变极距型电容传感器

变极距型电容传感器工业测控仪表自动化与电气工程学院CollegeofAutomationandElectricalEngineering授课教师：王轶卿变极距型电容传感器变极距型电容传感器原理及结构变极距型电容传感器的应用变极距型电容传感器测量电路前沿科技与网络拓展阅读2复习：电容传感器工作原理工作原理：平板电容器，忽略边缘效应SCd式中:ε0—真空介电常数εr—极板间介质的相对介电常数ε—电容极板间介质的介电常数；S—两平行板所覆盖的有效面积；d—两平行板之间的距离。0r0rSd3电容传感器的类型SCd变面积型电容传感器变介质型电容传感器变极距型电容传感器上一专题4一、变极距型电容传感器CC1C2Od1d2CC1C2Od1d2dS初始极距d0动极板向下移动极距减小Δd00rdSCdd000ddCCCCkdddd灵敏度非线性动极板dSr定极板dd0越小测量范围越小灵敏度越高5差动变极距型电容传感器单一型差动型改善非线性斜率变大灵敏度提高曲线变直差动电容输出曲线动极板dSr定极板d动极板1dSr定极板dr定极板2d2C1C1020CC12=CCΔd动极板向下运动1020dd初态：:d6差动变极距型电容传感器0001dCdCkddd灵敏度单一型差动型00202'1()dCdCkddd相对非线性误差0100%Ldd20'()100%Ldd结论：差动型灵敏度提高近一倍，相对非线性误差减小一个数量级！动极板dSr定极板d动极板1dSr定极板dr定极板2d2C1C7变极距型电容传感器变极距型电容传感器原理及结构变极距型电容传感器的应用变极距型电容传感器测量电路前沿科技与网络拓展阅读8二、变极距型电容传感器测量电路调频电路脉冲调制电路环形二极管检波电路9调频电路信号流程被测物理量变化电容Cd变化LC振荡器输出频率变化输出电压Uo变化将频率转换为电压U0输出与电涡流传感器调频电路有何区别？dC鉴频器特性012dfLC10变极距型电容传感器变极距型电容传感器原理及结构变极距型电容传感器的应用变极距型电容传感器测量电路前沿科技与网络拓展阅读11三、变极距型电容传感器的应用1电容式加速度传感器34电容式差压传感器2投入式电容液位传感器电容式接近开关12加速度传感器在汽车中的应用负加速度应用1电容式加速度传感器体积小13硅微电容加速度传感器多晶硅上电极多晶硅下电极三轴加速度传感器多晶硅悬臂梁差动变极距型电容传感器14应用2电容式接近开关电容式接近开关用于物位测量接近开关：无触点行程开关,当物体与接近开关的感应面之间的距离达到动作距离时，无需与运动部件直接接触即可操作。15各种电容式接近开关全密封防水式远距离大量程16各种电容式接近开关齐平式非齐平式17电容式接近开关原理上检测极板下检测极板测量转换电路1212CCCCC被测物串联导电！18接近开关拓展思考A：导电，远离金属物体Q：电容接近开关对被测介质有无要求？还有何种类型的接近开关？使用时各有何特点？电涡流接近开关、霍尔接近开关19应用3投入式电容液位传感器陶瓷膜片原理：0PPgH0PPH压力P陶瓷膜片电容量变化镀金动极板位移变极距型电容传感器弹性元件20各种电容液位传感器差压式投入式变介质型液位限位报警总结：几种电容液位传感器的优点、缺点、使用方法、标定方法以及适用场合。21应用4电容式差压传感器高压侧进气口低压侧进气口22电容式差压传感器内部结构外壳p1p2金属镀层凹形玻璃膜片过滤器膜片：弹性元件差动变极距型电容传感器23本节内容回顾重点差动结构难点电容接近开关非接触霍尔接近开关电涡流接近开关24变极距型电容传感器变极距型电容传感器原理及结构变极距型电容传感器的应用变极距型电容传感器测量电路前沿科技与网络拓展阅读25站在巨人肩上——前沿科技MEMS电容式压力传感器直接输出经过温度补偿过的压力信号能充分满足在以电池供电及便携式的产品中的应用尺寸小、功耗低、转换速度快…26网络拓展阅读欧姆龙E2K-X电容式接近开关选型压力传感器=aladdin汽车侧面碰撞的乘员保护——国家质监检验检疫总局系列干式陶瓷压阻压力传感器=34&productsid=622728欢迎各位专家批评与指导！29