多晶硅生产设备

整理文档很辛苦,赏杯茶钱您下走!

免费阅读已结束,点击下载阅读编辑剩下 ...

阅读已结束,您可以下载文档离线阅读编辑

资源描述

电解制[wiki]氢[/wiki]装置、氯化氢合成炉、三氯氢硅合成炉、合成气干法净化装置、三氯氢硅精馏装置(十多个塔呢)、三氯氢硅还原炉、四氯氢硅氢化炉、冷冻机组、脱盐水制备、空分制氮等设备国内改良西门子法(三氯氢硅氢还原法)主要设备清单序号设备名称2R;k)R&A,y$e;T/b1电压调控系统(VoltageSequencesystems)Control(VSC)4S)a/E'z)_3T*g2油浸整流变压器(oilimmersedtransformer)commutation9y.E3Q2j(N:F$g3[3氢化沉积反应器(多晶硅还原炉)(reactorsetsstainlesssteel)7M4Y[0R#f;B.p4尾气回收系统(CDI)(Therecoverysystem))z,K.g1m7e;~3J5氢气压缩机(ReciprocatingCompressor)9T-z;`.K5V/_冷冻机-`;S/v$[7P.b3V/glB2N8\6(compoundR-22refrigeration$m*{*uA/H2|#p8T2_.n8d8|:vsystems)7J#I$}8X9{8V$l9H%t7DCS控制系统(DCSControlsystems)v\2E&t$E2B.n4W1c4W8泵(Bump)&}#|/E+L8Z-~9T9[wiki]阀门[/wiki](Valve)*Ks!p'|!Z7t1l10氯氢化反应系统(HYDROCHLORINATIONSYSTEMS)8Y6A$S*t-^)D5u8a11三氯氢硅精馏塔(s'W:a+T*e(Z#^U12水电解制氢装置#R;w7B#[!EI7m13尾气洗涤塔多晶硅的主要装置有:1氢气制备:一般用水电解制氢,此部分国内好多常见,只是半导体极地需要,氢气的纯度更高,基本不用进口;(t3s]8^8UE/M7k4a2HCL合成,卡朋罗兰有成套设备,估计国内也有生产,需配套干燥装置/G4L/|F$Z0E4r:p*E3氢化氯化,部分流化床反应器进口(不锈钢设备)的多,!J#A-@*U/L)Q4精馏塔,基本进口(不锈钢设备)日本美国5还原炉,全部进口7氢气等尾气回收,塔器国产的多,但氢压机需进口7m2Zg!b4`6Q3^D8中间储罐,国内即可生产9后处理,关键设备进口3w&h2l6h.G说:多晶硅生产技术与研究还是落后,基本上是买生产工厂有水电解制氢装置。液氯汽化器。!F6k/V)\3n3o+O氯化氢合成炉。三氯氢硅合成炉。精馏塔。/V:H+i3\&_8E0bTCS汽化器。还原炉。氢化炉。/a+S4n-D)r%o;h5B氢吸附装置。(c;m0K5B8e7i压缩机。7A5W3H+J.Y:i5Y制冷装置。1、电解制氢及净化单元2、变压吸附制氮气单元3、深冷空分制氮气单元4、制冷单元5、脱盐水单元6、高纯水单元By4{+cE%|#Fz7、循环冷却水单元!A.q+t*N1U9z6y$u*n6M8、液氯汽化及氯化氢合成单元8e9x#U7d1CQK3H9、三氯氢硅合成单元-_%T2_0R!A:B0p10、氯硅烷贮存单元11、氯硅烷硅精馏单元8b*i*t({4a12、三氯氢硅还原四氯化硅氢化单元13、尾气回收单元14、废气处理单元:m$S1}&N'?:P.S4]$m16、废液处理单元,m7}.U6G;k5y*c1J:c17、废水处理单元设为首页收藏本站切换到窄版切换风格qpneu|设置|消息|提醒|退出积分:1|用户组:新同学快捷导航社区平台个人空间签到红包中心排行新手任务钻石会员领取红包每日签到本版搜索热搜:物料平衡揭阳炼油操作规程宝钢化工聚丙烯每日一题中英文苯乙烯多晶硅软管泵槽电压丁辛醇turbineaspenpdmslng反渗透htri安全阀pta本版帖子用户新手任务工艺生产区机械设备区煤化工大区工程软件区公用工程区化肥大区安全环保区石化大区外语区行业技术区事务区管理职场工作休闲