ESD防静电管理规范(精)

April.4,05-B0深圳市杰瑞佳科技深圳有限公司防静电管理规范目录：1.目的2.适用范围3.引用标准4.名词术语5.防静电工作区系统6.人体防静电系统7.职责8.培训9.采购10.记录11.附录April.4,05-B01.目的为避免静电敏感元器件在生产、运输、储存、检测等过程中受到静电释放的影响，从而产生短路、电阻漂移、开路、工作性能退化等不良现象。特建立《电子产品制造静电防护技术要求》，以保证产品品质，增加可靠性，减低不良率，节省产品工时成本，降低维修费用。基于《电子产品制造静电防护技术要求》文件的颁布，提高员工对ESD的认识，加强员工自觉防止ESD现象之观念，促进生产管理水平之提高。2.适用范围本文适用于所有车间中生产制程及电子元器件的采购、运输、储存、检测过程中的静电防护。3.引用标准SJ/T10694-1996《电子产品制造防静电系统测试方法》GB/T15463-1995《静电安全名词术语》GJB3007-97《防静电工作区技术要求》GJB1649-93《电子产品防静电放电控制大纲》GB12014-89《防静电工作服》SJ/T10533-94《电子设备制造防静电技术要求》SJ/T10630-1995《电子元器件制造防静电技术要求》ANSI/ESDSTM3.1-2000《静电放电敏感产品防护用标准：离子发生器》ANSI/ESDS20.20-1999《建立一个静电放电控制方案—保护电气和电子零件，装置和设备》4.名词术语4.1静电：一种处于相对稳定状态的电荷。它所引起的磁场效应可以忽略不计（静电可由物质的接触与分离、静电感应、介质极化和带电微粒的附着等物理过程而产生）。4.2ESD：ElectronicStaticDischarge，原意是指静电释放，即通过带静电区域直接接触或感应而引起的静电电荷在不同电势物体上的转移。后常指静电防护，即避免静电释放的发生。4.3静电感应：当带电物体靠近某一介质时，在该介质表面因感应而带电荷，并形成感应电场。4.4ESDS：ElectronicStaticDischargeSensitive，静电放电敏感（的），通常用来指静电敏感元器件。4.5防静电工作区：由各种防静电设施、器件及明确的区域界限形成的工作场地。4.6静电敏感度：ElectrostaticSensitivity，元器件所能承受的静电放电电压值。4.7表面电阻/点对点电阻：在与材料的同一侧面相接触的两个规定形状的电极之间，直流电压对于流过的电流的比值。该测量结果以欧姆为单位来表示。4.8体积电阻/对地电阻/系统电阻：在与材料的相对两面相接触的两个规定形状的电极之间，直流电压对于流过的电流的比值。该测量结果以欧姆为单位来表示。4.9摩擦起电：当使两种材料接触或相互摩擦后分离时，产生静电荷。4.10摩擦电压：物体被摩擦后，表面所带静电荷的电压。4.11ESD损伤：由静电放电引起的电子元器件性能退化或功能失效。4.12消电时间（DecayTime）：一个静电压从其初始值降低到一个给定值（通常是初始值的10%）所需要的时间。注：国际惯例对于小于1E6欧姆的电阻使用10V电压测量，大于或等于1E6欧姆的电阻使用100V电压测量，防静电工作区系统5.1防静电工作区的划分：5.1.1根据GJB1649规定的静电放电电压敏感的静电放电敏感元器件\组件和设备的分级.静电放电敏感产品按敏感度电压被分级为:静电敏感度级别静电敏感电压（人体模型—HBM）I级0~1999VII级2000~3999VIII级4000~15999V根据该项标准的规定，所要求的ESD控制大纲一般只包含对I和II级敏感产品的防护。现按照元器件静电敏感度和生产线实际情况如下：5.1.1.1LED芯片的静电敏感度相对较高，生产环境相对干燥,凡是直接操作的半成品、成品生产线均定为I级；Apr.3,02-A05.1.1.2仅仅是器件的存储和运输，也不需要严格的防静电措施，理由是产品在这个时候没有被加工。