中文版-洁净室介绍

Cleanroom介绍2007.2.8Contents2.洁净室适用行业1.洁净室的定义3.洁净室结构4.洁净工程相关流程控制环境中的温度，湿度，气流，洁净度及正压的密闭空间。1.防止渗透:防止灰尘和微生物渗透到室内2.防止产尘:防止室内产生灰尘或微生物3.防止堆积:防止室内积灰尘或微生物4.迅速去除:迅速去除室内灰尘和微生物定义洁净室四大原则1.洁净室的定义1/35洁净度Class100ⓐ0.1㎛是什么?※过去美国FED-209洁净度标准以0.5㎛粒子数量为基准0.1㎛一根头发(50~100㎛)10㎛可視最小粒子的大小1.洁净室的定义洁净度2/35C/R适用行业及洁净度ICR(IndustrialsCleanRoom)SemiconductFPD(LCD/OLED/PDP)PCBBack-LightUnitElec.MaterialClass:1~100Class:10~1,000Class:100~1,000Class:100~10,000Class:100~10,000BCR(BioCleanRoom)MedicineGoodManufacturePracticeGoodLaboratoryPracticeBio-HazardOP-RoomClass:1,000~10,000Class:1,000~100,000Class:1,000~100,000Class:1,000~100,000Class:100~10,0002.洁净室适用行业3/35土建/内装主要工程(I.C.R事例)I.C.R工程事例-PDPHVACUtility电气B.C.R工程事例-GMP环境3.洁净室结构4/35土建/内装工程CleanRoomUpperPlenumUnderPlenumCleanRoom洁净室UpperPlenum上夹层UnderPlenum下夹层SystemCeiling吊顶系统AccessFloor高架地板SystemCeilingAccessFloorReturnPlenum回风夹道CleanRoom结构施工顺序涂装吊顶系统AccessFloor安装FFU内装•地面环氧•柱子环氧•格构梁环氧•隔断•一次螺栓•二次螺栓•安装盲板•安装基础•有空板•宽孔板•安装过滤器•安装FFU3.洁净室结构5/35土建/内装工程SystemCeilingAccessFloorFFU方式用个别FFU循环洁净室空气DFU方式利用夹层的正压循环空气SystemCeiling适用方式有孔板空气从洁净室地板通过无孔板空气无法通过宽孔板更衣室地板钢护板中低重量的设备搬入时使用地板类型特征有需要的部分刷防静电涂料防止产尘防止化学药品污染其表面容易清扫在钢板上刷防静电涂料，防止粉尘附着素材轻便，容易变更lay-out改善气流特征内装涂装3.洁净室结构6/35HVAC工程CleanRoom空调ConceptFFUO.A.C:正压/湿度/过滤D/C:温度(生产设备散热作用)F.F.U:循环风量/过滤배기生产设备O.A.CEFUFFUClass管理基准DryCoilFFU是可以自由安装在吊顶上的规格化的系统，适用于高洁净度的产线。将室内设备发生的热量用盘管内冷水来冷却、热交换并维持室内温度，多用于高洁净度、高热量设备较多的洁净室。3.洁净室结构7/35HVAC工程AirShowerBlowerFilterUnit进入洁净间之前用高速洁净空气喷淋掉附着在衣物表面的粉尘或微生物Unit内有小型blower，有与风管连接型和自循环型。(CLASS1,000以下~)PassBox安装在洁净室墙体上，控制材料或产品进出时发生的污染。CleanUnit安装高效过滤器和风机的袋型设备，一般常用在室内安装空间小且中等洁净度的产线。3.洁净室结构8/35动力工程①一次配System+MainPiping&Duct+Sub-mainTappingValve(Damper)Sub-mainTappingValve(Damper)+与生产设备连接②HOOK-UP(二次配)工程分类C/RP-GasCDA供应系统P-Gas供应系统PCW供应系统HV供应系统PV供应系统C/R工业用水槽M/UPumpI.WTankFilterPump工业用水供应系统排气系统化学品供应系统C/RChemicalC/RC/RC/RHeatACIDToxicOrganicGeneralSolv.C/R3.洁净室结构9/35电气工程接地设备的结构（例）TR.中性点电气生产设备(个别)生产设备(共用)避雷通信GV200.GV200.GV200.GV200.GV100.GV(2Ω)(2Ω)(2Ω)(10Ω)(5Ω)地面S/SS/SS/SS/SS/SS/SC/RC/RM/RM/RLM-PNLP-PNLFFU-PNLUPS,G-PNLS/SC/RC/RM/RM/RLM-PNLPFFUUPS,GS/SS/SS/SC/R配电柜分布ConceptCase-1Case-23.