微纳米级晶片采样分析设备

采样分析设备和配套部件产品简介无锡纳斯微纳检测科技有限公司引进日本NAS技研的世界领先技术，帮助半导体晶圆和器件、太阳能硅板、液晶产品厂家提高产品品质和良率，降低生产成本，提供全套产品和服务的解决方案。      通过对工艺过程中晶圆、芯片、硅板、液晶产品表面金属离子和其它杂质离子的采样分析，及时发现和纠正工艺过程中的问题，控制和提高产品品质和良率。以采样分析数据为依据，及早发现生产线上的不良品，避免不必要的后道工序引起的材料和时间的浪费，降低生产成本。  无锡纳斯微纳检测科技有限公司地址：中国江苏无锡马山梅梁西路88号邮编：214092电话：[phone]手机：[phone]Email:[e-mail]网站： 1尊敬的客户亲水面采样分析设备SC-8000性能首先，衷心感谢诸位客户使用本公司的产品，希望以后能继续为诸位客户提供更好的产品和服务。此次，本公司隆重推出采样分析设备SC-8000。这是一款在技术上有根本性突破的新产品。它不仅可以进行传统的憎水面采样分析，而且也实现了亲水面的采样分析。亲水面采样分析设备具有更为广泛的用途。我们深信广大用户可以在广阔的应用领域中发挥它的重要作用。由于亲水面采样分析成为可能，在酸性晶圆上回收金属污染污物时，即使晶圆表面不是100%的憎水，也就是晶圆表面部分是亲水面的情况下，也可以实现金属污染物的回收。这些晶圆包括在工艺处理过程中无论如何也做不到完全憎水面的晶圆，以及因材质的缘故不会成为憎水面的晶圆。另外，使用气相分解，即使对氧化膜去除不干净的晶圆，也可以进行采样分析。实现对亲水面采样分析，就可以对有表面氧化膜的晶圆进行采样分析，也就是对晶圆氧化膜实现厚度方向的采样分析。实现亲水面采样分析也使纯水采集离子成为可能，和现行的浸泡采样分析（晶圆浸泡在装有纯水尼龙袋中的采样分析方法）不同。亲水面采样分析与金属离子方法相似，同样采用液滴（几百微升大小）进行，但是和浸泡采样分析相比，采样分析可提高精度二位左右。用亲水面采样分析新技术可以采集有机物。无论采样分析液是酸、还是纯水、或是酒精类，都可以用来实现对有机物的采样分析。亲水面采样分析新技术用途十分广泛，现在正在积极开拓它的其他用途。据此，本公司隆重向诸位客户推荐配备有亲水面采样分析新技术的设备SC-8000。亲水面采样分析设备SC-8000敬谢 21.半自动采样分析设备SC系列SC系列性能共通点：实验室用SC采样分析系列设备，以操作简单、安全和精确为设计理念，操作员无需特殊技能，就能轻松完成VPD后晶圆采样分析操作。本设备可设定晶圆尺寸、采样分析模式、切向速度和送程节距参数。1)SC-3000○通过与计算机联机，可供追加多种采样分析模式，对晶圆进行采样分析操作。○除了晶圆实装外，从清洗•采样液供给到回收全部实现自动化操作。与SC-2000相比，进一步减少了手动操作引起的污染。○本设备实用价值高，郑重向客户推荐引进。SC-3000采样分析设备计算机联机操作图2)SC-4000○在SC-3000上装备4个采样分析台，可以对一枚晶圆同时进行4点自动采样分析。○采样分析效率改善很大。3)SC-5000○设备上配备部分VPD功能，晶圆无需进行VPD预处理。SC-5000/7000在进行部分气相分解操作SC-5000/7000在进行晶圆表面采样分析操作 34)SC-7000○设备上配备部分VPD处理用药液，2只药瓶可以切换使用。○使用不同的药液，对晶圆进行多次自动蚀刻操作。○在晶圆蚀刻分析时发挥威力。5)SC-8000○在SC-2000基础上追加了亲水面采样分析功能。○对蓝宝石晶圆、液晶、离子注入和蚀刻检查后的亲水面晶圆，用液滴进行离子采样分析。○对亲水面采样分析时发挥威力，并且本身具备憎水面采样分析功能。6)SC-9000○在SC-3000基础上增加了亲水面采样分析功能。○和SC-8000相比，实现了采样分析液供给和回收的自动化。