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《洁净厂房施工综合技术》前言洁净技术及玷污控制技术，实际上常用玷污控制（ContaminationControl）一词。其全面的概念应是：对加工或处理对象在加工处理过程中，由于玷污物质的存在，影响对象的成功率，而对到达对象表面的玷污物质进行控制后，能提高对象的成功率，此有效控制玷污物质（亦包括加工或处理对象带有对人体有害的玷污物质需进行处理及隔离）的技术称为洁净技术或玷污控制。洁净技术与玷污物质的控制方法因加工处理的对象而异。如精密机械加工要求控制工件表面的粒子尺寸及浓度，一般都以控制空气中的粒子尺寸及其浓度来解决；医疗、卫生、制药等以控制空气中的粒子尺寸及其浓度和微生物数来解决；而IC生产随着集成度的提高，线宽的减少，当前要求严格控制硅表面的粒子尺寸及其浓度、有机物质、金属物质、吸附的某些分子以及硅片本身的氧化。因此除了控制洁净室空气中的粒子尺寸及其浓度并有机物质外，还须控制工艺介质如高纯水、高纯气体、特种气体及化学品（液）内的粒子尺寸及其浓度、金属物质、有机物质及某些气体不纯物质。因此，洁净技术涉及的内容范围是很广的，可以是洁净室技术的研究、开发；洁净室各系统（壁板系统、吊顶系统、地板系统、空气净化及空调系统以及其它服务系统（如洁净工作服、洁净室专用抹布等消耗品）的研究、开发、设计、应用设计、安装、运行及管理等的介绍及经验总结；洁净厂房施工技术仅为此领域内容之一。洁净厂房的设计与施工在科技高速发展的今天，已成为一门专业学科被大家所重视并被广泛研究，在洁净厂房内生产的相关产品即象征着它的高品质与其高科技。此项施工技术适用于制药、医疗、核电站、微电子、化妆品、食品与饮料、实验室、航空、生物工程、精密机械加工、印刷等有洁净等级要求的工程施工。洁净厂房设计及施工技术具有三个显著特点，即科技含量高、施工难度大、新技术及新材料应用广泛。特别是对材料的性能、耐腐蚀性、气密性以及施工节点的处理等要求甚高。本文将主要围绕上述特点分系统进行阐述。《洁净厂房施工综合技术》第1页第1部分洁净施工技术综述1.洁净施工目的与原则1.1洁净施工目的在洁净室的建造过程中，始终有粉尘产生，仅靠施工最终阶段的清理是无法清理干净的，而这些无法被清除的赃物、灰尘会付在洁净室的表面。在洁净室开始起用时，付在室内表面的灰尘会在室内空间飞散，由此而增大过滤器的初期负荷，以至缩短过滤器的寿命。所以在洁净室的施工过程中，需采取相应措施，最大程度地减轻洁净室的初期负荷，尽早达到洁净室的性能要求是很重要的。1.2洁净施工基本原则1.2.1垃圾、灰尘等不得带入洁净室内。1.2.2在洁净室内不允许产生垃圾、尘土。1.2.3一旦发生灰尘，应立即清扫、排除，不得使其扩散。1.2.4防止赃物、灰尘堆积。2.洁净施工要求与标准2.1洁净室装饰表面质量要求一览表使用部位要求项目发尘性耐磨性耐水性防静电防霉性气密性压缝条吊顶涂料不掉皮、粉化-可耐清洗电阻为105～108Ω耐潮湿、霉变--板材不产尘、无裂痕-可擦洗--板缝平齐、密封平直、不大于0.5mm隔墙涂料不掉皮、粉化-可耐清洗电阻为105～108Ω耐潮湿、霉变--板材不产尘、无裂痕-可耐擦洗--板缝平齐、密封平直、不大于0.5mm抹灰按高级抹灰-耐潮湿-耐潮湿、霉变--地面涂料不起壳、脱皮耐磨耐清洗电阻为105～108Ω---卷材不虚铺、缝隙对齐、不积灰耐磨耐清洗电阻为105～108Ω-缝隙密封，不虚焊缝隙焊接牢固，平滑水磨石不起砂，密实，光滑耐磨耐清洗----注：摘选自（中华人民共和国行业标准《洁净室施工及验收规》JGJ71-90）《洁净厂房施工综合技术》第2页2.2工程验收2.2.1洁净室的工程验收宜分为两个阶段进行，即先进行竣工验收，再进行综合性能全面评定。2.2.2竣工验收和综合性能全面评定必须对洁净室进行性能检测。2.2.3竣工验收的检测和调整应在空态或静态下进行。综合性能全面评定的检测状态，由建设、设计和施工单位三方协商确定。