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离子渗碳或离子碳氮共渗，不仅成本低，变形小，渗速快且表层碳浓度及渗层的浓度梯度容易控制，无环境污染，表面无碳黑，与离子氮化零件表面相仿。采用多功能离子轰击炉进行离子与低真空碳氮共渗，或渗碳后淬火，主要有叁种制式。第一种是炉盖电动旋启盖后直接取出快速淬火，可以省去两次加热，节省了能耗，也不会产生内氧化；第二种是炉盖电动旋升启盖后机械爪抓取特制料筐与工件快速淬火，比第壹种机械化程度高，改善了安全生产和可稳定工艺质量；第三种是可配套真空淬火室，性能更好、但造价高。以上三种配置的离子与真空渗碳、或碳氮共渗的工艺效果均优于真空渗碳和多用炉、或井式气体渗碳炉的渗碳效果。最常用的是井式渗碳炉渗碳，国内有许多，其缺陷：炉体难以密封，只做渗碳，不做碳氮共渗（会产生内氧化），不仅渗速慢、变形大、能耗高、环境污染严重。零件表层碳浓度及渗层的浓度梯度无法控制。其耗气耗电费用约是离子工艺的两倍以上。真空渗碳及碳氮共渗其成本与离子工艺成本相差不大，但渗速比离子慢，设备价格比离子炉贵，国外已淘汰。多用炉国外采用较多，价格是离子炉的多倍。它能渗碳及碳氮共渗，通常带淬火装置；有的有前室、后室。多用炉还有附加装置。例如要有孵化气装置发生炉（吸热式或放热式）。当然也有滴入式多用炉等等，但价格均较贵。它适合大批量、连续作业，变形量比气体工艺的小、但比离子与真空工艺的要大得多，工艺成本大于离子渗，渗速也比离子的慢，也可直接淬火不要二次加热。例表作设备的简单比较一次性投资工艺成品质量耗能多用炉大大良大离子与真空炉中小优少井式气体渗碳炉小大差大