MAU系统

MAUSystemIntroduction2004-03-15HAPPY_TANG1、MAU的分布2、MAU工作原理目录MAU：MakeupairUnit新风系统新风系统是为无尘室补充新风，保证无尘室内一定的正压；调节无尘室的湿度并对无尘室的温度控制起到一定的作用。MAU供风分为FAB4的黄光区和一般制程区。FAB6C的测试区和非铜制区。项目黄光区一般区域测试区非铜制程区数量3723厂家M+WM+WM+WM+WFlowrate92,000m³/h92,000m³/h48,000m³/h85,000m³/hMotor110KW110KW55KW90KW电源3/50/380V3/50/380V3/50/380V3/50/380V变频控制YESYESYESYES备用2用1备6用1备1用1备2用1备1、MAU的分布（FAB4&FAB6C)55°C85°C19°C13°C60°C2.MAU工作原理Class100T22癈+/-1.0K45%H+/-5%Recirc.AirProductionAreaMakeUpAirLevel3Level2SensiblecoolingcoilsFilterFanUnitsSubFabExhaustClass122癈+/-0.5K45%rH+/-3%PhotoLithoAreaClass100T22癈+/-0.5K45%H+/-3%ExhaustClass122癈+/-0.5K45%rH+/-3%FilterFanUnitsSensiblecoolingcoilsMakeUpAirRecirc.AirSubFabFab4无尘室内空气循环示意图1.DAMPER:气动风阀与风机连锁,风机开启时风阀打开,风机停止运转时风阀关闭.起到保护空调机组件和保证MAU送风管路的封闭性.2.初中效过滤器:分别为F5和F7.对新风进行初级和中级的过滤,把大颗粒的尘埃过滤掉,提高高效和超高效过滤器的使用寿命,保证无尘室洁净度.3.PREHEATER:对新鲜空气进行预热,使之能够满足空气处理的要求,同时保护盘管在低温的室外条件下不被冻坏.4.COOLINGCOIL:冷盘管,对室外空气进行冷却和除湿,使得送进洁净室的空气能够满足湿度和温度的要求.5.REHEATER:对经过预热和冷却盘管处理的空气进行再热,使之能够满足送风的要求.6.FAN:MAU机组和MAU送风的动力来源.MAU主要组件功能说明7.Attenuator:消音器;减小气流震动,消除空调机带来的噪音,以满足无尘室对噪声控制的要求.8.HEPAFilter:高效过滤段;使新风得到进一步过滤,将洁净空气送入无尘室,提高超高效过滤器的使用寿命.9.AirWasher:加湿器,在室外空气的决对含湿量低于送风要求和无尘室的湿度低于设定湿度时对MAU进行水洗加湿.MAU主要组件功能说明Thankyou!