把这些区域或车间定为II级；5.1.1.3按照上述理由，现规定敏感级别为：级别区域I级固焊车间、灌胶车间、模压车间、外观、分光、包装等II级成品包装区域、货仓区域，生产仓，收料仓等5.1.2公司内部由黄、黑双色斑马线围起的区域或门口挂有静电标示牌的车间为防静电工作区。5.1.3元器件敏感度分级由QC1ESD工程师按后附录1——《ESDS元器件分类》酌情分级，并确定。5.2防静电工作区基本环境要求5.2.1防静电工作区应保持洁净，避免有灰尘堆积或漂浮的状态发生5.2.2车间内温湿度的控制结合车间的实际情况定为：区域温度湿度万级洁净室212C%~%10万级洁净室212C%~%普通车间233C%~%5.2.3在不对产品造成有害影响的前提下，允许使用增湿设备喷洒制剂或水，以增加环境湿度。5.2.4防静电工作区应清楚标明区域界限以及警示标志，见附录14。5.2.5要求使用防静电地板或在普通地面上铺设防静电地垫，并保证有效接地。禁止直接使用木制地板或铺设毛、麻、化纤地毯及普通地板革。5.2.6天花板及墙壁建议使用防静电材料制品，一般情况下允许使用石膏制品或石灰涂料，禁止使用普通塑料制品。5.3防静电工作区接地系统5.3.1应有独立可靠的接地装置，接地电阻一般应小于10欧姆，为保证人员安全，在与人员直接接触的地方应加装1兆欧姆限流电阻。接地线的要求如下：接地线截面积接地电阻要求接地总线不小于100mm2的铜制导线小于10欧姆ESD线不得直接接在电源零线上。ESD线不得与防雷地线共用。使用三相五线制供电，其大地线可以作为ESD地线，但需保证电源地线与零线不能搭接。接地支干线不小于6mm2的铜制导线小于10欧姆设备和工作台的接地线不小于1.25mm2的多股或单股的铜制绝缘套导线小于10欧姆或0.8兆欧~1.2兆欧ESD地线应用绿色绝缘套标识。台垫等物品的接地配件按照来料的颜色使用。5.3.2厂房接地总线的接地电阻小于10欧姆，由行政部负责定期检查，周期为一个月一次。并填写《厂房接地电阻测试记录表》。5.3.3车间内部的设备和工作台的接地线的接地状况由PE负责定期检查，周期为3个月一次。并填写《工作台地线接地电阻测试记录表》。5.3.4测试台的防静电设备，工器具的接地由TE负责定期检查，周期为3个月一次。并填写《工作台地线接地电阻测试记录表》。5.4防静电区域设备及辅料要求I级区域II级区域防静电安全工作台防静电安全工作台防静电容器、运输工具（料盒、料箱、运输车）防静电容器、运输工具（料盒、料箱、运输车）防静电腕带防静电腕带防静电工衣（帽）防静电工衣（帽）防静电工鞋防静电工鞋防静电测试架离子风机（离子棒/离子风枪）（视工序而定）防静电烙铁（如需使用烙铁）5.5防静电工作区的ESD技术要求Apr.3,02-A05.5.1防静电地板5.5.1.1用防静电PVC地板专用清洁剂或中性清洁用品定期进行清洁，严禁使用强酸、强碱或能溶解PVC材料的化学溶剂进行清洗，如果属于更严重的污渍，可以使用异丙烯基乙醇清洁。5.5.1.2严禁带有尖刺、粗糙的重物在地板表面擦划、拖拉。5.5.1.3不能将硫化物、丙酮、酒精等物品撒落在ESD地板上，如发生以上情况，应立即清洁。5.5.1.4使用防静电地板蜡水进行定期涂敷、养护，一般6个月一次。5.5.1.5地板蜡的电阻小于1E9欧姆。5.5.1.6地板安装时应满足的ESD技术指标包括：表面电阻值和系统电阻值均在1E4~1E9欧姆范围以内。5.5.1.7生产部应及时向行政部要求对防静电地板进行打蜡维护，行政部做好地板打蜡后应及时通知QC1部ESD工程师。5.5.1.8对于K4洁净室的地板，经IE评估且经过ESD工程师的认可，可以不做地板打蜡。5.5.1.9QC1部ESD工程师应在行政部对防静电地板打蜡后做一次防静电地板表面电阻、系统电阻测试，测试方法见附录2，并填写《防静电地板电阻测试记录表》。5.5.2防静电安全工作台（含测试台）5.5.2.1各区域的防静电安全工作台由负责该区域的PE或TE确定范围。