ESD控制技术规范

——————————————————————————————————————————————第1页共20页1.目的本文件旨在规定ESD防静电控制技术规范，为产品在元器件进料、制造、贮存、包装等各个环节提供明确可靠的ESD技术支持，从整体上提高公司静电防护和控制水平，提高客户的满意度。2.适用范围本规范适用于公司、供应商和合作方的供应链体系内部静电防护工程的设计、使用、管理、维护和检测。同时，此标准也适用于公司的电子设备的最终用户的静电放电控制。3.职责3.1公司ESD组织结构和职责3.1.1公司ESD管理小组负责公司的防静电控制规范、标准的制定，建立健全ESD管理规章制度。定期组织ESD抽查和评审，确保公司ESD控制体系有效运行。3.1.2各部门负责人负责本部门工作区域的静电防护措施的执行。a)设备组工程师负责ESD总线接地有效并定期进行点检；b)技术员定期对各工位进行静电电压测试并记录，发现异常及时通知相关工程师处理；c)生产主管、拉长督促生产员工穿好防静电工衣、工帽、工鞋并戴好防静电手腕带，并对手腕带进行定期测量，确保工作有效，发现异常及时通知相关人员处理；d)人事行政部门负责督导外来人员进入制造中心车间前穿戴防静电工衣及鞋套。e)由品质部牵头各部门（工艺、生产、设备）分派组建ESD管理小组,负责公司各部门ESD日常执行状况的监督，包括ESD实施情况的定期检查﹑抽测和测试。4.概要本文主要从静电控制的五个方面(即人员、设备、物料、方法和环境)来论述ESD规范，贯穿了公司产品设计、制造、贮存、包装等各个环节防静电控制，详细介绍了防静电设施的技术要求、检测方法和作业指导等内容。——————————————————————————————————————————————第2页共20页5.静电防护区域（EPA）的界定和标识6.1EPA的划分EPA必须具有如下的基本环境要求：⑴明确的区域界限和防静电警示标志。⑵对区域内的所有导体包括人员可靠接地。⑶消除一切不必要的静电产生源。⑷静电敏感器件必须远离静电源至少100厘米处。根据本公司产品器件的静电敏感度等级，将本公司EPA静电敏感度等级防范要求为200V。防护要求为：1、静电敏感度等级防范要求为200V，应尽量避免产生200V以上的静电电荷源，如不能避免，应通过有效方式消除。2、采用防静电标识与其它区域分隔开，未采取有效防静电措施的人员、设备、物料、工具等皆不得入内。3、进入本区域应作好人员防静电要求，包括防静电工衣、工帽、工鞋（鞋套）、腕带或手套并作人体综合电阻测试合格后才能进入。6.2EPA标识防静电工作区、防静电包装材料和转运工具、设备仪器的接地等都应该具有防静电标识。防静电标识的作用是警示任何靠近防静电工作区的人员，区域内存在静电敏感器件的操作；警示任何接触静电敏感器件的人员，对该器件的操作必须进行静电防护。1)任何防静电工作区都必须有区域标识，除非此工作区位于静电安全工作区内。标识上应注意说明，如“注意：静电安全工作区“或其同意语。“放电”，“注意”，“危险”等标示对静电控制是不合适的。EPA标识所在的位置及其大小应该至少保证在距离工作区1米时清晰可见。2)应该使用黄底黑字的地板胶带将每一个防静电工作区围起，EPA的边界线,它由黄黑双色的平行四边形图案相间构成，其宽度为4～5cm。是专门用来标志静电敏感区的区域界限的。3)需要在静电安全工作区的每一个入口和出口放置防静电标识牌和控制说明。——————————————————————————————————————————————第3页共20页4)防静电器材、工具和静电敏感物料都必须具有明显的防静电标识，防静电接地系统应有明显的接地标识说明。5)防静电容器（防静电周转箱，防静电元件盒等），元件架和运输车等器材上应有防静电标志，其标志应置于明显且不易受到磨损的地方。如图A，6.