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PCW系统简介PCWSYSTEM•PCW系统作用因机台在制造生产过程中会产生大量热，如不及时把热量除去，会造成机台不能精确动作或误动作，严重时会当机，严重影响制程良率。•PCW系统概要设备冷却水由制程机房PCWPUMP送水管送出经过滤器、热交换器到Ｆ２A／B栋各楼层，经由各设备需求点后由回水管至Ｆ２-Ｂ１栋的TANK,再回到PCWPUMP往复循环。•PCW系统流程图PCWSYSTEMHEATEXCHANGERVFDPUMPFILTER冰水回冰水进FAB:B1F自来水进水14OC16OC8OCTANKF2Ａ／B栋RO水进水PCWSYSTEMDetail20OC•ＰＣＷ一次侧水温：１４℃•ＰＣＷ一次侧水温：２０℃•处理量：1,312.5LPM/1,750LPMBackPCWPUMPFILTERHEX•一级过滤等级１００μm二级过滤等级３０μm•处理量１７５０LPM•PUMP１７５０ＬＰＭ,７５M,２２KWPCWTANK作用：•1.建立及保持系统的最小静压2.预防因温度的变化，产生水体积的变化进而对系统压力产生过大的变化.•状态说明1.LoLo:自来水,RO水同时补水并报警2.Lo:RO水开始补水3.Hi:RO水补水关闭4.HiHi:发出警报•示意图PCW系统的水处理原因:虽然PCW系统内采用RO水,但不可片面地认为使用RO水就无需化学处理,PCW系统仍然存在腐蚀,沉积,微生物问题。A腐蚀问题由于PCW系统大部分为半封闭系统，对外界空气没有完全隔离，因此空气可自由进入系统，空气中含有CO2和O2,会造成水质变酸性及金属氧化，从而使系统产生腐蚀，最终有可能引起系统管路破损。B沉积问题与腐蚀问题相关，因为保持水为纯水，没有硬度沉积之困扰，但腐蚀仍将发生：氧化铁、氧化铜、氧化铝等金属腐蚀物就会在管路中沉积，经过一段时间的运行，将堵塞细微管路，影响机台运行，严重时会造成机台当机。C微生物问题因PCW系统回水温度非常适合微生物的生长，其半封闭系统可提供足够的氧气和养分供细菌生长需求，长时间繁殖生长形成细菌族群，造成系统问题。部分细菌会以金属材料作为养分，新陈代谢产物为酸液，腐蚀管路。处理方法•1.预处理方案：在洗管时，用预处理药剂清楚管路内的锈、油渍、碎屑等2.日常处理方案：防腐蚀剂+杀菌剂3.加药设备由隔膜计量泵、药桶、、控制盒组成，将药剂每周一次定量地加入PCW系统中敬请指导!!