任何一种检测得出的洁净度级别，必须注明检测状态。2.2.4在空态及静态条件下检测时，室内检测人员不应多于２人，均必须穿洁净工作服，尽量少走动。2.2.5竣工验收和综合性能全面评定由建设单位负责，设计、施工单位配合。2.2.6竣工验收应在对各分部工程做外观检查、单机试运转、系统联合试运转，空态或静态条件下的洁净室性能检测和调整以及对有关的施工检查记录审查合格后进行。2.2.7洁净室各分部工程的外观检查应符合下列要求：a.各种管道、自动灭火装置及净化空调设备（空调器、风机、净化空调机组、高效空气过滤器和空气吹淋室等）的安装应正确、牢固、严密，其偏差应符合有关规定；b.高、中效空气过滤器与风管连接及风管与设备的连接处应有可靠密封；c.各类调节装置应严密、调节灵活、操作方便；d.净化空调器、静压箱、风管系统及送、回风口无灰尘；e.洁净室的内墙面、吊顶表面和地面，应光滑、平整、色泽均匀，不起灰尘；地板无静电现象；f.送、回风口及各类末端装置、各类管道、照明及动力线配管以及工艺设备等穿越洁净室时，穿越处的密封处理应可靠严密；g.洁净室内各类配电盘、柜和进入洁净室的电气管线管口应可靠密封；h.各种刷涂保温工程应符合有关规定；2.2.8净化空调器或空调器、排风系统、局部净化设备（各类洁净工作台、静电自净器、洁净干燥箱等）、空气吹淋室、余压阀、真空吸尘清扫设备、烟感、温感火灾自动报警装置、自动灭火装置、净化空调自动调节装置和其他有试运转要求的设备的单机试运转，应符合设备技术文件的有关规定，属于机械设备的共性要求，还应符合现行国家标准《建筑安装工程质量检验评定标准》TJ305（通用机械设备安装工程）的规定和机械设备施工安装方面有关行业标准的规定。《洁净厂房施工综合技术》第3页3.洁净厂房施工程序与管理3.1洁净室主要施工程序3.2分段施工管理步骤3.2.1开工前1）开工前必须对公司的职员、管理人员及作业人员进行有关洁净室的知识、施工方法及作业程序等的教育，提高认识。2）使所有施工人员了解洁净区域的划分及各区域的洁净等级。3.2.2壁（砖）、抹灰工程关于施工材料的放置与养护，要在开工前对公司的职员、管理人员及作业人员进行有关洁净室的知识以及施工方法、作业程序等的教育，提高认识。1）严禁在洁净区域内进行水泥砂浆搅拌、切断配管、套丝等作业。2）为保证气密，砖墙灰缝要充分填实。3）不须要材料要随时清除，不可长时间放置在洁净区。主体结构完成围墙结构完成室外门窗安装完成屋面防水施工完成现场清理安装各种管线吊架安装风管吊架安装电气桥架吊杆安装吊顶吊杆安装管线安装风管安装电气桥架管线耐压试验管线保温清扫风管漏风检查电气配管安装安装吊顶龙骨安装轻质隔墙龙骨安装风口电气照明风口与照明封闭保护安装墙面板材（墙面装修）安装室内门窗安装吊顶面板安装照明设备外罩地面装修安装净化空调与工艺设备安装管线接缝处密封（设备之间、设备与建筑之间）室内及设备防尘清扫安装粗、中效过滤器空调设备运转风管空吹安装高效过滤器送风、送水、送气安装扩散板风口净化空调系统试验调整完毕《洁净厂房施工综合技术》第4页4）为避免墙剔凿及暗埋配管等的返工，设备、电气要作好同建筑方面的配合协调工作，经事先确认后再施工。3.2.3天棚装修1）天棚的装饰材料（石膏板、轻钢龙骨）要在洁净区外加工并清扫干净后搬入到指定场所，且不能长时间放置，应尽快安装。2）在洁净区内，禁止进行石膏板、轻钢龙骨的切割等作业。3）不须要材料不要长时间放置在洁净区，应随时清除。4）为避免墙壁剔凿及暗埋配管等的返工，设备、电气要同建筑方面很好地配合协调，经事先确认后再施工。3.2.4洁净室内建筑、设备的施工。1）洁净区域的出入口，只限定在一处。2）作业人员的工作着装要干净、整齐。在出入口处设置空压机，将作业人员衣服、鞋上以及带入洁净区的材料、机具等的泥、灰尘等吹扫干净之后才可进入。3）在洁净室天棚石膏板上切割电气及设备用开口（出风口、回风口、杨声器等）时，为使切割时的粉未不落在洁净区内，要边切割边用吸尘器贴在切割处清除粉未。