cf 彩色滤光片的研究开发和生产

彩色滤光片的研究开发和生产深圳莱宝高科技有限公司SHENZHENLAIBAOHI-TECHCO.,LTD.彩色滤光片显示器的应用彩色滤光片显示器彩色手机笔记本电脑电子字典可视电话PDA监控面板游戏机偏光片彩色滤光片定向层液晶ITO透明电极偏光片背光源彩色滤光片在彩色STN显示器中的应用基板玻璃基板玻璃偏光片彩色滤光片定向层液晶TFTITO透明电极偏光片背光源彩色滤光片在TFT显示器中的应用基板玻璃基板玻璃深圳莱宝CF生产线•2002年5月设备到厂，开始安装调试•2002年9月投入试生产•月生产能力：3万片•填补了国内彩色滤光片生产的空白CF的研究开发和生产前言一、彩色滤光片的构成二、彩色滤光片生产线简介三、试验和研究开发工作四、彩色滤光片的品质性能五、彩色滤光片设计要点CF的研究开发和生产一、CF的构成透过型----TRANSMISSIVETYPE反射型----TRANSFLECTIVETYPE（REFLECTIVETYPE）透过型CF的构造红色光绿色光蓝色光透明导电膜保护膜红绿蓝膜黑矩阵膜SiO2膜白色光白色光白色光玻璃基板反射型CF的构造红色光绿色光蓝色光透明导电膜保护膜红绿蓝膜黑矩阵膜反射膜开口白色光白色光白色光玻璃基板CF的研究开发和生产二、彩色滤光片生产线简介1、CF制做方法2、CF生产流程彩色滤光片制做方法•电着法印刷法光刻型非光刻型喷墨法•颜料分散法彩胶法颜料分散型光刻胶CF的制做光刻胶滴胶玻璃旋转涂胶紫外线铬掩膜板图形曝光图形显像CF生产流程1000级净化O/C线B线G线R线BK线后烘烤现像曝光预烘烤旋转涂胶清洗后烘烤现像曝光预烘烤旋转涂胶清洗后烘烤现像曝光预烘烤旋转涂胶清洗后烘烤现像曝光预烘烤旋转涂胶清洗后烘烤预烘烤旋转涂胶清洗CF的研究开发和生产三、试验和研究开发工作1、工艺试验与结果2、研发工作BK膜特性材料：树脂类颜料分散型黑色光刻胶特点：生产流程简单成本低反射率低污染小膜厚0.8—1.5μm时，其OD值为1.8—3.5以上最小宽度：10μmBM膜厚----OD值1.522.533.5412BK膜厚(um)OD值高OD值胶普通BK胶BK膜的样式BMBSBL(Blackmatrix)(BlackStripe)(BlackLess)R、G、B膜的特性1、材料：树脂类颜料分散型彩色光刻胶2、特性：色度（透过型和反射型）透光率膜厚尺寸精度膜厚----色度0.60.50.4y0.30.20.1000.10.20.30.40.50.60.7x膜厚----后烘烤60708090100012345后烘烤次数膜减率(%)BK膜R膜G膜B膜O/C膜5膜厚----转速0.60.811.21.41.6450500550600650700转速(rpm)膜厚(um)膜厚均匀性1230.00.20.40.60.81.01.2膜厚（um）位置膜厚偏差：±1.83%曝光能量----线宽697071727374100200300400500600曝光能量（mJ/cm2)线宽（um）MASK线宽：70um现像时间、温度----线宽70717273747530405060现像时间（S）线宽（um）35℃25℃MASK线宽：70um图形对位控制一、MASK的制做精度和套合精度二、采用先进的图象处理和对位技术，提高对位精度三、研究设计了曝光机精密温控装置，稳定对位精度四、采取有效的工艺控制保证对位精度O/C膜层一、材料：丙烯系树脂二、膜厚：1—2um三、功能1、保护RGB色层2、表面平坦化微观波纹度：无O/C层，0.860—0.1225um有O/C层，0.677—0.963umITO膜层•镀膜工艺：RF+DC•镀膜温度：小于230℃•电阻率：1.8x10-4Ω.cm•面电阻：7--15Ω•透过率：大于80%ITO膜电阻率----RF功率分量1.522.533.501020304050RF功率分量（%）ITO膜电阻率（10-4Ω.cm）CF的研究开发和生产四、彩色滤光片的品质性能彩色滤光片产品主要性能指标彩色滤光片产品主要性能指标（一）项目性能指标1.基片材料钠钙玻璃，抛光，镀SiO2膜长度300、400、420mm，14、16”宽度300、370mm，14”厚度0.4、0.5、0.55、0.7、1.1mm2.Al膜厚1000反射率≥90%开口精度±3μm彩色滤光片产品主要性能指标（二）项目性能指标3.BM材料颜料分散型光刻胶膜厚1.0μmOD值≥1.7（3.0）图形精度±3μm4.RGB材料颜料分散型光刻胶膜厚1.0μm图形精度±3μm彩色滤光片产品主要性能指标（三）项目性能指标5.O/C材料丙烯系树脂膜厚1.4μm透过率≥80%(550nm)像素间高度差≤0.15μm6.ITO膜厚2000电阻Rs≤10Ω∕□透过率≥80%(550nm)彩色滤光片产品主要性能指标（四）项目性能指标7.色度透射型透射型x,yR0.585,0.3450.406,0.303G0.305,0.5200.312,0.357B0.140,0.1700.224,0.263YR≥15≥15G≥45≥45B≥40≥40彩色滤光片产品主要性能指标（五）项目性能指标8.可靠性温度稳定性250℃,1小时1.无膨胀、无开裂、无损伤2.透过率变化率≤10%3.△E*ab≤5耐化学性能5%NaOH,50℃,20分钟NMP,25℃,30分钟丙酮，25℃,30分钟O/C附着性3M,No.610胶带无损伤ITO稳定性250℃,1小时电阻变化率≤±10%CF的研究开发和生产五、彩色滤光片设计要点1、客户提出的具体CF图形排列和尺寸2、BK膜OD值和厚度3、RGB膜色度和厚度4、O/C膜的厚度5、ITO膜的电阻、膜厚和透过率6、所需对位标记等图形和文字的位置和尺寸7、质量标准THANKYOUVERYMUCH！深圳莱宝高科技有限公司SHENZHENLAIBAOHI-TECHCO.,LTD.