集中供酸系统技术协议1、设备用途:本设备为清洗机输送/分配所需的药液。2、主要技术指标:形式:柜式,双桶双泵,标准药液桶用户自备,容积200L气动隔膜泵参数最大流量:60L/min最大扬程:65m最大工作气压:7bar排风控制:手动调节电气控制:PLC+触摸屏3、供给动力条件:去离子水:1.5~2.5kg/cm2高压空气:~5kg/cm2高纯氮气:1~2kg/cm2排风量:900m3/h电源:单相220V50Hz10A4、设备外形:长x宽x高:2350x800x2000mm5、结构说明:5.1具体结构参考附图,柜体内设置2个药液桶放置位。底部设置不锈钢内骨架以保证承重要求。底板上方安装有滚子。操作人员使用专用叉车将药液桶推至柜体内,放下药液桶到滚子上。然后人工将药液桶推入到位后,关上透明门后可启动设备。5.2气动隔膜泵用来泵送药液,置于柜体右侧管路区。在药桶的出口管路上设置有液体检测器(静电电容),用来检测有无药液,决定是否换桶。供液过程中,当一桶药液用完后,可自动切换到另一桶继续供液。同时提示换空桶。5.3设备内部包括两套独立的药液输送系统,分别由一套气动隔膜泵提供动力。当一套发生故障时,可手动切换到备用系统工作。5.4泵的动力系统有三种,一为泵全速运行,保证在多台设备同时发出供酸请求时各供酸口的流量(具体流速视分液盒分液数量而定);二为单台用酸点发出供酸请求时,只让泵维持中速运转;三为最慢速度供酸,以保证为低容量的补液灌供酸时的精度。三种模式均为自动控制。5.5原液桶接口为快换方式,并配有补氮气口。接头根据用户原液桶接口定制。5.6配备分液盒(VMB),用于控制多点供液,配置如下:序号化学液设备流量(L/MIN)驱动类型用户点数最小流量最大流量1HF单晶制绒62040泵炉前清洗机去PSG清洗机石英管清洗机石墨舟清洗机备用2HCL单晶制绒42040泵炉前清洗机石英管清洗机备用5.7柜门采用透明PVC板,门板上设有通风调节孔。药品柜本体采用PP材料焊接而成,柜子底部设有排液口。5.8柜体内部设有水枪、氮气枪各一把,用于清洁设备内部。5.9设备配备夹酸车一辆。6、电气控制系统:6.1由外部用酸点提供需求和停止信号,CDS系统根据收到的信号控制泵的运转及停止以及相应阀门的开闭。电气控制系统设置在柜体右侧上方。整体密闭并通高压气体作正压保护。6.2桶空报警并自动切换功能。6.3设备管路区及VMB内均设有漏液传感器。一旦发生药液泄露,停止酸泵并发出报警提示。6.4配备联动\手动切换钮及急停开关、蜂鸣器、工作状态指示灯。7、输送管路工程要求:7.1供酸管路均为双层管路,内层为美国进口PFA材质管用于供酸,外层为进口洁净PVC管用于保护内层管路7.2配酸阀箱(VMB)内具有PFA材质的手动阀门,用于开断各点位的供酸及检修维护时使用。7.3设有管路酸液排放阀,用于在设备暂停期间排尽管路残酸,保证厂房及人员安全。8、动力接口参数:去离子水:DN15UPVC由任高压空气:φ6快速接头高纯氮气:φ6快速接头漏液排放:DN20PP排风口:φ200法兰接口供酸口:3/4“PFA涨口分液盒至设备:1/2”PFA涨口9、外型及气路原理图:10、供货范围:序号名称规格型号产地生产商数量备注1壳体PP板材德国劳士岭12底部滚子PP棒料国产2套3气动隔膜泵PTFE德国ALMATEC24手动截止阀德国GEMU85气动元件SY513-5GD-C6等日本SMC1套63/4“PFA管C8-8FN-1等美国PARKER1套7气动隔膜阀德国GEMU28PFA管件PFA美国ENTIGRIS/PARKER1套9PLCCP2A日本OMRON1套10触摸屏OT2110法国施耐德111空开BKNC/3A等韩国LG1套12继电器日本OMRON13交流接触器GMC-9AC220V韩国LG114纯水管件DN15球阀等台湾台炜1套15漏液传感器PHQ-D11日本山武216水枪美国ENTIGRIS117氮气枪美国ENTIGRIS118运酸车1注:不局限于以上配件,由于周期影响,可能采用同等规格的其他替代配件