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11.设备精度调整1.2机器参数的示教步骤在进行示教前，请确认偏振光板没有安装在吸头照相机上。各“机器参数的示教”画面可以按以下步骤打开。1.按主菜单画面的机器参数菜单画面将显示出来2.按[机器参数示教]键23.按操作面板的机器参数的示教菜单画面将显示出来4.按进行示教的参数键此处举一个例子，按[基板识别照相机XY轴原点偏移量]键5.选择进行示教的工作台6.按照画面的提示，开始机器参数的示教31.2.1基板识别照相机·XY轴原点偏移量1.按[基板识别照相机XY轴原点偏移量]键2.选择示教工作台3.按操作面板的+[固定标志位置移动]键吸头照相机将移动到标记位置4.按操作面板的+[照相机角度示教]45.按操作面板的+[XY轴原点偏移量照相机倍率示教]键。重复步骤2.~5的操作，在其它工作台上也要进行同样的操作。6.按功能键。回到机器参数示教菜单画面51.2.2Z轴原点偏移量A)高速吸头(8个吸嘴)时A)在使用8根130号吸嘴时(整体示教)1.按[Z轴原点偏移量]键2.选择示教工作台3.按操作面板的+[原点复归]键64.按操作面板的+[量具设置]键5.将伺服开关置于OFF状态6.打开安全盖7.在整个吸嘴位置上安装130号吸嘴8.关闭安全盖9.将伺服开关置于ON状态710.按操作面板的+[高度原点示教]键11.按操作面板的+[卸下夹具]键12.将伺服开关置于OFF状态13.打开安全盖14.取下吸嘴15.关闭安全盖16.将伺服开关置于ON状态重复步骤2.~16.的操作，在其它工作台上也要进行同样的操作817.按功能键18.按操作面板的+[执行]键9B)使用1根130号吸嘴时(每个吸嘴的示教)1.按[Z轴原点偏移量]键2.选择示教工作台3.按[每个吸嘴]键4.按操作面板的+[原点复归]键5.按操作面板的+[量具设置]键106.将伺服开关置于OFF状态7.打开安全盖8.在画面所显示的吸嘴位置上安装130号吸嘴9.关闭安全盖10.将伺服开关置于ON状态11.按操作面板的+[高度原点示教]键12.重复步骤5.~11.的操作，在吸嘴位置2到吸嘴位置8之间进行示教1113.按操作面板的+[卸下夹具]键14.将伺服开关置于OFF状态15.打开安全盖16.取下吸嘴17.关闭安全盖18.将伺服开关置于ON状态重复步骤2.~18.的操作，在其它工作台上也要进行同样的操作19.按功能键1220.按操作面板的+[执行]键吸头移向原点位置13B)多功能吸头(3个吸嘴)时A)使用3根1003号吸嘴时(整体示教)1.按[Z轴原点偏移量]键。2.选择示教工作台。3.按操作面板的+[原点复归]键。144.按操作面板的+[量具设置]键5.将伺服开关置于OFF状态6.打开安全盖7.将1003号吸嘴安装在全部吸嘴位置上8.关闭安全盖9.将伺服开关置于ON状态10.按操作面板的+[高度原点示教]键1511.按操作面板的+[卸下夹具]键12.将伺服开关置于OFF状态13.打开安全盖14.取下吸嘴15.关闭安全盖16.将伺服开关置于ON状态重复步骤2.~16.的操作，在其它工作台上也要进行同样的操作17.按功能键1618.按操作面板的+[执行]键17B)使用1根1003号吸嘴时(对每个吸头进行示教)1.按[Z轴原点偏移量]键2.选择示教工作台3.按[每个吸头]键4.按[吸头No]键。示教的号码将显示出来。反复按动该键，一直到要进行示教的吸头的号码显示出来为止5.按操作面板的+[原点复归]键186.按操作面板的+[量具设置]键7.将伺服开关置于OFF状态8.打开安全盖9.将1003号吸嘴安装在画面所示的位置上10.关闭安全盖11.将伺服开关置于ON状态12.按操作面板的+[高度原点示教]键13.重复步骤4.~12.的操作，在吸头位置1到吸头位置3之间进行示教1914.