薄膜电阻率测量数据处理

五、数据处理频谱反射光学测厚法测量AZO薄膜的厚度样品编号薄膜厚度（均值）（nm）中位数（nm）最大值（nm）最小值（nm）1113.2111.1126.8105.72181.4183.7189.1168.13292.7300.1314.72674415.9425.3435372.61、做出电压随电流变化的关系与拟合U=38.8921I+0.0071196U=28.0341I-0.05961240.040.060.080.10ImA01234UmVt2min0.040.060.080.100.120.140.16ImA01234UmVt3minU=24.8251I+0.00422328U=15.7763I+0.00171927由以上拟合的电压-电流关系图可以看出，当薄膜的厚度一定时，电压与电流呈线性关系。测得薄膜的平均厚度分别为：113.2nm、181.4nm、292.7nm、415.9nm利用公式dIVF2ln算出薄膜电阻率，并作出薄膜电阻率随膜厚变化图如下：0.050.100.15ImA1234UmVt4min0.050.100.150.200.25ImA1234UmVt5min从上图可以看出，薄膜的电阻率随膜厚先增大后减小，不过变化不是很大。六、实验结果陈述与总结实验测得，薄膜的平均厚度分别为：113.2nm、181.4nm、292.7nm、415.9nm。测电阻时，当薄膜的厚度一定时，电压与电流呈线性关系，即电阻一定。从作出的薄膜电阻率随膜厚变化图可以看出，薄膜的电阻率随膜厚先增大后减小，不过变化不是很大，在近似计算中可认为是一个常数。本次实验的实验操作都比较简单，实验原理也不难。我们直接地接触薄膜材料，其中测膜厚按步骤做，在计算机的配合下可很快完成，而测薄膜电阻的实验则需要一点耐心和技巧，取适当的电流间隔来测量，才能测得比较均匀的数据。用四探针法测量金属薄膜电阻率时，如果探针与薄膜接触不好则会产生较大的误差。七、思考题通过本实验你认为作为电极材料，金属薄膜材料的发展方向是什么？在实际科研开发中应该如何具体实施？薄膜作为电极材料，主要优点是可以做得很薄、尺度很小，并具有其他材料没有的很好的物理特性。应用在全固态薄膜锂电池上，已经在微电子工业、微型医疗器械等领域得到越来越多的应用，例如消费电子领域中作为智能卡、传感器、射频ID、微型设备的微电源，以及作为诸如不可移植人造器官和神经刺激装置等医疗产品的微电源。在实际科研开发中，需要在薄膜电极材料开发和制备方面做了大量的工作，需进一步探索价格更加低廉且性能优良的新型薄膜电极材料，还需从大规模制备满足工业化生产的工艺方面进行改进。253035404550dnm30003500400045005000.nm薄膜电阻率随膜厚变化曲线指导教师批阅意见：成绩评定：