例如：回流焊后的检查台、QC1检查台、修理台和测试台等。5.5.2.2防静电安全工作台基本要求和禁止项目要求禁止工作台表面铺设防静电台垫，同时台垫必须接地。特殊情况可以没有台垫，但需经ESD工程师认可。工作台上放置普通塑料盒（片）、橡皮、玻璃、普通泡沫等容易产生静电的杂物.配备腕带接头、ESD地线、离子风机（可选）、防静电工具（可选）和防静电测试架距离ESDS元器件30厘米以内有摩擦电压高于200V的物件5.5.2.3在防静电区内使用不符合防静电要求的物料且必须时，必须得到QC1ESD工程师的评估和认可。5.5.2.4防静电台台面应满足ESD技术指标。表面电阻值和系统电阻值均在1E4~1E9欧姆范围以内。5.5.2.5防静电台椅子应满足ESD技术指标。表面电阻值和系统电阻值均小于1E9欧姆范围。5.5.2.6防静电胶帘的表面电阻应在1E4~1E11欧姆内。5.5.2.7PE应每6个月做一次相应的工作区域内的防静电台垫和防静电工椅电阻测试，防静电台垫测试方法见附录3，填写《防静电台垫电阻测试记录表》。防静电工椅测试方法见附录8，填写《防静电工椅测试记录表》，如果有不合格的，须及时更换。5.5.3防静电辅料/工具5.5.3.1防静电溶剂瓶：系统电阻在1E4~1E11欧姆范围。5.5.3.2防静电烙铁/焊接工具：从热的端头到地的电阻应小于10欧姆。5.5.3.3防静电文件袋(夹):表面电阻在1E4~1E11欧姆范围。5.5.3.4PE应每6个月做一次防静电辅料电阻测试，测试方法见附录7，填写《防静电辅料电阻测试记录表》。5.5.4防静电包装及容器5.5.4.1防静电容器包括——ESDS原料包装袋（盒/盘）、装板的料盒、等一切包装、储存ESDS的容器。5.5.4.2允许使用局部抗静电涂料对容器表面进行处理，但使用效果必须由相关PE定期检查。5.5.4.3防静电容器应满足ESD技术指标：表面电阻(包括内外表面)在1E4~1E11欧姆范围，系统电阻在1E4~1E10欧姆范围。如果产品或产品的金属部分不直接与防静电容器接触，则允许防静电容器的电阻小于1E4欧姆。PE应每6个月做一次防静电容器（包括吸塑、托盘、料箱等）表面电阻和体积电阻测试，测试方法见附录4。填写《防静电周转容器电阻测试记录表》，测试结果由PE保存半年，并在符合标准的容器上做标记。QC2应按SEF对来料的包装袋和容器进行测试，并填写《防静电包装袋容器电阻测试记录表》。5.5.5防静电运输工具及存放架等5.5.5.1防静电运输工具包括—ESD运输车、ESD小推车等5.5.5.2为保护ESDS不受到外部强静电场的影响，运送ESDS的防静电运输工具应由高导电性材料（建议使用不锈钢）制作，车子经常固定时要求硬接地。其对地电阻应小于10欧姆。5.5.5.3当运输车由不锈钢组成时，且经常移动时，其对地电阻应小于1E9欧姆。5.5.5.4存放架的表面电阻和对地电阻应小于1E9欧姆。Apr.3,02-A05.5.5.5防静电运输工具应满足ESD技术指标：表面电阻和对地电阻小于1E9欧姆。PE应每6个月做一次防静电运输车、ESD小推车之台面对轮脚系统电阻测试，测试方法见附录5。填写《防静电运输工具/存放架电阻测试记录表》，测试结果由PE保存半年，并在符合标准的运输工具上做标记。5.5.6除静电离子风机/离子棒5.5.6.1当防静电区域内不可避免的需要使用会产生高静电的材料时，且该材料要求被放置在离ESDS30厘米内时，必须使用离子风机或离子棒。5.5.6.2对于不能接地又直接接触ESDS元件的物体，必须保证其保持在零电位状态，必要时，可以使用离子风机消除在这个过程中产生的静电。5.5.6.3离子风机在使用的过程中会产生较大功率的RF信号，因此进行通信产品测试的车间不适用离子风机。如果要用，则需要通过QC1ESD工程师的评估。5.5.6.4悬挂式离子风机应悬挂在离工作台面60厘米的高度，（特殊工位可例外，但须经ESD工