静电敏感区域的工程环境防静电规范7.1防静电工程环境的要求：7.1.1环境的温度和湿度要求温度应在20℃至30℃之间，湿度应在45%--80%，环境内应配备温度计和湿度计，并按要求做好点检记录。如果环境内的空气过于干燥，应使用加湿器或其它办法来满足湿度要求，但应以不对产品造成有害影响为前提。如果湿度高了应该开空调或抽湿机来使其满足要求。温度计和湿度计使用要求:a)所有需要防范的环境内应配备温度计和湿度计，温度计和湿度计必须放置在水平稳定的平面上。b)每日开工前必须由专人如实查看并记录，发现不符合要求时，应报告相关责任人立即处理，使其满足温度和湿度要求。c)每月的温度和湿度仪记录应归类保存，保存期为两年以上。7.2地面的技术要求7.2.1地板的防静电要求:为有效地使人体静电能通过地板尽快泄漏到大地，除操作人员穿用防静电服、防静电鞋外，其先决条件是地板必须具有一定的导电性能，即是防静电的。这种防静电地板能泄漏设图A防静电标志——————————————————————————————————————————————第4页共20页备、工装上的静电，也能泄漏移动操作时不易使用腕带的人体静电。普通地板材料的电阻率都较高，难以泄放人体、工装、设备上的静电。表三为各种地板的泄漏电阻:(单位:Ω)。表三地坪材料名称泄漏电阻地坪材料名称泄漏电阻石104~109沥青1011~1013混凝土105~1010聚氯乙烯(贴面)1012~1015一般涂刷地面109~1012导电性水磨石105~107橡胶109~1013导电性橡胶104~108木、木胶合板1010~1013导电性聚氯乙烯107~10117.2.2防静电地板的静电特性定期检查与维护保养:7.2.2.1检查对象：防静电地板。7.2.2.2检查频率：每半年一次，其中一次应在干燥季节测量。7.2.2.3检查指标：静电压，泄漏电阻和表面电阻率。7.2.2.4检查标准：200V，1×104Ω~109Ω。7.2.2.5检查仪器：静电压表，万用表和兆欧表。7.2.2.6相对湿度低于30%时，应增加测量泄漏电阻的次数，当电阻比较大时可撒少量的水。7.2.2.7当地板上附着有绝缘性的油膜、树脂、橡胶和脏污时，应根据情况定期清除。7.2.2.8清扫防静电地板时不得使用绝缘性的地板腊。7.2.2.9采用抛光防静电地板蜡的地面，至少3个月检查测量一次地面的表面电阻，并记录保存测量结果。7.3静电敏感区域的防静电保护接地技术要求:防静电系统必须有可靠的接地装置，主要技术要求如下:7.3.1接地线：也称为地线母线。接地主干线的截面积应不小于100mm2，支干线的截面积应不小于6mm2，设备和工作台的接地线采用截面积应不小于1.25mm2的敷塑导线，并以黄绿色为宜。7.3.2防静电设备的连接端子应确保接触可靠，易装拆，必须使用插头座等。7.3.3接地电阻：指接地体与大地之间的接触电阻，静电保护接地电阻应小于4Ω。——————————————————————————————————————————————第5页共20页7.3.4地线的埋设：埋设地线的原则是埋设地点的土壤电阻系数愈小愈好接地体与土壤的接触面积要大，接触密度要高，接触要紧。7.3.4.1埋设地线的注意事项：7.3.4.2接地线与接地线接头必须焊接牢固，要有足够的机械强度，引线不要过长。7.3.4.3要采用耐腐蚀的接地体金属。7.3.4.4要保持接地体附近土质的质量，并不断采取措施防止接地电阻变大。7.3.4.5防静电地线必须是永久性的。7.3.5接地线的定期检查：7.3.5.1检查对象：所有的接地线及接地端口。7.3.5.2检查仪器：万用表和接地电阻测试仪。7.3.5.3检查参数：泄漏电阻(接地电阻)。7.3.5.4检查频率：a)每条生产线的主接地线对通用接地点的接地性能和设备，工装及工作台等设施对生产线主接地线的接地性能应每周检查一次。b)ESD桌垫、ESD地垫、周转车、周转架和防静电环等设施的防静电连接线应每月检查一次。c)每个通用接地点对地的接地性能每6个月检查一次。