莱宝机故障处理汇总

莱宝机故障处理汇总第1页共4页莱宝机故障处理汇总莱宝机出现的问题很多很杂，现将其归纳总结为以下几大类：1、坩埚问题a、卡坩埚：卡坩埚一般都是SI02坩埚卡住，在以前出现的机率是非常高的，主要是坩埚与电子枪防污铜块之间的距离太小，几个SIO2颗粒就能让坩埚卡住，有时候TIO2这边坩埚也会卡到，主要是因为坩埚底料不好，在预熔过程中或者在镀膜过程中个别坩埚中的料大量溅出堆积在坩埚边缘，与吸收二次电子的防污铜块产生摩擦，坩埚转不动自然就会报警。卡坩埚问题出现后，我们所能做的就是手动将坩埚分别按顺时针和逆时针转动，转速可以适当加大，但要注意，SIO2坩埚的转速最大不能超过5,如果还不能解决问题，那只能做开箱处理了。TIO2坩埚也是一样，只不过它不能逆时针转，只能顺时针转，能转过去最好，转不过去也只能开箱处理了处理完了再关箱继续镀。在我们做了相应的调整后，就是把容易卡坩埚的电子枪防污铜块边缘用砂轮进行打磨，另一方面把原有的大坩埚换成现在的小坩埚，坩埚边缘的SIO2颗粒用吸尘器洗干净，加完料后再让坩埚转动一圈，观察坩埚转动是否正常，最后没问题了才能上片，这样卡坩埚的机率大大降低。b、坩埚转不到位，这个问题主要是TIO2坩埚这边，在镀膜过程中光亮正常、电子枪正常，但是TIO2坩埚图标呈灰色，注意这个就是坩埚没有转到位的标志，不要犹豫，马上按＂F3＂将界面切换到显示坩锅位置的界面，将坩锅转到下一个位置即可．2、电子枪问题电子枪出现问题的时候也是比较多的,我们遇到过较莱宝机故障处理汇总第2页共4页多的是电子枪打火报警,从而使镀膜程序不能继续,还有一种情况比较特殊,时出现在28号机上的,问题是电子抢能量超过400就报警,复位以后问题依然存在,,象这样的问题我们就要开箱换枪,事实上这些问题在我们把枪换过之后就没有了.我们不能阻止问题在镀膜过程中出现,但是我们能够在最大限度上把问题出现的几率降低,这就是我们所能作的,就这个问题我们需要在清洁电子枪部件的时候要打擦干净,各个电子枪之间的零件不能混用,另外就是电子枪底座的卫生情况一定要搞干净,避免长期积累造成电子枪打火,更严重的后果就是整个底座被烧坏,28号机的电子枪短路有可能就是因为这些问题.3、离子源问题离子源的问题是比较多的,一般离子源出现问题主要在两个方面,第一就是离子源加热器电流加不起来,或者说加热器没反应,这时候我们就要检查机器后面的整流器”红盒子”,看这个电源是否正常工作,如果没有就把它重新开起来,这样问题就解决了,据不完全统计,28号机有两次19号机也有两次离子源问题都是这么给解决的.第二就是打火比较严重,就是点不起来,或者点起来不久就灭掉了,这个一般就是我们的某些部件需要更换了,比如说阴极陶瓷圈加热榜等等,像这种问题试个几次不行的话就开箱检查离子源情况,看需要更换什么东西就换掉然后关厢继续走程序镀了.27号机曾经有一段时间在镀第一层TIO2的时候，离子源总是在很短的时间就灭掉，因为蒸镀的膜料比较少，时间短，所以光控没有计算准确，光量倒数出现错误，如果这个时候我们不太注意这个物理厚度，只顾着点离子源，很有可能实际上厚度已经镀到，但是光量倒数还是不正常，我们还没有莱宝机故障处理汇总第3页共4页发现继续点的话，结果肯定是多镀，如果我们在点三次左右的时候，我们可以先不急着开度，可以先把离子源点起来预热大约5分钟时间，如果问题依然存在，我们只能继续，能冲过去光量恢复正常最好，这个必须是在光量到达停点以前恢复，否则的话也是不行的，同时也要注意设置物理厚度和实际物理厚度，当实际值和设定值差不多的时候手动停下，进入下一层。（还有一次是换了一个保险灯管，我忘了当时是什么情况？）4、加热器问题a、参数设置问题加热器出现问题在28号机有两次都是参数设置出现问题导致，第一次是当温度上升到100度机器就报警，然后温度就往下降，再到100度再报警再降，当时也不知道是温度上限被设置成了100度，后来把100度设置成400度，问题解决。还有一次是操作员发现有几罩片温度上升的比平时慢很多，平时最多要半个小时温度就能升到180度，现在却要一个多小时才能达到，后来我们经过测试，在操作界面上温度显示是180度的时候，箱体内实际稳定已达300多度，后经莱宝工程师把参数重新设置就正常了。b、保险丝烧断19号机在一次镀膜过程中，加热器停止工作报警，无法继续镀膜，后来检查后面电源以及保险丝发现保险丝（熔断器）烧断，在更换保险丝后加热器恢复正常。5、冷却水流量变为0出现这种情况的原因一般都是水流量探测器探测不到水流，这也分为两种情况，第一是水管被堵，但出现这种情况的几率几乎为零，第二，水轮计上脏污太多转不动，目前我们的做法是到机器后面去震动冷却水管，希望水轮计能够被震动的转起莱宝机故障处理汇总第4页共4页来，一般情况下问题可以解决，实在不行的话就将水管拆开来清理水轮计上的脏污，为了能够避免这种问题经常出现，我们可以规定在大清洗的时候来洗一下这个冷却水，包括其他吹水吹不到的冷却水管。6、光控问题光控出现问题的几率跟离子源一样是很多的，几乎所有的光控出现问题的那一罩片都会报废，这个问题是比较复杂且很难解释的清楚的，我们现在对曾经出现的光控问题做一简单的总结。a、光控死机，没办法只能重启，如果在开镀前出现这种情况还好，重启一下继续调光量，调好就可以开镀，如果是镀膜过程中出现这种情况，那只能报废了，接着重新上片了，为了能尽量减少这种情况造成的报废，现在我们规定做完每一罩必须重启一次光控主机。b、光量值不稳定这个问题在9月的时候20号机出现的次数是比较多的，因为这个光量值不稳定导致了连续性的报废，最终在月底的时候查出问题---光纤，把原来的光纤换过之后，光量值稳定了，在镀膜过程中再也没有出现过像原来那样光量值突然抖一下导致光量异常的现象，19号机也换了。