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洁净室项目检测方法高校过滤器检漏一、说明111过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中，最复杂、最耗时间的测量项目。泄漏测试的目的，是要确认：1.滤网的材料无破损，2.安装恰当。滤网出厂前当然要经过泄漏测试，但是在搬运与安装过程难保完全无损，而且滤网的重要性又大于一切，因此安装完毕都要做一次扫描，以确认滤材无任何泄漏。另外，若是安装不恰当，微粒会从边框漏进无尘室风口。就算是FFU系统，天花板上是负压，若是边框机有微粒日后仍旧会产生问题。因此，边框扫描一样重要。滤网泄漏测试基本上是利用滤网上游的颗粒，然后在滤网下表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式，适用在不同的场合。测试方式有：1.气胶光度计测试法，2.微粒计数器测试法，3.全效率测试法，4.外气测试法。后两种现在使用非常少。二、方法1111.气溶胶光度计测试法111气胶光度计测试法是最早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（AerosolPhotometer）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质，现改用PAO,加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来模拟无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。1112.微粒计数器测试法111半导体业方面，早期也是使用DOP/PAO与气胶光度计，但是随着制造精密度增加，油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用，因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，寻找泄漏，基本概念完全相同。经过科学家一步步研究结果，发现PSL因为微粒的粒径与浓度可以控制，因此是目前最广为使用的标准微粒。使用时只要把PSL溶液雾化，导入滤网上游即可PAO/DOP过滤器检漏一.说明1气胶光度计测试法是最早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（AerosolPhotometer）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质，加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来仿真无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。1泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分之一，由于气胶光度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值，因此扫描滤网非常方便。也正因其准确、可靠，美国食品与药品管制局（FDA）规定，在其管辖范围内（食品加工场所与医疗制药场所），所有的滤网泄漏测试必须使用DOP与气胶光度计。近年来由于人们怀疑DOP会导致癌症，因此多改用PAO。PAO和DOP的特性类似，使用上无多大差异。二.测试仪器1本测试法使用仪器为气胶光度计（AerosolPhotometer）与微粒产生器（AerosolGenerator）。气胶光度计的显示版有模拟与数字两种，每年必须校正一次。微粒产生器有两种，一种是普通的微粒产生器，只要求高压空气，另一种是加热型微粒产生器，要高压空气和电源，微粒产生器不需要校正。三.测试方式1111滤网泄漏测试的步骤，大致上是施放微粒并检查浓度、滤网与边框扫描以发现泄漏、更换或修补、重测，其步骤说明如下1111.在图面上记录滤网数量并编号。1112.确定空调系统正常运转并可供测试，风速与风量必需调整平衡完毕。1113.