钛铝靶材IP咖啡工艺案例

IP咖啡工艺案例（钢件）真空抽至5.5x10-3Pa加热至250℃后降温至160℃再起镀氩离子清洗（辉光放电）3.0x100Pa偏压-500V8分钟钛离子轰击（主弧轰击）Ar3.0x10-1Pa-300V钛靶镀1分钟钛靶+钛铝靶Ar3.0x10-1Pa-300V混镀1分钟关掉钛靶钛铝靶N28.0x10-1-80V镀15～20分钟结束出炉操作时注意：⑴关闭光栅阀；⑵钛铝靶在安装时一定要贴合到靶座底部冷却要好；⑶多弧靶的磁铁同极性摆放；⑷镀膜时间要够长、颜色更加稳定；但要充分考虑光亮度。