RENA设备构造及系统

TrainingForRENARENA培训•第一部分：RENA设备构造•第二部分：RENA设备操作系统•第三部分：RENA设备保养•第四部分：RENA常见故障及处理方法Overview/概述第一部分：设备概览：intex/inOxSideGeneralinformation/概述InTex（一次清洗）Purpose:washingthespeckandetchasuedeonthesurfaceofthewafers./目的:清洗硅片表面的污渍，并在硅片表面刻蚀出绒面。InOxSide（二次清洗)Purpose:removethephosphorglassandthephosphorendowedsiliconfilmfromthebottomsurfaceandtheedgesofthewafers./目的:去除硅片表面的磷硅玻璃；去掉背面及四周的P-N结。工作流程制绒槽上料台下料台干燥漂洗3#酸洗漂洗2#碱洗吹干漂洗1#InOxSide刻蚀槽上料台下料台干燥漂洗3#酸洗漂洗2#漂洗1#碱洗IntexWorkingprocess/工作流程EtchbathInputstationOutputstationACDRinse3AcidicRinseRinse2AlkalineRinseDryer1Rinse1InOxSideEtchbathInputstationOutputstationACDRinse3AcidicRinseRinse2Rinse1AlkalineRinseIntexStations/各槽子位置图Stations••Station1-Etchbath:Thewafersareetchedwithanacidmixture./槽1–制绒槽:用酸液在硅片表面刻蚀出绒面。••Station2-Rinse1:Thewafersareexemptfromthemediaofthepreviousstation./槽2–漂洗槽1:去除来自上一个槽子的化学品。••Station3-Alkalinecleanbath:Thewaferswillbealkalinerinsedtoavoidspecking./槽3–碱洗槽:用碱液清洗硅片表面的污渍。••Station4-Rinse2:Thewafersareexemptfromthemediaofthepreviousstation./槽4–漂洗槽2:去除来自上一个槽子的化学品。••Station5-Acidiccleanbath:Thewaferssurfacewillbetreatedwithanacidmixture./槽5–酸洗槽:用酸液清洗硅片表面。••Station6-Rinse3:Thewafersareexemptfromthemediaofthepreviousstation./槽6–漂洗槽3:去除来自上一个槽子的化学品。••Station7–AirChannelDryer:Inthelaststepthewafersareairdriedonbothsides./槽7–空气干燥槽:在最后一步中,硅片的两面使用热空气吹风干燥.第二部分：RENAInTex的软件界面Infobar/信息栏Intheinfobar,thefollowinginformationisdisplayed:/在信息栏中，以下信息被显示：1.Time/时间2.Date/日期3.Operatingmode:/操作模式-Currentoperatingmode(OM)ofthecompletemachine./当前机器的操作模式。4.Operatingmoderequest:/操作模式请求-Ifanoperationmodechange-overisperformed,thisisalwaysarequest.Thecontrollerchecksiftherequestedoperatingmodeisfeasible.Decisiveforthisisthestatusoftheindividualmodules.AnOMchangecantakeplaceonlywhenallmodulesareavailableforthenewOM.-在操作模式改变之前，都会发送一个请求给控制器。控制器再逐一检查请求的操作模式是否可执行，只有当所有的模块都准备好在新模式下运行之后，操作模式的改变才会成功。5.Loginname:/登陆名-Nameofthecurrentuserloggedinthesystem./当前登陆系统的用户名字Buttonbar/按钮栏SignofffromtheSystem/从系统中退出Helpfileforcurrentlyvisiblemainscreen/当前界面的帮助文件Usermanagement/用户管理Tothemainscreenmediasupplies/进入材料供应界面Backfrommediasupplies/从材料供应界面返回主界面Returnbacktothemainscreenfromallotherscreens/从其他界面返回主界面Buttonbar/按钮栏•Operationmodesofthemachine/机器的操作模式1.ModeOff/Off模式Thebackgroundcolorofthestatusdisplayisblue.Themoduleisswitchedoffandnooutputsareswitchedon./该模式下状态的背景颜色是蓝色，所有模块是关闭的，没有任何输出。