洁净室结构10/35环境工程废水处理站FAB.Cleanroom生产设备工业用水ScrubberVOC处理设备DI设备再利用系统废水中转站有机废水的处理无机废水的处理废水酸化后端设备PIPERACKC/R管道P/R管道中断废水处理设施去除异味DI前端处理自来水厂ReclaimSys.工业用水的处理3.洁净室结构11/35STK1.FFU效率性分布2.防止交叉污染的设计3.A/F开孔率的计算5.气流模拟6.Test及认证4.检讨局部洁净度3.洁净室结构气流工程12/35Turn-over结构洁净室内部工程洁净设备Filter/FFU•钢筋混凝土•结构工程•防火措施•BeamCover•SubStructure•SupplyPiping•DuctSleeve•基础工程钢筋混凝土(B2F)基础结构工程架设涂装4.洁净工程相关流程13/35Turn-over结构洁净室内部工程CleanEquipmentFilter/FFU•钢筋混凝土•结构工程•防火措施•BeamCover•SubStructure•SupplyPiping•DuctSleeve•基础工程结构工程(4F)结构工程(C/RGirder)架设涂装4.洁净工程相关流程14/35Turn-over结构洁净室内部工程CleanEquipmentFilter/FFU•钢筋混凝土•结构工程•防火措施•BeamCover•SubStructure•SupplyPiping•DuctSleeve•基础工程消防系统BeamCover架设涂装4.洁净工程相关流程15/35Turn-over结构洁净室内部工程CleanEquipmentFilter/FFU•钢筋混凝土•结构工程•防火措施•BeamCover•SubStructure•SupplyPiping•DuctSleeve•基础工程SubStructure(PC)架设涂装4.洁净工程相关流程16/35Turn-over结构架设涂装洁净室内部工程CleanEquipmentFilter/FFU•环氧涂料•架设-墙体-换气-照明-控制室-更衣室环氧4.洁净工程相关流程17/35Turn-over结构架设涂装洁净室内部工程CleanEquipmentFilter/FFU•SystemCeiling•AccessFloor•墙板•Duct工程•CableTray•BusDuct•LMPanel•UtilityPipe&Duct•照明SystemCeilingSystemCeiling4.洁净工程相关流程18/35Turn-over结构架设涂装洁净室内部工程CleanEquipmentFilter/FFU•SystemCeiling•AccessFloor•墙板•Duct工程•CableTray•BusDuct•LMPanel•UtilityPipe&Duct•照明防振机台AccessFloor4.洁净工程相关流程19/35Turn-over结构架设涂装洁净室内部工程CleanEquipmentFilter/FFU•SystemCeiling•AccessFloor•墙板•Duct工程•CableTray•BusDuct•LMPanel•UtilityPipe&Duct•照明CleanPanelCleanPanel4.洁净工程相关流程20/35Turn-over结构架设涂装洁净室内部工程CleanEquipmentFilter/FFU•SystemCeiling•AccessFloor•墙板•Duct工程•CableTray•BusDuct•LMPanel•UtilityPipe&Duct•照明BusDuctLMPanel4.洁净工程相关流程21/35Turn-over结构架设涂装洁净室内部工程CleanEquipmentFilter/FFU•SystemCeiling•AccessFloor•墙板•Duct工程•CableTray•BusDuct•LMPanel•UtilityPipe&Duct•照明ToxicGasSupplyDuctLighting4.洁净工程相关流程22/35Turn-over结构架设涂装洁净室内部工程CleanEquipmentFilter/FFU•AirShower•AutoDoor•PassBox•HandWasherAirShower4.洁净工程相关流程23/35Turn-over结构架设涂装洁净室内部工程CleanEquipmentFilter/FFU•FFU•Filter•清扫FFUFFU4.洁净工程相关流程24/35Turn-over结构架设涂装洁净室内部工程CleanEquipmentFilter/FFU•C/RTest-温度-湿度-气流-particle•TAB•设备搬入•Hook-up4.洁净工程相关流程25/35谢谢！