按操作面板的+[卸下夹具]15.将伺服开关置于OFF状态16.打开安全盖17.取下吸嘴18.关闭安全盖19.将伺服开关置于ON状态重复步骤2.~19.的操作，在其它工作台上也要进行同样的操作20.按功能键2021.按操作面板的+[执行]键吸头移向原点位置211.2.3芯片识别照相机·θ轴原点偏移量高速吸头(8个吸嘴)1.按[芯片识别照相机θ轴原点偏移量]键2.选择示教工作台3.按操作面板的+[量具设置]键吸头移动到量具设置位置之后，伺服开关将自动置于OFF状态4.将伺服开关置于OFF状态5.打开安全盖226.将量具置于3号吸嘴位置上多功能吸头时将置于吸头No1上7.关闭安全盖8.将伺服开关置于ON状态9.按操作面板的+[θ轴原点偏移量照相机倍率示教]键2310.观察吸嘴座的方向，不为0时按[是]键，0状态时按[否]键高速吸头(固定螺钉为正面=0)多功能吸头(爪在左侧=0)11.按操作面板的+[照相机角度示教]键当角度偏移量超过规定值时，将会出现相应的提示，装置将停止运行2412.按操作面板的+[识别位置示教]键13.将伺服开关置于OFF状态14.打开安全盖15.将量具重新安装在6号吸嘴位置上16.关闭安全盖17.将伺服开关置于ON状态18.按操作面板的+[执行]键2519.按操作面板的+[量具设置]键20.将伺服开关置于OFF状态21.打开安全盖22.将量具置于吸嘴位置4上(画面上的显示为pos4)此时，pos显示为4多功能吸头时，置于吸嘴No1上23.关闭安全盖24.将伺服开关置于ON状态2625.按操作面板的+[吸嘴角度原点偏移量]键26.重复步骤19.~25.的操作，进行示教操作，一直到吸嘴位置显示为2多功能吸头时所作示教应使吸嘴位置一直显示为3的状态27.按操作面板的+[卸下夹具]键28.将伺服开关置于OFF状态29.打开安全盖30.卸下夹具31.关闭安全盖32.将伺服开关置于ON状态重复步骤2.~32.的操作，在其它工作台上也要进行同样的操作2733.按功能键34.按操作面板的+[执行]键吸头移向原点位置281.2.4宽度调整轴的原点偏移量请将支撑销全部取下。1.按[宽度调整轴原点偏移量]键2.选择示教工作台3.按操作面板的+[原点复归]键宽度调整轴将复归到原点位置上4.按操作面板的+或者+转动宽度调整轴，在用游标测量传送带宽度的同时将宽度调整到460.5mm~460.7mm按[键速率]键，可以改变每次按动或者的动作量0.01mm→0.1mm→1mm295.调整结束后，按[偏移量设定]键示教结果将被保存重复步骤2.~5.的操作，在其它工作台上也要进行同样的操作6.按功能键回到机器参数示教菜单画面301.2.5确定基板位置及实装高度高速吸头(8个吸嘴)请将支撑销全部取下在进行基板定位、实装高度示教前，请确认偏振光板没有安装在吸头照相机上。1.按[基板定位实装高度]键在这里，有时可以进行传送带宽度的调整2.选择示教工作台3.按操作面板的+[量具设置]键314.将伺服开关置于OFF状态5.打开安全盖6.将吸嘴(130号)安装在吸嘴位置3号上多功能吸头时是1003号7.关闭安全盖8.将伺服开关置于ON状态9.按操作面板的+[量具调整]键吸头退避，第2实装位置的基板止动器将处于ON状态10.将伺服开关置于OFF状态11.打开安全盖3212.将实装高度量具1置于第2实装位置上将量具孔置于下图位置上自左到右，外侧基准自左到右，内侧基准自右到左，外侧基准自右到左，内侧基准13.关闭安全盖14.将伺服开关置于ON状态15.按操作面板的+[基板定位示教]键。进行示教操作16.按操作面板的[实装高度示教]进行示教操作3317.按操作面板的+[量具调整]键吸头退避，第1实装位置的基板止动器将处于ON状态18.将伺服开关置于OFF状态19.打开安全盖20.