4）设备、电气的风管、配管与天棚及墙壁贯通部位的密封施工，要严格按洁净室施工要领书的要求实施。5）为避免墙壁剔凿及暗埋配管等的返工，设备、电气要同建筑方面很好地进行配合协调，经事先确认后再施工。当天施工结束后，必须将现场清理3.2.5洁净室的净化管理（施工结束后）1）入门卡片管理A）在洁净区域入口处，配置专人管理。B）工作人员要配戴胸卡，登记公司名、本人名、作业内容及出入时间2）规定进入洁净区域内的工作人员行走及材料、器具移动的路线。3）更换专用鞋。专用鞋架要与普通鞋架分开放置。4）作业人员所着工作服要干净整齐。5）洁净室进入净化阶段后，一切产生灰尘的作业都要禁止，不得已非要进行产生灰尘的作业时，需同负责人进行协调，将作业区域封闭隔离并在施工同时用吸尘器除尘。6）洁净室内禁止休息、吸烟、饮食。3.2.6试运转、调试前用吸尘器清扫洁净室时，要按照先天棚后墙壁，由室内向门口移动的顺序进行。洁净区域的清扫也按照由室内向出入口移动的顺序进行。《洁净厂房施工综合技术》第5页4.洁净净化措施与施工计划4.1洁净施工措施4.1.1施工阶段洁净室污染因素与净化需注意事项-1部位污染因素背景净化注意事项洁净室与前室室内条件1不良施工1-1与施工图不符1-1确认设计要求1-2检查验收不完善结构1留洞部位处理1-1与墙面结合处1-1确认设计要求1-2做好养护保护工作2穿洞部位处理2-1表面本身2-1确认设计要求2-2安装方法2-2做好养护保护工作3配线配管气密度3-1缝隙漏气3-1充实配线管与电缆的缝隙材料性质与安装1材料进场1-1方法1-1确认设计要求1-2程序1-2做好养护保护工作1-3材料性能的变化1-4保管1-5破损2材料的组装制作2-1方法2-1确认设计要求2-2程序2-2做好养护保护工作3剩余材料的存放3-1剩余材料的及时清运4表面的清洁程度4-1开口贯穿接合处4-1保护表面4-2表面清扫不彻底4-2完工后的及时清扫与养护[可见与不可见处]4-3使用前清扫孔洞1气密性1-1门窗框倾斜与损伤1-1确认设计要求1-2使用时加以注意2封闭2-1封闭不良导致漏气2-1密封材料正确选型与使用设备空间.照明.其他1贯穿处1-1开洞作业时的尘埃1-1工厂加工或采用防尘做法1-2切断面产生的尘埃1-2切断面处理或对缝隙封闭1-3从缝隙流入的尘埃2照明器具2-1安装时的污染2-1防止或减少污染2-2充分保护3风管3-1泄漏产生的污染3-1咬口、法兰处的封闭，防腐加工、气密试验。3-2保管的污染3-2防止或减少污染3-3安装后的污染3-3充分保护《洁净厂房施工综合技术》第6页3-4积尘3-4留置足够的缝隙便于清扫4废水3-1泄漏产生的污染4-1防漏试验、防腐措施3-2保管的污染4-2防止或减少污染3-3安装后的污染4-3施工后清扫和充分保护5公用配管5-1泄漏产生的污染5-1气密试验、防腐措施5-2积尘5-2留置足够的缝隙便于清扫5-3保管时污染5-3防止或减少污染5-4安装时管内外污染5-4工厂加工或采取防尘做法5-5安装后的污染5-5施工后清扫和充分保护6HEPA过滤6-1保管的污染6-1防止或减少污染6-2安装后的污染6-2充分保护6-3过滤层封闭不良，破坏产生的泄漏6-3插入时检查及防止泄漏7传递箱7-1保管的污染7-1防止或减少污染7-2安装后的污染7-2充分保护7-3积尘7-3便于清扫的配置7-4从外部周边漏入尘埃7-4完全封闭缝隙8风淋8-1保管的污染8-1防止或减少污染8-2安装后的污染8-2充分保护9厕所、洗手器9-1保管的污染99-1防止或减少污染9-2安装后的污染9-2充分保护[注]在设备周围留出清扫面。（1）机械周围：600mm以上；（2）配管周围：200mm以上。4.1.2施工阶段洁净室污染因素与净化需注意事项-2部位污染因素背景净化注意事项机器.材料制造装置.材料.工具.办公用品1进货与安装1-1按设计计划进行1-1按设计说明进货及安装1-2由于进货、开包时产生的尘埃1-2通过前室