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特殊气体管路施工规范1特殊气体管路暨高洁净度管路施工规范特殊气体管路施工规范2目录1.无尘室作业安全规范2.pipinginstallation管路架设3.弯管作业规范4.熔接规范5.测试规范6.工安规范7.监工人员工地监工准则特殊气体管路施工规范3作业标准程序1.无尘室作业安全规范1-1.一般清洁区工作条件(厂务机房)1).进入工作区前，鞋子必须清理干净。2).最好每天擦拭有类似金属碎屑等东西的地方。3).有规则的存放材料。4).禁止于工作区内吸烟、吃东西、喝饮料。5).所有工作区必须有垃圾筒，收集废料等东西。6).材料人员进出必须清洁一次。7).所有人员及设备每周必须清洁一次。8).产生污染的工作必须个隔离。(喷漆、磨砂轮机等)1-2.非常干净区工作条件(洁净室地下回风区)1).必须换穿专用的鞋子或鞋套。2).使用真空吸尘器清除脏东西。3).有规则的存放材料。4).禁止于工作区内吸烟、吃东西、喝饮料。5).所有使用过的材料、残余剩料等必须每日清除。6).所有工作区内必须有密封式垃圾筒，收集废料等东西。7).材料人员进出必须管制。8).所有人员及设备每周必须清洁一次。9).产生污染的工作必须隔离(如喷漆、磨砂轮机等)。10).进出工作区内的全部材料必须清理干净，才可进入。11).所有工作区必须换穿干净工作服。12).工作区的管线设备禁止勾攀、践踏、吊挂东西。1-3.绝对干净区工作条件(洁净室生产区)1).必须换穿无尘专用的鞋子或鞋套。2).使用中央系统真空或特别过滤装置的手提真空吸尘器清除作业时产生的金属等粉特殊气体管路施工规范4屑。3).有规则的存放使用材料。4).禁止于工作区内吸烟、吃东西、喝饮料。5).所有使用过的材料、残余剩料等必须每日清除。6).所工作区内须有密封式垃圾筒，收集废料东西。7).材料人员进出必须管制。8).所有工作人员及业主人员每日必须清洁干净。9).产生污染的工作必须于进入无尘室前完成。10).进入工作区内的全部材料和工具必须用水清洗干净，才可进入。11).除入无尘室应换穿无尘依及尼龙手套外，余均应穿着干净之工作服。12).禁止木质或瓦愣纸材料所做的纸箱进入无尘室。13).禁止触碰任何液体和你不知道的任何器物。14).含有油品的工具禁止携入。1-4.清净室施工安全规则1).指定专人办理安全事宜。2).勿雇用童工。3).工作区域内禁止抽烟。4).必须准备安全眼镜。5).在清洁室须戴安全帽，特别是有震动时。6).任何时间内，均不得堵塞通道及出入口。7).在工作区域工作，必须保持干净；如有产生垃圾，必须随时准备垃圾袋，于每日收工时携出清净室。8).如有意外发生，须立刻告知监工。9).特殊危险工作区，须有安全围篱及警告标志。10).地板开口处，须有安全围篱及警告标志，以防止人员掉入。11).须备有灭火器以防火灾。12).灭火器仅可使用泡沫灭火器，不可使用干粉灭火器。13).工作架在超出地面2M以上时，须使用鹰架，人员须系安全带(索)。14).鹰架、楼梯及工具，须保持良好状况。15).在超出地面2M以上时，工具须放置工具袋(箱)内。16).同时有两组人员在不同高度工作时，须有良好之连系。特殊气体管路施工规范517).工作区域内须有良好照明设备。18).所有使用之电缆及电线，须有良好绝缘。19).电缆及电线须连结良好，不可以电线直接插入插座。20).保险丝须确时使用，不可以钢丝替代。21).电缆及电线须正确使用，不可过载。22).如已送电之电力供应盘，须标示警告标志『高压危险』。23).所有圆柱型物品须直立，并以链条或绳索固定。24).切勿于地板面滚动圆柱型物品。25).如须移动圆柱型物品，须使用特殊格架举。26).易燃物品如无人照料，不可置放于工作区域内。27).化学物品如有泄漏，必须马上处理。28).易燃物品须放置于有盖容器内。29).