7.3.6接地线的定期维护：7.3.6.1对于检查不过关的接地线必须采取措施及时解决。7.3.6.2确保接地线有效接地。7.3.6.3对于生锈的或接触不好的接地线要及时更换。7.3.6.4对于松动的接地线要重新连接。7.3.6.5按接地线相关规定进行维护。7.静电敏感区域的人员防静电规范8.1各类人员的防静电知识培训要求及职责：有可能进入静电敏感区域的人员或有可能接触静电敏感器件的人员都应接受防静电知识培训，这既是对每位员工的基本要求，也是减少静电危害的根本方法和途径之一。8.1.1所有新员工在接受入厂培训时，必须接受ESD知识的培训。课程包括至少2小时的理——————————————————————————————————————————————第6页共20页论知识培训和简要讲解本规范内容。培训结束后，由人力资源部组织ESD的考试，合格者才能上岗。8.1.2所有在职人员必须每年接受不少于2小时的ESD知识再培训。培训内容包括介绍ESD的新技术，新规范等。8.1.3在静电敏感区域内工作的生产人员及与静电敏感器件有直接或间接接触(包括静电感应)的作业人员，必须接受ESD基本知识和防静电工艺规程操作要求的培训，作为上岗考核的必考内容之一。考核不合格者不得安排在有防静电要求的岗位工作。上岗考核的有效期为一年，一年后必须进行重新培训考核。8.1.4工艺人员必须接受并通过ESD较为专业知识培训，掌握电子工业产品的防静电工艺技术，在生产过程中指导生产作业人员落实防静电措施，并对他们进行静电防护日常教育。8.1.5品质控制管理人员必须接受并通过ESD较为专业知识培训，熟悉各类ESSD的静电敏感性能及其防护知识，监督防静电工艺规程的贯彻执行，评估防静电工程实施效果。8.1.6采购部人员必须接受ESD基本知识培训，熟悉ESSD的品种、型号、标志方法和静电防护常识，严格遵守物料或产品在采购和运输过程中静电防护的规范。8.1.7仓储，转运人员必须接受ESD基本知识培训，懂得在储存和转运过程中防护ESSD静电器件及相关的存放操作要求。8.1.8检验和试验人员(包括外购件入厂检验试验和产品检验人员)必须接受较为ESD专业知识培训，熟练掌握ESSD的检测知识和防静电器件的检测方法，严格按设计技术文件要求和工艺规程进行检验和试验。8.1.9负责防静电接地和布生产线的人员，应接受较为专业的ESD知识培训，熟悉防静电接地系统要求，掌握地桩、地线、及其它防静电设施的敷设或安装。8.1.10生产管理人员应了解ESD基本知识，严格按静电敏感器件的设计文件要求和工艺规程组织生产，并开展对生产员工的静电防护日常教育。8.1.11计量检定人员也应了解ESD基本知识，尤其是关于防静电仪器的校验知识，要定期调校防静电检测器材，保证其安全、有效。8.1.12由于工种变化或者转到新的部门，如从非EPA转移到EPA，从行政部门转到产品开发部门等，需要进行适应新环境ESD控制要求的再培训。8.1.13提高培训是针对ESD工作骨干人员组织的静电防护技术的高级培训，适用于ESD小组成员、区域ESD责任人（接口人）、各部门ESD工作优秀人员和ESD责任人的预备人选等。——————————————————————————————————————————————第7页共20页提高培训由公司ESD负责人根据需要不定期举行。提高培训的内容主要是ESD标准的学习讨论、ESD新技术的学习，ESD案例学习和疑难问题讨论等。8.2人体静电防护系统：8.2.1防静电工作服：8.2.1.1防静电工作服是指为防止静电荷积累，用防静电织物作为面料而制成的工作服，样式有连体式、分体式等。防静电工作服主要用来泄放人体高绝缘性能的服装所产生的静电或减少人体静电产生。8.2.1.2防静电工作服的主要技术指标如下表所示:技术指标A级实验方法带电量＜0.6μC/件按GB12014-89附录A耐洗涤时间≥33.0h按GB12014-89附录B推荐的防静电工作服选择使用A级，要求洗涤时间：≥33小时（或洗涤