7)SC-9300○同时拥有SC-3000和SC-9000设备的功能，兼具憎水面和亲水面采样分析机能。○新规导入本设备，可以发挥采样分析的最大威力。SC系列一览设备名SC-2000SC-3000SC-4000SC-7000SC-8000SC-9000SC-9300处理晶圆规格100mm、125mm、150mm、200mm、300mm操作部个人计算机(※3)采样分析液滴夹具的装/卸手动自动手动1次操作可采样分析点数12(※1、4)413(※1、4)采样分析液供给手动自动手动自动采样分析液回收手动自动(追加项)手动自动(追加项)基本采样分析模式圆环形、扇形、固定半径、圆弧追加采样分析模式(※1)侧面、矩形、弧形(※使用SC-8000、9000设备不可进行亲水面晶圆的端面采样分析)晶圆排片(※1)作为圆环形、固定半径、端面采样分析模式的追加项蚀刻采样分析－○－吸取式采样分析液回收(※1)○－○亲水面采样分析－○外形尺寸(WxDxH)(mm)480x495x500650x495x500480x495x500800x495x500安装环境无尘通风柜内公共资源电源(AC100V)、干洁气源电源(AC100V)、干洁气源、N2设备价格(※2)面议※1：追加项另外计价。※2：设备价格询问，请与本公司联系。※3：个人计算机由客户自己准备(Win2000・WinXP以上，需RS-232C端口线或USB端口线)。※4：吸取式采样分析液回收只限具有追加项的设备。 41)追加报价项目○端面采样分析用软件○矩形采样分析用软件○弧形采样分析用软件○晶圆排片用软件○太阳能面板用正方形采样分析软件○表面采样分析用液滴夹具○端面采样分析用液滴夹具○亲水面采样分析用液滴夹具○晶圆同芯设置顶针○吸取式采样分析液回收功能○增加1次操作采样分析点数○SC-8000、9000憎水表面采样分析用液滴夹具、憎水端面采样分析用液滴夹具※本公司可能在没有预告的情况下进行规格、价格的变更，敬请谅解。2.手动气相分解设备一览设备名VPDBOX-200-1MVPDBOX-300-1MVPDBOX-300-5MVPDBOX-300-6M最大处理晶圆数(枚)156处理晶圆规格(mm)100○○○○125○○○○150○○○○200○○○○300－○○○外形尺寸(WxDxH)(mm)270x300x130370x400x130400x400x510安装环境无尘通风柜内公共资源N2气体设备价格(※1)面议※1：设备价格询问，请与本公司联系。1)手动气相分解设备VPDBOX-200-1M2)手动气相分解设备VPDBOX-300-1M手动气相分解设备VPDBOX-300-1M外观图 53)手动气相分解设备VPDBOX-300-5M手动气相分解设备VPDBOX-300-5M外观和内部结构图4)手动气相分解设备VPDBOX-300-6M 63.全自动采样分析设备NAC系列NAC系列性能1)外形尺寸和外部资源○外形尺寸(WxDxH)(mm)：1300x1200x2000(※不包括突出部分)○设备安装在气流自上而下的无尘间内；设备内部清洁度为JIS等级1。○所需公共资源：AC100V(50/60Hz)30A电源、纯水、空气、N2、排水、普通排气、酸排气设备2)设备能力○可处理晶圆规格：125mm、150mm、200mm、300mm※尺寸不同的晶圆不能同时处理。○采样分析回收液的数量(计量瓶数)：25个○采样分析菜单：可以按每个计量瓶设定。○干燥(追加项)：利用光热干燥晶圆上的采样分析液。○NAC-301标准配置中包含晶圆端面采样分析追加项。·可进行晶圆全部或部分端面采样分析。全自动NAC-300外观图包括采样分析液滴夹具清洗在内，NAC-301实现了全自动化。3)机能○气相分解一次处理一枚晶圆※以下叙述基于气相分解处理后晶圆表面完全为憎水面说明。○采样分析液供给用注射泵吸取式供给采样分析液，供给精度在5%以内。○采样分析液回收用注射泵吸取晶圆表面液滴。