卸下第2实装位置上的实装高度量具1将量具置于第1实装位置上请将量具孔置于下图位置上自左到右，外侧基准自左到右，内侧基准自右到左，外侧基准自右到左，内侧基准3421.关闭安全盖22.将伺服开关置于ON状态23.按操作面板的+[基板定位示教]键进行示教操作24.按操作面板的+[实装高度示教]键。进行示教操作3525.按操作面板的+[卸下夹具]键26.将伺服开关置于OFF状态27.打开安全盖28.拆卸吸嘴和实装高度量具29.关闭安全盖30.将伺服开关置于ON状态。重复步骤2.~29.的操作，在其它工作台上也要进行同样的操作31.按功能键3632.按操作面板的[执行]键吸头移向原点位置371.2.6面补正在进行面补正示教前，请确认偏振光板没有安装在吸头照相机上1.按[面补正]键2.选择示教工作台请选择AF或BF前侧示教完之后接着示教后侧，以使整体都得到示教3.按操作面板的+[量具设置]键4.将伺服开关置于OFF状态5.打开安全盖386.先将面补正量具暂时放到与止动器相反方向的传送带上，然后使之滑动到Z夹具的下方，推碰到止动器上7.关闭安全盖8.将伺服开关置于ON状态9.按操作面板的+[量具调整]键10.将伺服开关置于OFF状态11.打开安全盖12.使面补正量具紧贴在Y方向基准导轨上3913.关闭安全盖14.将伺服开关置于ON状态15.按操作面板的+[面补正示教]键先进行前侧示教，接着进行后侧的示教16.按操作面板的+[卸下夹具]键17.将伺服开关置于OFF状态18.打开安全盖19.将量具拆下4020.关闭安全盖21.将伺服开关置于ON状态重复步骤2.~21.的操作，在其它工作台上也要进行同样的操作22.按功能键23.按操作面板的+[执行]键吸头移向原点位置411.2.7吸着位置在进行吸着位置示教前，请确认偏振光板没有安装在吸头照相机上。1.按[吸着位置]键2.选择示教工作台此时，请确认是否已选择好‘XY’和‘Z’(反转表示)工作台3.确认是否处于‘左工作台示教位置’状态当处在‘右工作台示教位置’时，按一下按钮就会回到‘左工作台示教位置’4.按操作面板上的+[量具设置]键5.将伺服开关置于OFF状态6.打开安全盖427.把吸着位置量具1安装在所选工作台的左侧第2个插槽上8.将130号吸嘴安装在吸嘴位置3上多功能吸头时是1003号吸嘴9.关闭安全盖10.将伺服开关置于ON状态11.按操作面板上的+[吸着位置示教]键4312.按[示教位置左工作台]键画面的显示将会切换为‘示教位置中工作台’13.按操作面板上的+[量具设置]键14.将伺服开关置于OFF状态15.打开安全盖4416.将吸着位置治具1移至选择工作台的14号插槽17.关闭安全盖18.将伺服开关置于ON19.按操作面板的[吸着位置示教]4520.按[示教位置中工作台]21.按操作面板的[量具设置]22.将伺服开关置于OFF23.打开安全盖4624.把吸着位置量具1移动到所选的工作台右端27号插槽上25.关闭安全盖26.将伺服开关置于ON状态27.按操作面板上的+[吸着位置示教]键4728.按操作面板上的+[卸下夹具]键29.将伺服开关置于OFF状态30.打开安全盖31.卸下夹具32.关闭安全盖33.将伺服开关置于ON状态重复步骤2.~33.的操作，在其它工作台上也要进行同样的操作34.按功能键4835.按操作面板上的+[执行]键吸头将移到原点位置上491.2.8吸嘴交换位置测定吸嘴交换器位置的量具在进行吸嘴交换位置示教前，请确认偏振光板没有安装在吸头照相机上。1.按[吸嘴交换位置]键以下画面是高速吸头时操作步骤的例示。多功能吸头的操作步骤也与此一样。2.选择示教工作台3.按操作面板上的+[量具设置]键504.将伺服开关置于OFF状态5.打开安全盖6.清除吸嘴交换器内全部吸嘴7.在11号和66号吸嘴交换器上安装吸嘴交换器位置量具，是多功能吸头时，安装11号和35号吸嘴8.在3号吸嘴位置上安装吸嘴(130号)，是多功能吸