任何阀、开关插座、电源插座，不可随意开、关、拔除(机台管线)。30).任何配管配线、材料，非经过监工人员同意，不可擅自任意更改。特殊气体管路施工规范62.Pipinginstallation管路架设在无尘室或简易洁净室执行高洁净度配管工作时，必须遵循下列的规定。2-1.现场工作规定携入材料必须置于特定的贮藏间，在工地现场或在材料间要提供暂时性的简易洁净室，所有材料要存放整齐。在存放材料时，有电子抛光的管件必须和未经电子抛光的管件分开。在尚未使用管件之前都不要将塑料封套打开直到现埸要使用时方可打开，并且不要将材料直接放在地上。切管切管时，使用的自动切割机或手动切管器必须是专门为半导体厂工作所设计的。切管器的刀片与管件成垂直方向，当使用自动切割机时，放刀片的深度要能使管壁尚有薄薄的一层未切断，藉以防止切割时的碎屑进入管内。倒角原则上，在使用倒角机(TUBESIZE用)或锉刀(PIPESIZE用)时，小心地移开切割面。如果切割面歪斜未成垂直，焊口松驰或管子弯曲等状况发生时，这种管路是不合规定，必须重新切割及配置。当倒角时，在管的另一端必须用高洁净度的氮气冲吹(氮气要经0.02um的过滤器过滤)。N2冲吹将管内的微粒冲吹出来。工作后的清洁检视切割机的洁净度，保持机具不受油污，如果仍然看得见有油污或切割的碎屑残余，按照下列的方法清洁之。特殊气体管路施工规范7用GN2冲吹使用的N2必须经-80℃或更低的露点，经0.02um的过滤器干燥。预制工作(在简易洁净室cleanbooth)在现场的焊接工作降至最低量是必需的。配管区必须在有洁净气的地方，在工作时维持风扇正常运转，于早、中、晚用O2查看器检查O2的浓度。点焊点焊使用TIG焊接，点焊的点数按照下列规定。(CAJON的焊机必需保证管子确实牢固，从完成的观点来看，最好不要使用手动的TIG焊接，因此点焊被省略)。3/4”到15A到80A：3~4点。冲吹气体(Backsealgas)使用氩气，露点-80℃或更低，氧含量在0.1ppm以下，微粒(0.1um以上)含量为零。冲吹用管套连接冲吹气体管路与架设管路，使用(Backsealjig)如图(一)所示Backseajig(Backsealgas)图(一)(参考用)特殊气体管路施工规范8架设程序(图二)将工作管路两端套上管套，连接冲吹气体及阀氩气冲吹(预先冲吹1分钟以上)点焊氩气冲吹焊接(自动焊接)氩气冲吹风(收尾冲吹1分钟以上)GArGAr图(二)装封(在Cleanbooth内进行)完成焊接之后，在管内充满Ar气，而且用无尘的塑料纸在末端包裹两层。如果末端的阀已经连接好了，把阀也用塑料纸裹起来。2-2.现场施工预制管件连结连结在Cleanbooth装封好的管件现场焊接现埸焊接的人员必须有受过高洁净度配管技术检定通过。特殊气体管路施工规范9焊接工作(i)(ii)GArGAr(iii)GArGAr(iv)GArGAr(i)原封至现埸。(ii)先拆卸一端封套，并连接Backsealgas。(iii)拆卸要焊接端封套，并冲吹干净。(iv)连接后将一端之Backsealgas拆掉使成出气端，并开始焊接。管路维持条件即使焊接结束，也要维持小量的N2或Ar在管内冲吹以防止空气流入管内。无论如何也要想办法把管内的空气及微粒弄出来，如果无法继续冲吹。特殊气体管路施工规范10焊机电源供给电源的电压的变动，对于管路焊接的质量影响甚巨。使用自动焊接机的电源必需使用特定的整流器。容许的电压波动AC100V±10%，AC200V±10%，在焊接进行时电压警报器一直监视着电压，如果电压超过可容许的范围时，警报器就会发出声音。2-3.其他注意事项下述的工作是在架设高洁净度的管路时必需要执行的。控制氩气冲吹用压力计或液位计察看尚余有多少氩气。看流量计的刻度检查冲吹气体的容量。使用采样品阀从钢瓶或气体来源收集氩气，测量氩气纯度确定露点是在-80℃以下，残余氧气低于0.1ppm，微粒含量为0(0.1um以上的微粒)。