移动中采样分析液不会滴下。○采样分析液回收计量·对气相分解不彻底的晶圆进行采样分析时，会发生采样分析液残留在晶圆上的问题。通过计量回收采样分析液，就可以发现这个问题。·可以稀释ICP-MS分析用采样分析液，精度在5%以内。○初始位置、同芯设置的自动化自动进行同芯设置、定向平边和凹槽的检测，避免了手动操作引起的污染，特别是端面采样分析时不必担心手动污染。○采样分析模式·由任意半径(r1～r2)和任意角度(θ1～θ2)组成进行圆形、环形、扇形范围内采样分析·由任意半径(r1～r2)和任意角度(θ1～θ2)组成 7进行圆周、圆弧部分的采样分析·端面采样分析遇到定向平边时，采样分析轨道沿着定向平边调整动作机能·任意指定位置、大小的矩形范围内采样分析(※1)·利用专门的液滴采样分析夹具对端面采样分析(※1)·任意弧和弦组成的弧形范围内采样分析(※1)○晶圆管理(追加项、预定)可利用条形码进行晶圆管理，和分析设备匹配，减少分析误差，便于管理。○蚀刻采样分析追加项含蚀刻采样分析追加机能※1：追加项另外计价。4)NAC系列公共资源○公共资源输入·DA用于活塞、空气阀、抽真空压力：0.4～0.5MPa(约4～5kg/cm2)流量：200L/min(MAX)接口：6PFASuperFittingUnion(Pillar)·电源用于设备：AC100V15A三脚插座·DIW用于水密封、表面处理箱的清洗、采样分析液滴夹具的清洗压力：0.2～0.4MPa(约2～4kg/cm2)流量：4L/min(使用手握式淋浴器时)接口：6PFASuperFittingUnion(Pillar)·N2用于HF鼓泡、VPDBOX排气压力：0.1～0.3MPa(约1～3kg/cm2)流量：10L/min(MAX)接口：6PFASuperFittingUnion(Pillar)○排气用于调整流量(装有调节阀)用途：排酸气流量：10m3/min以下尺寸：150A(4B)x1根接口：JIS5K150APVC焊接法兰○排水·普通排水和酸排水DIW回排流量：4L/min(MAX)尺寸：16A(1/2B)接口：16APVCgreysocket·管道室地漏尺寸：16A(1/2B)接口：16APVCgreysocket(地漏带有球阀) 8 9NAC系列一览设备名NAC-300NAC-301处理晶圆规格125mm、150mm、200mm、300mm干燥机能X○(※2)蚀刻采样分析机能X○(※2)常规任意半径(r1～r2)的圆形、环形范围内采样分析扇形任意半径(r1～r2)和任意角度(θ1～θ2)组成的扇形范围内采样分析固定半径任意半径(r1)组成的同心圆范围内采样分析圆弧任意半径(r1)和任意角度(θ1～θ2)组成的圆弧范围内采样分析矩形(※3)任意指定位置、大小的矩形范围内采样分析弧形(※3)任意弧和弦组成的弧形范围内采样分析端面(※3)利用专门的液滴采样分析夹具对端面采样分析(专利申请中)采样分析模式定向平面(※3)沿着定向平面采样分析外形尺寸(WxDxH)(mm)1300x1200x2000(※5)1300x1350x2000公共资源AC100V15A、纯水、N2、干洁气源、排酸水、排酸汽设备价格(※4)面议※1：对回收采样分析液进行计量，如果比采样分析前重量减少显著，就会发出警告。这是为了防止采样分析液残留在晶圆表面上继续作业的机能。另外，还具有对回收采样分析液稀释到一定量的机能。※2：可追加项。干燥机能和蚀刻采样分析机能不可同时追加。本设备不可对蚀刻后成为亲水面的晶圆进行采样分析。※3：追加项另外计价，是采样分析模式的追加机能。※4：设备价格询问，请与本公司联系。另外，交货、安装调试、操作说明需要另外计价。※5：突出部分除外。1)追加报价项目○矩形采样分析用软件○弧形采样分析用软件○端面采样分析用软件○表面采样分析用液滴夹具○端面采样分析用液滴夹具○蚀刻采样分析(硬件和软件)；交货后追加机能○干燥机能(硬件和软件)。可