PECVD设备资料（PPT90页)

PECVD介绍PECVD工作原理PECVD结构介绍PECVD控制系统简介PECVD报警系统介绍PECVD操作系统介绍PECVD工艺气体特点简介PECVD工作程序介绍PECVD工艺分析与操作注意事项工作原理：CentrothermPECVD系统是一组利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器。在低压的情况下，等离子发生器直接在，装在镀膜板中间的介质的中间发生反应。所用的活性气体为硅烷SiH4和氨NH3。可以根据改变硅烷对氨的比率，来得到不同的折射指数。在沉积工艺中，伴有大量的氢原子和氢离子的产生，使得晶片的氢钝化性十分良好。PECVD的原理及作用PECVD设备结构晶片装载区炉体特气柜真空系统控制系统PECVD设备结构示意图●上下载部分:有电脑系统,净化风机,机械手等部分;主要作用:电脑是整个系统的控制中枢,净化风机起局部环境净化作用同时也是上料和下料部分.●废气室:有炉门排风系统组成;主要作用:为了保持扩散炉管内良好的密封性能,并将未能从尾气管排出的残留废气及时抽走,防止废气泄露.●炉体部分:由加热电阻丝组成;主要作用:通过大电流发热满足工艺要求的扩散温度.●气柜部分:由所需的各种气路,流量计及.主要作用:为工艺提供所需的气体流量.简要部分介绍上下装载区：桨、LIFT、抽风系统、SLS系统。桨：由碳化硅材料制成，具有耐高温、防变形等性能。作用是将石墨舟放入或取出石英管。LIFT：机械臂系统，使舟在机械臂作用下在小车、桨、储存区之间互相移动。抽风系统：位于晶片装载区上方，初步的冷却石墨舟和一定程度的过滤残余气体SLS系统：软着陆系统，控制桨的上下，移动范围在2—3厘米PECVD设备结构载片区部分介绍机械手桨小推车操作平台指示灯炉门石墨舟电极口炉体：石英管、加热系统、冷却系统石英管：炉体内有四根石英管，是镀膜的作业区域，耐高温、防反应。加热系统：位于石英管外，又五个温区。PECVD设备结构加热反应室热电偶1ＴＭＭ６炉管内部电极热电偶２窗口窗口电极热电偶2排气口炉管后段PECVD设备结构冷却系统：是一套封闭的循环水系统，位于加热系统的金属外壳，四进四出并有一个主管道，可适量调节流量大小。冷却水系统进水口出水口特气柜：MFC气动阀MFC：气体流量计（NH3SiH4N2等）气动阀：之所以不用电磁阀是因为电磁阀在工作时容易产生火花，而气动阀可以最大程度的避免火花。PECVD设备结构真空系统真空泵：每一根石英管配置一组泵，包括主泵和辅助泵。蝶阀：可以根据要求控制阀门的开关的大小，来调节管内气压的PECVD设备结构PECVD控制系统主要从事的是下面的四种控制系统1PECVD真空的控制2PECVD的机械手的控制3PECVD的特气控制4PECVD的电器控制PECVD控制系统控制系统CMI：是Centrotherm研发的一个控制系统，其中界面包括Jobs、System、Datalog、Setup、Alarms、Help.Jobs:机器的工作状态。System:四根管子的工作状态，舟的状态以及手动操作机器臂的内容。Datalog:机器运行的每一步。PECVD控制系统CMI-accessgatetoCESARSMenuformanualoperations温度控制系统PECVD日常报警说明管式PECVD日常报警说明Processrecipehasterminatedwitherrorstate----AlarmACK----(1)tostore(2)tostoreenableunload(3)Restartrecipe.说明：进行中的工艺以错误的状态结束----警报确认----（1）储存（2）储存并卸下（3）重新开始工艺。(1)用错工艺号，手动结束工艺，重新开始新的其它工艺时进行选择。(2)多数情况下选择此项。；(3)工艺中断需要重新进行时选择，选择前应查看镀膜情况。1管式PECVD日常报警说明Boatalreadyintube----select:[process=0unload=1].说明：石墨舟已经在管内----选择[运行工艺=0取出卸下=1]。当管内有石墨舟时，异常排除后手动运行工艺时会出现这样的提示，查看镀膜情况后在做选择。2管式PECVD日常报警说明Losthoming,checkposition.说明：失去引导，检查位置。此报警会自动解除，只需要检查一下桨是否在原点的位置即可。3管式PECVD日常报警说明HFGenoutof1st(2nd)tolerance.说明：高频发生器超过第一（二）个位置，如果在镀膜中退出，如已经沉积到氮化硅，检查镀膜时间后，选择手动工艺输入剩余时间。通常出现这样的报警有三种情况：(1)石墨舟的电极孔放反。(2)石墨电极内有硅片倒落或者小碎片卡在两片电极的中间。(3)炉内的碎片太多，石墨电极底部接触到碎片形成两片电极之间的短路。4管式PECVD日常报警说明Recipeabort2----processabort!TOcontinue:enterAB.说明：工艺推出----运行终止。继续输入AB。对工艺异常确认输入AB后，会出现第（一）个报警5管式PECVD日常报警说明Vacuumtubeoutof1st(2nd)tolerance.说明：石英管内的真空度超过第一（二）个限值。系统会对石英管内的真空度三秒钟检查一次，由于某种原因导致抽真空被延时，在特定的时间内无法达到真空设定值的要求，系统会出现这样的报警，检查一下状态栏中的压力值和真空泵的工作是否正常，如正常过几分钟后报警会自动解除；如果此报警连同第（八）个报警一起出现的话，联系工序长和领班。6管式PECVD日常报警说明Boatsensorofgrabhaschangedwithoutpermission.说明：机械手上的传感器被非允许移动。机械手喜爱上下移动时不会前后移动，若这时前后的位置发生变化，机械臂将会被锁定，出现报警。