生产。每个槽内换液的周期，和时间点。2、5、7号槽每周换液一次，3号槽每生产35万PCS换液一次，工艺提前一天通知，线负责人排液并协助换液。夜班生产结束7：30分排、碱洗、酸洗，8：00后由白班工艺配槽。2，上下道碎片如何区分，区分的作用。流入本岗位的都记作岗位碎片，在上料处有流入不合格片跟踪表做好详细记录，在月底时从本岗位报废中扣去，算到上道工序报废中，流入PECVD的，如果缺角现场确认箱内有碎屑则判为去PSG的报废，如果在盒内未取出有发现裂纹或其它不合格的，判为去PSG的报废。作用：清楚报废的原因，便于解决问题，责任划分，有效改进。3，什么是制程异常单、什么是工艺异常单，分别是用于哪里，开具的标准是什么，也就是在什么情况下开这两种异常单，相关处理流程和相关人员。制程异常单：是在生产过程中，发现影响质量的各方面问题，例如原材料问题，需要经QC确认现场并开具的。工艺异常单：由于工艺问题影响产量，报废或造成其它方面的影响，由工艺部门确认并开单的。处理涉及人员有：当班巡检，生产运转主管，领班，工序长，QC等。4，什么原则下可以停线？必须通知谁？谁有这个权限？满足下道工序，且产量完成后可以停线，通知领班和工序长确认。如发生重大事故（例碎片过多，换错液）则必须停线，立即通知领班或主管。5，清洗间每条线每个班要求的产量，在制品要求的上下限，工艺允许在制品的等待时间是多长。要求产量13000PCS，工艺要求流入PECVD区的在制品存放时间不要超过30分钟，保证后续的在制品数量为3000PCS，即10张单子。PECVD：1，批次与批次之间不满舟如何？不满舟会有什么结果？上一批不满一舟用下一批次填满，并分别记录区分开来。不满舟进行工艺，没有硅片的舟片上会沉积SIN膜，石墨舟物理性质下