|海川升级指南|评分标准说明|禁止发表内容|赞助海川发展|宣传你的产品海川化工论坛网›社区平台›行业技术类交流大区›多晶硅交流区›多晶硅生产工艺设备东汉公司-直线筛振动筛化工专用筛-筛出来的名牌分析仪-约克仪器-波纹填料-化工填料第三代陶瓷膜盐水精制工艺威卡(WIKA)多点热电阻/热电偶四川永通-反应釜-衬四氟-储罐流程工厂软件解决方案-达钛设备-钛盘管美盛塔进料预热器塔冷凝器0_4m:`6z$N-h;G`塔再沸器'b0K3N;`*a)}尾气冷凝器!w.t9nu2O'|SiHCl3汽化器SiHCl3汽化热水加热器还原炉冷却水冷却器水冷却器4D8z&E/a5P.K4o底盘冷却水冷却器蒸汽冷凝器整流器冷却水冷却器2e$m#W'U*d电极和视孔冷却水冷却器:R3Z)x,?,b+z2R+H蒸汽冷凝器(^P1T.Q.B5y#yf还原炉出口冷却器取消&D+R5x*b9K0f整流器冷却水冷却器Ⅱ还原炉出口套管尾气冷凝器.K7[&a3})WY3W蒸汽冷凝器#i)i+c0|-`硅棒切断机塔进料泵/{7C8m2m_!H7h!ESiHCl3泵回收三氯氢硅泵I(A/H4`$au4R&z4WSiHCl3汽化热水泵还原炉冷却水循环泵8A%\|-A%\-g'h;E-a水力喷射泵改为循环真空泵水泵底盘冷却水泵整流器冷却水泵+c:k'R2|+z!vb电极和视孔冷却水泵原料SiHCl3泵9D;D5v4G)y?0_8y|%F碱液输送泵废碱液泵冷凝液泵循环水增压泵+s4\-p;~,f精制SiHCL3输送泵碱液泵洗涤液循环泵废水排出泵#N4V/_-}(L4A!].U/y$X3}洗涤液循环泵废水排出泵8e-hJ;Y+Fq,J洗涤液循环泵(o}!j2@.Y5Q+V/U1`废水排出泵.L1U/m0Q(n1j1q:Y1D还原反应炉%T3U9R)A)a7X4p7^还原炉电器调控柜:R#K6T.~/s:Cj!s精馏塔.R/g8e/^!l.R-\-n防爆电梯*D,NO:A4[1C+h'@废气洗涤塔回流液槽5N2V;?9h;B4g(?.^2M循环氯硅烷缓冲罐(]0Br,|1B5@%f.n塔回流液槽二级SiHCl3中间槽塔回流液槽回收SiHCl3贮槽SiHCl3汽液分离器闪蒸槽还原炉冷却水循环槽水罐z`!}/r%D2t*}底盘冷却水槽整流器冷却水槽&p!Y,z7x$?;Z7c0P+Z;`;|电极和视孔冷却水槽7i1p4X+?*T'm4X精制SiHCl3缓冲罐还原工序排放槽:w+C7k(I:S排放尾气缓冲罐.A;|;[0Y5?.L!c原料SiHCl3贮槽'w&X/a1a*K*l(V:S9L二级SiHCl3贮槽:m#R0a0R2w5R*iN精制SiCl4贮槽5`7|7W*};O&{/k精制SiHCl3){7?-P!m7b0Z-@*{塔液排放槽HCL缓冲罐H2缓冲罐Ⅰ碱液罐3y4f,u2B$W6m(b安全阀排放液罐尾气液封罐5k)n(d,B:V#TBW冷凝液储槽H2缓冲罐Ⅱ排放尾气缓冲罐吊车(电动葫芦)Y&p0|2L,r3~0f:O!r8E3e碱液槽(冷凝液储槽)3s*U2h9?R,b&k安全液封罐Z,b.~/x)r6M;o残液收集槽废液接收地槽5\9S3[4{*R'i'a)U5?4r.X-C#n循环液地槽燃气蒸汽锅炉3^F%k/]pp5d0K整体式燃烧器9`1RO5F(L$L1j电机,O%y+o!O.n,A,I!h8L汽包安全排汽消音器电动给水泵)l#s9i:A,d2C4H$b2M0Q3U8R除氧器排污降温池烟囱$M9}&no+]4a2a)S:S:s连续排污闪发罐取样冷却器-[%@1g*m,^6\;z&c磷酸盐加药装置1套溶液箱%I8r%m1[&z1_+R搅拌器加药泵5`-_!d3N2^:E7j#_+`/A变压器+l:S0E6K)z:c7p0f阀门法兰-IF0d5`*Q5S钢管及管件材料电气仪表%@+S,B-M;XM电缆

1 / 7
下载文档,编辑使用

©2015-2020 m.777doc.com 三七文档.

备案号:鲁ICP备2024069028号-1 客服联系 QQ:2149211541

×
保存成功