在工作处测量架设管路末端的氩气纯度，确定露点在-70℃以下残余氧气低于2ppm，测量地点必须在监工及焊接都同意的地方。前4项规定的工作前在每天开始工作由监工或工作人员执行以控制质量符合要求。若气体容量未达标准，通知监工，暂停工作，但是冲吹必须持续进行，或使用预留的LN2，当要使用预留LN2时，必定要做分析供给气体纯度的工作。简易洁净室(Cleanbooth)的洁净度的控制在Cleanbooth内测量焊接处的微粒数量(0.1um以上)不能超过100个/c.f，class10000是用作贮藏用，class1000是组装用。在正常使用中测量微粒的工作一天至少进行1次。洁净衣物的管制在Cleanbooth内使用的洁净衣、洁净鞋、洁净手套及其他设备必需在使用前检查其洁净度。使用的洁净衣物等，必需一个星期清洗一次，不论有否弄脏。特殊气体管路施工规范11洁净室依据洁净室人员管制规定的管制细则，所有的工作人员皆需致力于工作在一个高洁净空气环境中。焊接状况的检查(由个人或监工)当自动焊接机的工作条件改变时，必须确定焊接数据与工作条件一致。钨棒的保养及管制要时时注意钨棒是否变形。磨钨棒的工作必须是由监工认可之专业人员使用特定的设备来执行。样品制作及焊接条件的检查(焊接者或监工)每日早上在上工前要制作数个同样大小的样品。监工切开样品，检查管内部焊接情况，用目视确定焊接的地方没有不规则的孔、裂缝、气孔或没有完全焊透等缺点存在。若有焊接缺陷发现时，检查焊接条件、更换钨棒、检查冲吹气体纯度、质量及冲吹的方法，直到结果令人满意，方可进行配管工作。样品及焊接数据必须同时保存。特殊气体管路施工规范122-4.要求机器携入及架设从侧边带入机器要在事先申请同意路线，并且使用的拖车放在特定的地方。在水泥地板上使用铁锚类之固定机器。经纵、横的方向确定无误后，固定机器。机器必须在地板的防尘油漆涂上之前装上。管路标记至少每5M要有标签贴在管路上，标明气体名称流向开/关显示除了球阀外，所有的阀都要有开/关的标示。特殊气体管路施工规范133.弯管作业规范3-1.说明本项说明GasSystem作成时，如何使用手工具PIPEBENDER来进行弯曲作业。主要对象SUS316BA管，外径1/4”(6.35φ)使用工具R1NO.394LEVER型TUBEBENDER。3-2.配管图看法与管长之决定配管图尺寸是表示配管中心之尺寸或中心配管末端之长之谓。特殊气体管路施工规范14“a”“a”特殊气体管路施工规范15通常在配管分岐点实施熔接很多，兹以下图表示之。至中心点之长度约+3mm(1/4”OD)(则3.15mm-------3mm)约+5mm(3/8”OD)使用TUBEBENDER来加以弯曲之中心点大约弯曲15R与直角弯曲比较，配管全长变短，亦即图面上所配尺寸相加长度比实际配管长度长。特殊气体管路施工规范16180度弯曲(R弯曲),每一弯曲，其SETBACK为14.6mm其计算如下：509030120管长=(50+30+90+120)-14.6-6.4=269mm[1/4”OD]又3/8”时R弯曲SetBack为23.6mm依上图原理可得(50+30+90+120)-23.6-10.5=255.9mm[3/8”OD]0~75度范围角度弯苗，其SetBack为0例如:75度特殊气体管路施工规范17其管长=(50+53.94+40)-6.4=137.5其长度差即所谓SetBack，在1/4”OD配管，每一弯曲可短小6.4mm(6.35mm)下面有1/4”、3/8”各种埸合之SetBack之表。弯曲次数SetBack1/4”3/8”1/8”16.4mm10.5mm6.0mm212.721.012319.131.518425.442.024531.863.030638.163.036744.573.542850.884.048例:必要管长=(50+70+80)-12.7=187.33mm2次弯曲SetBack因此准备187.3mm长度配管就可进入作业。3-3.配管切割