微电子器件原理-第1章微电子器件发展概况

微电子器件原理主要内容二极管三极管MOS器件JFETMESFETHBT参考书FundamentalsofModernVLSIDevices（教材）YuanTaurandTakH.Ning,2002年半导体物理与器件（补充教材）（SemiconductorPhysicsandDevicesBasicPrinciples）[美]DonaldA.Neamen著；赵毅强，姚素英，解晓东等译电子工业出版社，2005年必需具备的基础半导体物理复习P-N结MOS结构学习方法在具备半导体物理的基础上，结合工艺原理学习后续课程（1）微电子器件平面工艺实验（2）微电子器件测试与分析考试课堂考勤和课堂作业占10%平时作业占10%综合型作业占20%期末考试占60%上课缺席达1/3以上者不得参加期末考试学习这门课的意义信息产业是发展最快的产业发达国家经济发展的支柱产业微电子技术是21世纪的九大关键技术之一微电子工业是现代一个国家实力的衡量标准信息技术是我国优先发展的高新技术，特别是微电子和软件微电子器件是微电子产业的基础第一章VLSI器件发展概况1.1VLSI器件技术的发展1.2现代VLSI器件1.1VLSI器件技术的发展VLSI发展的主要里程碑光刻特征尺寸及DRAM和微处理器每个芯片器件个数发展趋势1.2现代VLSI器件现代CMOS器件结构现代三极管结构