使用气胶产生器在上游施放挑战微粒，将PAO打入滤网上游，微粒浓度是大约每公升空气含有10到20微克的PAO。微粒愈多愈容易找出泄漏，但是超过50微克以后差别不大，少于10则很难使用。微粒浓度可用风量粗略计算，再用气胶光度计确认。1114.上游微粒浓度确认后，就可以在滤网表面扫描，寻找泄漏，必要时滤网四周可用塑料帘覆盖以确保测试之准确1115.在滤网表面扫描，扫描之路径可由外而内或沿长/短边迂回检测.洁净度测试一、说明1111洁净度测试是无尘室性能测试的核心，气流测试、压力测试，与泄漏测试，都只在确认无尘室的洁净度不受外来影响，因此洁净度测试都放在前述几项测试都通过之后。洁净度测试完毕，与落尘有关的性能因素就都测试完毕，其它测试对洁净度影响不大，或是属于其它环境测试。二、测试仪器1111洁净度测试使用微粒计数器，仪器须经校正合格且仍在有效期限内，交附报告时须附合格之校正文件。微粒计数器有不同规格，最常见的是流量1cfm，最小粒径可测到0.3mm或是0.1mm，单位多是立方英呎。至于应使用何种设备，要依业主的规范而定。一般在产业界，多依以下方式选择微粒计数器。1111Class1000或更高：0.5μm11Class100：0.3μm，0.5um11Class1到Class10：0.1μm若是业主要求的粒径范围超过单一微粒计数器的范围，则应该使用两部微粒计数器。目前市面上少见立方公尺的微粒计数器，因此若是无尘室的洁净度是以ISO为基准，则要把结果作换算。单位换算，不影响上限的计算程序。三、测试步骤：1111(1)确定空调系统之测试调整与平衡已完成，滤网之风速及泄漏测试均已完成，并已修换破损部分。1111(2)确认测试位置与测试点数。1111(3)取样时间：每点的取样时间依照等级与粒径不同而异，若取样时间小于一分钟，则以一分钟为准。111(4)测试位置应均匀分布在无尘室内，避免在产生大量粒子之附近，且将检测仪器以适当之架台支撑，不可以手持支撑。111(5)测量点数以公式计算（与209E相同）。四、验收标准：1111洁净度的验收基准有二，首先是每点的微粒测量平均值必须低于规定值。洁净度的第二个验收基准就是，任一隔间若需使用信赖度上限分析，则该分析值也必须小于规定值。风速及平衡性测试一、测试目的1111气流是控制洁净度与温湿度的最主要因素，它对噪音也有一些影响。因此风速测量，都是放在无尘室测试的第一步。风速测量的目的，是确认滤网送出的气流满足设计规范，其次是确认气流的均匀度。在某些场合可能因现场的限制，室内换气量还必须用风速乘以出口面积来换算。1111单一流向型无尘室，很多都是设计成垂直层流，因此风速均匀度非常重要，只有均匀的垂直层流，才能有效排除微粒污染。非单一流向型无尘室，由于微粒控制的观念是稀释，不是立即排除，一般而言其换气量远比风速重要。但是需注明是滤网风速测量或是无尘室室内风速测量。二、使用仪器1111无尘室里面使用的HEPA/ULPA滤网，其送出气流的速度多半都控制在0.5m/s以内，因此所使用的风速计必须是低速型。滤网风速测量可使用单点式风速计如电子式压力计配合皮氏管、热线式风速计。也可以使用多点式风速计如ShortridgeVelgrid16点风速计。轮叶式风速计因使用范围不同，通常不在无尘室内使用。热线式风速计（HotWire）虽然高频响应良好，但是低速时〈0.5m/s以下〉准确性很低，因此不很适用，一般热反应风速计常用的是Thermeister式风速计。转轮式风速计由于本身重量问题，也不适用低速。检验仪器须经校正合格，且仍在有效期限内。三、测试步骤111(1)在图面上记录滤网尺寸、数量并编号。(2)取样点位于滤网下方75-150mm处。(3)每一个滤网下，若是使用单点式风速计，则每1平方英尺取一点；若是使用多点式风速计，则每4平方英尺取一点。(4)每测量点必须取5秒的平均。(5)依验收标准分析所有风速，计算平均值、标准差、相对标准差，并标明不合格测试点。(6)记录所有原始数值，以及分析后的数值。重要的是在非单一流向型无尘室测试时，特别注意取样时风速计不可受到干扰，以免影响准确度。四、数据分析1111风速测量很简单，但是均匀度必须由数据分析来判定。均匀度是由相对标准差来代表，其计算步骤如下。11111.平均值：2.