2.ModeManual/手动模式Thebackgroundcolorofthestatusdisplayisyellow.Themoduleisinthemanualmode./该模式下状态的背景颜色是黄色，模块处于手动模式。3.ModeService/维护模式Thebackgroundcolorofthestatusdisplayisred.Themoduleisintheservicemode./该模式下状态的背景颜色是红色，模块处于维护模式。4.ModeAuto/自动模式Thebackgroundcolorofthestatusdisplayisgreen.Themoduleisintheautomaticoperationmode./该模式下状态的背景颜色是绿色，模块处于自动模式。Additionalbuttonsinthemainscreen主界面中附加的按钮1.“Enteranote”button/输入记录Thisbuttonopensatexteditor.Thisprovidesthepossibilityforwritingandsavingtextmessages./打开一个文本编辑器，写入并保存文本信息。2.“Stop”button/停止按钮Stoptheautomaticoperationofthemachine./停止自动操作3.“Start”button/开始按钮Starttheautomaticoperation./启动自动操作4.“TestLamps”button/测试信号灯按钮Pushingthisbutton,alllampsatthesignaltowerlightupandthebeepersounds.Pushagaintostop./点击这个按钮，所有信号灯将被点亮，蜂鸣器响起。再点一次关闭。5.“ResetInput”/“ResetOutput”button/输入、输出计数复位按钮Thisbuttonresetsthewafercounteroftheinputresp.output.Modemanual/手动模式ModeService/维护模式ModeAuto/自动模式Buttonbar/按钮栏进入维护子菜单进入手动子菜单进入配方参数子菜单进入手动补给功能概观界面进入趋势图子菜单进入过程值概观界面进入诊断子菜单关闭警告信息确认错误信息Click“Drainbath”todrainthechemicalfrom“etchbath”to“tank”/选中“Etchbath”，点击＂DrainBath,即把Etchbath中的反应液排到Tank内。第三部分：RENA设备保养RENA设备保养流程•1.挂设备保养警示牌，点击主界面’Stop’按钮停止运行设备，然后点击‘ModeManual’切换为手动模式。•2.击主界面’Manual’后进入制绒槽/刻蚀槽界面，点击’drainbath’将药液从上槽打到下槽。其它各工艺槽（酸槽，碱槽，漂洗1，2，3）的药液点击各工艺槽界面的’draining’排放掉。•3.点击’Drives’-‘on’开启滚轮，并在主界面上设置数值将滚轮减至”0.3-0.5m/min”范围。•4.清洗各工艺槽2遍：检查所有泵的电机运行无噪音，待制绒槽/刻蚀槽上槽显示“Empty”后，点击‘RinseBathStart’后由生产人员用水枪冲洗制绒槽/刻蚀槽上槽，由工艺人员确认。其它各工艺槽显示“Empty”后，点击’FillingDI’将各槽加满水，待各槽循环5分钟左右后依次点击’draining’排掉。RENA设备保养流程•5.清洗完各工艺槽后，点击主界面’ModeService’切换为维修模式。•6.清洗酸槽，碱槽，漂洗1，2，3的滤芯，如过滤效果不好则更换新滤芯。•7.将设备前后窗户、盖板拆下，由生产人员擦洗干净。•8.把各工艺槽塑料风刀拆下，风刀表面用酒精清洗干净，风刀上小孔用细铁丝清理。将滚轮拆下，脏的滚轮由生产人员擦洗干净。用吸尘器清理各工艺槽碎片，清理完碎片后，由工艺人员确认后将滚轮及风刀重新装上。•9.清理热风刀过滤棉，较脏则更换。检查所有检测探头工作正常。检查淋洗条方向正确。检查所有风刀口方向正确。确认滚轮安装是否准确到位。在主界面上将滚轮速度设置为正常值。RENA设备保养流程•10.检查配液槽（550L）和储液罐（25L、8L)无泄漏。检查化学品药房内部托盘无泄漏。•11.用较完整的碎片从上料台至下料台试跑2到3遍检查滚轮运行情况。•12.将设备前后窗户、盖板重新装上。点击‘ModeManual’切换为手动模式。•13.保养结束后将设备交给生产和工艺进行清洗槽子和配液以及试生产。试生产正常后交由生产人员正常生产。由设备人员继续观察30分钟左右生产情况•14.设备人员填写设备保养表单。生产及工艺人员填写员工保养表单。第四部分：RENA常见故障及处理方法故障一：碎片比较多，主要由下面三个原因1.来料不良2.操作不当针对这两个原因，可以交给生产或工艺人员进行处理，规范生产3.机器本身的故障主要有以下三方面（1）o型圈的问题：检查并更换或校正o型圈（2）滚轮磨损或者支架的磨损：检查并且调整滚轮和支架的高度（3）滚轮不转，涡轮箱损坏造成叠片：检查卡口或者卡杆有无损坏，如是涡轮箱的问题，应对涡轮箱进行维修或更换。RENA常见故障及处理方法•故障二：喷淋流量小或者硅片吹不干•1.喷淋流量小：先对阀进行检查，如若没有问题，则对滤芯进行清洗或更换•2.硅片吹不干：先检查调节阀，如若没有问题，则对风刀孔进行清洁（因为风刀接触碱液容易形成结晶堵塞风刀孔）•故障三：软件出错，出现报警或者电脑死机•1.软件出错，出现报警：对软件或系统进行恢复•2.电脑死机：检查硬件清洁或者更换，对软件或系统进行恢复Trainingforrena•That’sall.Thankyou./谢谢，再见。