搜索
EBSD应用浅析承担部门：技术中心材料室负责人：张巍汇报提纲一、简介二、EBSD工作原理三、EBSD应用四、EBSD样品制备五、小结一、简介EBSD：ElectronBackscatteredDiffraction。EBSP：ElectronBackscatteredPattern。电子背散射衍射（EBSD）是一种基于扫描电子显微镜，对样品的微观组织进行分析、可视化和定量的技术。主要特点：在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射（给出结晶学的数据）。织构：择优取向。多晶体取向分布状态明显偏离随机分布的结构,称为织构。目前，EBSD技术已经能够实现全自动采集微区取向信息，样品制备较简单，数据采集速度快，分辨率高，为快速高效的定量统计研究材料的微观组织结构和织构奠定了基础，因此已成为材料研究中一种有效的分析手段。二、EBSD工作原理1、背散射电子衍射技术原理2、背散射电子衍射取向基本分析原理3、背散射电子衍射取向成像原理（OIM）4、背散射电子衍射相分析原理EBSD如何工作？菊池花样：除了正常的衍射斑点外，还有明、暗成对平行的衍射衬度条纹。菊池极：同一晶带的菊池线对的中心交于一点，构成一对称中心。欧拉角：用来唯一地确定定点转动明体位置的三个一组独立角参量。•晶体取向•晶粒尺寸•织构•再结晶/变形分布•亚结构分析•应变分析•晶界特性•重合位置点阵（CSL）边界分布•滑移系统分析•相鉴定，分布及相变•断裂分析...三、EBSD应用（1）物相鉴定和区分（2）表征晶体尺寸（3）应变分布测定四、EBSD样品制备河钢试验数据-C3测残奥五、小结谢谢！