标准差风量及平衡性测试一、说明1111风量测量的目的通常是用来计算换气量，一般是在非单一流向型无尘室，或是测量空调系统中各式各样的出风口、回风口、排气口等的风量时使用。只有在无法使用气罩的场合（气罩体积较大，有时会受限制），才能使用风速乘以面积等于风量的方式，用风速来换算风量。使用风速换算风量时，须注意出风口之有效面积以及修正系数的取得。在回风口和排气口，使用换算法的准确度非常差，应尽量避免。同样气罩通常可以测量送风与回风，正值代表送风，负值代表回风或排气。须注意的是反向测量时，其测量范围通常会降低。二、测试仪器1111风量测量应当使用气罩（FlowMeasuringHood），气罩的测量范围是15~2500cfm，精确度要求为读数的±3%。由于气罩本身会产生压损，因此其形状很重要，应尽量使用原厂气罩。若有必要自行制造罩子，应注意气流顺畅并且做详细比对。气罩的校正非常重要，必须主机连同罩子一起校正，才能得到准确校正值。检验时必须使用校正合格且仍在有效期限的仪器，于正式检测前及缴交报告时均须检附合格之校正文件。三、测试步骤：11(1)在图面上记录滤网尺寸、数量并编号。(2)使用恰当尺寸气罩将出风口完全罩住，然后测量与计录。(3)依验收标准分析所有风量，计算平均值、标准差、相对标准差，并标明不合格测试点。(4)记录所有原始数值，以及分析后的数值。四、数据分析：1111风量均匀度的计算与风速向同，都是由相对标准差来代表，其计算步骤如下。1111.平均值：将所有风测量量值取算数平均2.标准差：计算所有风测量量值的标准差压差测试一、说明1111压力测量的目的是确认无尘室空调系统的压力设定。无尘室内维持相当的正压以维持洁净度，这已经是个commonsense，在209的旧版本中，正压有建议值，但是后来就取消了。目前常见的正压值约是10到25Pascal之间。压力测量的时机，应该是在风速、风量、平行度等与气流直接相关的测试结束之后立即测量，尤其不可在洁净度测量完毕之后才测量压力。因为如果压力不对，要立刻调整以免影响洁净度。测量时，所有门窗都必须关上，所有的风扇也必须维持正常运转。二、测试仪器111压力测量可使用倾斜管压力计，指针式压力计，或是电子式压力计，总之只要测量范围与精确度满足要求即可。压力计之精确度要求为读数的±5%，测量范围式压力设计值而定，一般0~5mmAq（0–50Pascal）即可涵盖室内外压力差之测量。仪器需经校正合格且仍在有效期限内之才可以使用，检测前及交附报告时均须检附合格之校正文件。三、测试步骤1111.必须在风速、风量、气流等测试完成后，才能测试压力，并且排气与MAU要完全正常运转。1112.全部门与开口都要关闭。室外大气压力假设为0.0mmAq表压力。1113.测定洁净区域与相邻较次级洁净区域之压差，再测量房间与Gowningroom之间压差，最后测量Gowningroom与外部之压差。1114.建议压差值为5~12Pa，并无强制规定。1115.记录所有数值。温湿度检测一、说明111温湿度测量的目的是确认室内之温湿度控制在范围之内，温湿度对微粒控制没有甚么影响，因此温湿度测试属于第三级测试（Level3）。但是因无尘室多半同时也是环控室，所以温湿度常常就一并测量了。温湿度测量又分为一般测量和进阶测量（GeneralTestsandComprehensiveTests），一般测量只是测量温湿度在测量点的实时数据（单一测数据），适用在对温湿度要求不高的场所。进阶测量就要纪录在测量点一段长时间的温湿度，目的是要观察温湿度随时间的变化情形，以确认湿度在控制之下。进阶测量适用在对温湿度要求比较高的场所。二、测试仪器：111常见的温湿度仪器是电子式温度计与镜面冷凝光学式湿度计，一般测量和进阶测量使用仪器的精度相同，温度测量范围是0-100℃，精确是±0.2℃。湿度测量范围是10﹪到95﹪，精确度是±2﹪。一般测量要求温度之显示值可显示0.1℃的变化，湿度的显示值可显示1﹪的变化。进阶测量则要求温度之显示值可显示0.05℃的变化，湿的显示值可显示0.1﹪的变化。检测仪器需校正合格且仍在有效期限内者，于测试前或交附报告时均须检附合格之校正文件。三、测试程序：1111.确认空调系统已经安装完成，并已完成测试、调整、平衡。空调系统测试、调整、平衡可以平衡风量和水量，使其达到