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多晶硅设备用炭/炭板材的研制作者:陈青华,侯卫权,苏君明,肖志超,彭志刚,刘江平作者单位:西安航天复合材料研究所,西安超码科技有限公司本文链接:授权使用:青岛科技大学(qdkjdx),授权号:868a7298-3928-4453-8671-9ee100b6a49f下载时间:2011年5月12日