MOCVD设备反应室的设计与分析

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西安电子科技大学硕士学位论文MOCVD设备反应室的设计与分析姓名:董佳鑫申请学位级别:硕士专业:微电子与固体电子学指导教师:张进城20080101MOCVD设备反应室的设计与分析作者:董佳鑫学位授予单位:西安电子科技大学本文链接:授权使用:上海海事大学(wflshyxy),授权号:0a0d2fcd-8365-45b4-aa5b-9dec009b2fb9下载时间:2010年9月9日

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