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中北大学硕士学位论文GaAs基HEMT嵌入式加速度计结构与工艺设计研究姓名:刘国文申请学位级别:硕士专业:微电子学与固体电子学指导教师:薛晨阳20090526GaAs基HEMT嵌入式加速度计结构与工艺设计研究作者:刘国文学位授予单位:中北大学本文链接:授权使用:上海海事大学(wflshyxy),授权号:9ffcd3aa-cb5c-4122-83e3-9dfc0117b91f下载时间:2010年9月25日