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Casaxps作图说明制作人：赵华丽刘玉萍1.不同格式数据之间的转换Casaxps处理filename.vms格式的数据，我们的仪器可以直接给filename.vms格式的数据，但一般情况下给出的是filename，不加任何后缀的文件，这种文件可以用记事本，excel，origin等打开，但是不能用Casaxps打开，但是可以转换成可以用casaxps打开的文件，转换方式如下：（1）将非filename.vms格式数据转换成filename.vms格式数据将我们给出的原始数据用excel打开，将bindingenergy和intensity（CPS)两列数据取出放在一个新建的txt文档下，删掉一些没用的东西，确保数据格式符合X-Y两列。将修改好的txt文档改为dat文档（直接修改后缀），然后将dat文件放在一个只有dat文件的专门文件夹里，这个很重要，如果这个文件夹里有其它格式的文件，那么就无法完成数据的转换。打开casaxps软件，点convert按钮，在专门存放dat数据的文件夹下找到需要转换的文件，打开就完成了转换。记住，一旦打开就会在该文件夹下生成一个filename.vms格式的文件，这样会导致其它文件无法转换，将这个新生成的文件转移到其它文件夹下就可以了，这样新生成的filename.vms文件就可以直接在Casaxps里面打开了.（2）将filename.vms格式数据转换成txt格式数据在Casaxps里面将filename.vms格式的文件打开，点击saveTabAsclltoclipbard按钮,出现如左界面，点击copyalltoclipboard键，将clipboardsection界面关闭后，将复制的数据粘贴到txt文档即可。Casaxps软件处理filename.vms格式的文件•1.用casaxps处理宽谱能够得到的信息:（1）定性分析：归属宽谱中各个峰。图1为经过峰归属后所得到得xps谱图。图1经过峰归属后的xps宽谱gan1wideGa3sO1sO1sC1sN1sGa2p1/2Ga2p1/2Ga2p3/2Ga2p3/2GaLMMGaLMMGa3pGa3pGa3pZn2p1/2Zn2p3/2ZnLMMZn3sx1040510152025CPS12009006003000BindingEnergy(eV)峰归属步骤打开vms格式文件，点击Options→Elements，出现Elementlibrary窗口，点击Periodictable，出现一张元素周期表，点击findpeak，宽谱上各个峰就被归属了。但是，这时候归属的峰多，不容易分辨，可以做一些修饰。点击Options→Annotation，出现Annotation窗口，点击peaklabels，会出现很多峰相对应的信息如O1s、C1s等等，点击其中一个，点Apply，峰就被标记出来，这样标记完所有重要而又明显的峰后，再次点击Options→Elements→Periodictable→Clearallelements，峰归属与标记就完成了。然后点击Options→Tiledisplay，出现Tiledisplayparameter窗口，点Display，该窗口的最下面有Title，在空白框里输入想命名的英文文件名，如GaN1wide，最后就得到图1.gan1wideNameO1sZn2pGa2pC1sN1sPos.531.00001022.00001118.0000285.0000398.0000FWHM3.03962.53492.54022.42194.6036Area102542.429264943.98038428.89571583.65128692.309At%26.336.940.8953.8511.99Ga3sO1sO1sC1sN1sGa2p1/2Ga2p1/2Ga2p3/2Ga2p3/2GaLMMGaLMMGa3pGa3pGa3pZn2p1/2Zn2p3/2ZnLMMZn3sx1040510152025CPS12009006003000BindingEnergy(eV)（2）元素含量分析图2经过峰归属和元素含量分析后的xps宽谱图含量分析步骤在峰归属基础上，点击Options→Elements→Periodictable→Findpeaks，宽谱上可能有的元素在周期表上为红色，选择想要计算元素含量的元素，点击CreatRegion,就计算出了各个元素的含量，然后点击Clearallelements，就得到了图2.