电池RENA制绒操作

RENA新机型INTEX设备简介一。设备的外观全貌2二。制绒工艺1.工艺原理：RENA制绒工艺主要包括三部分：硝酸与氢氟酸混合液→氢氧化钾→盐酸与氢氟酸混合溶液在制绒过程中，首先是硝酸在损伤层与缺陷处将硅片氧化，形成氧化硅，然后氢氟酸与氧化硅反应生长硅的络合物（H2SiF6）与水，这样去损伤层与制绒同时进行，从而缩短了工艺流程。制绒之后的硅片经过DI水冲洗酸性表面，然后用KOH溶液去除硅片表面的多孔硅及少量残留酸液，再经过DI水冲洗去掉表面残留的碱液，最后利用HF与HCl的混合溶液除去硅片表面的多孔硅和各种金属离子等杂质，并用DI水冲洗酸性表面，最后用热风烘干硅片表面。制绒过程的反应方程式如下：1)Si+4HNO3=SiO2+4NO2+2H2O2)SiO2+4HF=SiF4+2H2O3)SiF4+2HF=H2SiF62.INTEX大致构造及工艺流程：INPUT→HNO3/HF制绒→冲洗1→KOH腐蚀→冲洗2→HF/HCl清洗→冲洗3→烘干→OUTPUT“一化一水”，硅片每经过一次化学品，都会经过一次水喷淋清洗。INPUTHNO3/HF制绒水喷淋碱洗槽KOH水喷淋HF/HCl清洗水喷淋OUTPUT热风干燥三。设备操作规程1.开机步骤：a.首先将药液供应的手阀门打开b.关闭所有防护门和所有服务及维护模式时打开的盖板和窗户c.将所有急停按钮解开d.将连接设备的主电源打开e.移开UPS处的盖子，将UPS主电源打开d.将电脑电源打开e.登陆WINDOWS界面，点图标StartWinLCRTX启动软件PLCf.将制冷剂的主电源打开(等待桌面PLC上run和on指示灯变成绿色）g.双击StartREVISh.最后按下操作台的“ON”按钮i.以“Engineers”级别权限的用户登陆软件，确认所有报警，将模式切换到“Manual”模式，给每个功能模块加载相应工艺方案，按下“WritetoPLC”j.添加制冷机系统--添加工艺槽补液罐/添加碱槽的补液罐/添加酸槽的补液罐/添加DI水补液罐k.添加工艺槽的pumptank/添加Rinse1-3的pumptank/添加碱槽的pumptank/添加酸槽的pumptank/添加所有Rinse，确认全部达到READl.此时以Operator身份登录，点击“Startproduction”便可加液生产。2.生产中的按键功能对照：Driversstop滚轮驱动停止Driverscontinue滚轮驱动继续Lockpane锁窗格Unlockpane解锁窗格Resetwafercounter清空硅片计数器3.取液步骤：a.确定设备是在自动或暂停状态b.以“Engineers”级别权限登入，这时“Sampling”按键被激活c.依次点击IntexGeneralShowd.按下“ReleaseSamplingtemporary”e.到设备后面按住Sampling5秒开始取样，取样完毕将挡板盖好f.将用户切换回Operator级别。4.班组生产结束后的停机步骤：a.按下“Intex-show”b.按下“Scheduledstop”(此状态设备滚轮工艺过程不会立即停止，会按速度计算最后一片出设备的时间，然后停止滚轮和工艺。注意：“Unscheduledstop”是立即停止。)c.按下“yes”5.关机断电步骤：a.执行Scheduledstopb.以“Engineers”级别权限的用户登陆c.排空所有Pumptank,然后排空所有dosagetankd.冲洗所有dosagetank，然后冲洗所有Pumptanke.冲洗完毕按下“off”f.关闭软件和电脑以及制冷机，最后关闭控制面板的“Off”g.关闭所有供应阀门（水、气、药液）h.关闭设备电源和主电源谢谢欣赏！