此警报需要通知工序长或领班。7管式PECVD日常报警说明Collectivealertpumpst.1说明：真空泵报警。一般情况下是由于真空泵的负压太大，导致报警。如复位无效的话通知工序长或领班。8管式PECVD日常报警说明GasN2(SiH4、NH3)outof1st(2nd)tolerance.说明：特气氮气（硅烷、氨气）超过第一（二）个限值。出现这种报警的原因是多面的：高频放电失败、管内的压力不正常或者由于某种原因系统被锁定（冷却水报警），都会出现这样的报警，出现超过第一个限值报警，只是警告；超过第二个限值报警出现后工艺会自动停止，此时报警消失，出现第五个报警信息9管式PECVD日常报警说明Warming:checkSiH4distribution.说明：警告,检查硅烷的流量。检查硅烷的流量是否于设定值吻合，如果不是退出并重新运行工艺10管式PECVD日常报警说明Recipecouldn’tdestarted.pleasecheckprotocolforreason.。说明：工艺不能被运行，请检查原因。原因：此管已有一个工艺在运行；此管没有你要选的工艺文件；状态不正确11管式PECVD日常报警说明Thereisalreadyanactiverecipe×××formlocallisting.说明：已经有×××工艺在此管的工艺列表中。十一、十二俩个报警有时会一起出现，终止任何一个报警都会解除。12管式PECVD日常报警说明TubereadyinundefinedpleaseensurethattheCESARloadingmachineisat“0”positionandsoftlanderis“UP”.说明：管子的状态无法被确认，请确保CESAR接收到桨在“0”和“UP”的位置。检查桨是否在上位和原点的位置，如果是的，在空桨的情况下运行homing工艺；如果不是，手动移动桨到上位和原点。13管式PECVD日常报警说明Boatcollision.说明：舟被撞击。Handling对话框中将舟移动到安全的位置；若是在上下舟，检查一下小车和储存架的位置是否于舟的位置匹配。14管式PECVD日常报警说明Theboatsensorhasdetectednoboatinthegrabalthoughaboatshouldbeinthegrab.pleasecheckboatingrabsensorandtryagain.说明：虽然有一个舟在机械臂上，但传感器测不到，请检查一下舟是否接触到传感器后再试一次。机械臂上的传感器没有感应到舟，将舟放到正确的位置即可。15管式PECVD日常报警说明Grabsensorundefined.Nomovementpossible!Checkboatposition.说明：传感器不明确，无法移动，检查舟的位置。机械臂不在正确的位置，无法移动，若机械臂没有被锁定在Handling的界面中将机械臂移至正确的位置。16管式PECVD日常报警说明Boatposition(speed)outof1st(2nd)tolerance.说明：舟的位置（速度）超过第一（二）限值。通常会发生在退舟失败后，手动使桨复位。17管式PECVD日常报警说明Boatfailure.说明：退舟失败。检查舟在桨上的位置，如果正确手动将桨复位；如果不正确，戴上高温手套把舟拉到正确的位置后手动复位。18管式PECVD日常报警说明Waterflowgassidest.1.说明：TGA（gasside）冷却水报警。将石英管后的冷却水流量调整一下即可19管式PECVD日常报警说明VN:Noprocessboatinsourceposition.说明：在设定的位置没有舟的存在。通常是因为机械臂将石墨舟放到储存架上，储存架上的传感器没有感应到。调节传感器或者调节舟的位置即可。20PECVD操作与工艺过程1开机过程简介2关机过程简介3操作过程简介4工艺气体介绍5工艺过程介绍PECVD开机打开N2阀。确认面板上绿色N2阀已打开。压力值为1kg/cm2左右N2阀PECVD操作简介PECVD操作简介按压START真空泵启动按钮，启动真空泵。CBI按钮START按钮PECVD操作简介PECVD开机打开设备冷却水。先打开出水阀，再开进水阀。压力在3kg/cm2---6kg/cm2范围内进水阀出水阀PECVD操作简介PECVD开机打开并检查气源。打开压缩空气阀，氮气阀，NH3阀，SiH4阀。机器上压缩空气压力应在6kg/cm2—7kg/cm2。其他气体为4kg/cm2—10kg/cm2范围PECVD操作简介PECVD开机开总电源。用手扳住电柜外部的红色按钮，顺时针方向旋转90度。机器上指示灯VAT控制器灯亮，可确定总电源已开启。该状态为已经扳过90度PECVD操作简介PECVD开机PECVD的操作流程戴好无纺布口罩戴好洁净手套取来待镀膜的硅片在刻蚀处检查硅片数量把石墨舟推到洁净工作台下取出承片盒放入洁净工作台取出石英吸笔，并擦拭干净把硅片一片片插入石墨舟内注意硅片的扩散方向一舟插完后，用小车推到设备的上料口对计算机进行相应的操作后，让其自动运行工艺结束（镀膜结束）开门退舟（设备自动运行）待报警后，按退车按钮退车把装有石墨舟的小车推到冷却房内进行冷却冷却结束后，把小车推到插片房内卸片结束后，放入指定的承载盒内把放满的承载盒拿到丝网上料，准备进行印刷开始卸片。注意工艺点的一致性启动CMI程序。开总电源后计算机自动启动。输入密码后自动进入Windows桌面。用鼠标左键双击“CMI”图标，启动CMI。进入CMI画面，检查设备状态：SLS=UP，DOOR=CLOSED，PLC=OK，LIFT=READY，TUBE=READY，TGAFREE=YESSET/ACTPOSITION=0，PROCFLAG=OK选择工艺程序，生产。2PECVD操作简介用手推车桨舟移动到固定位置查看炉管