点creat出现下面界面后，如图中红箭头所指位置处，左右移动边界，选定要计算含量的区域将名称改为该位置处的元素名称；如284左右为C1s另一种计算含量的方法：正确识别各峰后，可以按照处理窄谱的方法处理宽普：点击工作区使其处于激活状态，点击quantify按钮，出现下面界面，点regions，再点creat，得到如下图：按照此方法将其与需要计算含量的元素的区域画出来在Annotation窗口下，点Quantification,选上如图的选项，点Apply就会得到含量报告。gan1wideNameO1sC1sN1sGa2pZn2pPos.531.0000285.0000398.00001118.00001022.0000FWHM3.03962.42194.60362.54022.5349Area102542.42971583.65128692.30938428.895264943.980At%26.3353.8511.990.896.94Ga3sO1sO1sC1sN1sGa2p1/2Ga2p1/2Ga2p3/2Ga2p3/2GaLMMGaLMMGa3pGa3pGa3pZn2p1/2Zn2p3/2ZnLMMZn3sx1040510152025CPS12009006003000BindingEnergy(eV)补充说明图3元素含量和峰重合在一起图3元素含量和峰重合，看不清，怎样将它们分开呢？方法1：如左所示快捷键，任意点击一个按钮可以将谱图移动，按自己的需要来点击这两个按钮，直至达到要求为止。方法2：如左图，在annotation窗口下，点击annotationhistory,将其激活，会出现左图，有红色方框的说明能够移动，点住name上的红色方框，向右移动即可。一些常用的快捷键Tiledisplayparameterquantifyannotationelement这些快捷键相关的操作在option下均可以找到2.用casaxps处理精细谱能够得到的信息：分峰、拟合、含量计算C1s/2C1sC1sC1sC1sNameC1sC1sC1sC1sPos.283.0665284.2977291.3734285.1912FWHM1.32681.06911.09992.4073L.Sh.GL(30)GL(30)GL(30)GL(30)Area13002.5494935.948420.9485746.745%Area53.9420.481.7523.84C1sx103246810CPS300296292288284280BindingEnergy(eV)图4经过分峰、拟合、含量计算后的xps精细谱具体操作步骤扣背底分峰、拟合含量计算打开vms格式的窄谱文件，点击工作区使其处于激活状态，点击quantify按钮，出现下面界面，点regions，再点creat，点creat出现下面界面后，如图中红箭头所指位置处，左右移动边界，选定要分峰的区域，即扣背底扣背底后出现下面界面点component，在component状态下点击creat，根据谱图特点点击creat分出一个峰后先拟合一下，再点击creat分第二个峰，拟合点下residual按钮，出现红箭头所指曲线，该曲线越平缓拟合的越好，STD值越小拟合越好按下increaseYscale按钮，将谱图降低，方便拟合在component状态下点击creat，直至分出所有峰，点击Fitcomponent，出现以下界面。点annotation按钮，激活component，点apply，出现以下界面。完成分峰、拟合、含量计算吸附碳位置荷电校正由于在测试过程中会发生结合能的偏移，完成分峰拟合含量计算之后就要进行荷电校正，我们的仪器一吸附碳的结合能284.6eV作为标准，进行校正，步骤如下：吸附碳测量位置点击processing按钮，出现如右边窗口，点击calibration,在measured后面的空格中输入吸附碳测量值，在true后面的空格中输入标准值284.6，将有图红色框中的两个选项打钩，点apply即可点processingHistory，点击该窗口下的remove，可以撤销此次校正过程下面的结果就是经过校正后的最终结果3.将拟合好的数据保存为.TXT格式在Casaxps里面已经拟合好的C1s谱保存方式如下：点击saveTabAsclltoclipbard按钮,出现如下界面，点击copyalltoclipboard键，将clipboardsection界面关闭后，将复制的数据粘贴到txt文档即可。如果该步操作无法进行，可能是没有输入该软件的用户名和序列码，点击help下拉菜单aboutCasaxps,输入正确的用户名和序列号（用户名和序列号保存在SN.txt文本文档中），其它到处操作如上。导入到origin后可以像处理其它数据一样，去掉第一列（动能列），修改一下坐标，作图，标注峰名称，就得到可以应用的最终结果。将从casaxps转换出的数据导入到origin后的谱图谢谢！