真空测量仪表的维护

真空测量仪表的维护真空仪表的维护和保管工作是保证测量结果的准确、可靠以及延长使用寿命的一个重要环节。在应用中，通常应注意如下几点。在使用前应进行检查①外观检查：检查规管电极有否变形、脱焊和污染，管壳玻璃是否有裂纹。仪器的表面有否锈蚀，这奄仪器长期存放时更应注意，仪表的机械零点是否正确等。对于玻璃真空仪表则检查有否破裂、工作液是否氧化以及沾污器壁等。②基本电性能检查：一般可用一只预先封于一定真空度(或未开封)的规管进行检查，检查的步骤基本与真空测量时一样。通过这种检查，大致可明确仪表的电性能是否正常，它对于新真空仪表尤为重要，通过检查还能熟悉和掌握操作技术。③必要时可进行校准，以检查准确度。④对长期存放不用的仪器，必要时应先进行内部检查，然后再检查基本性能或准确度。如带磁钢的，还应检查其磁性有否消失以及其装在规管上的位置有否变动。对于超高真空和极高真空规管的收集极应检查与其他电极之间的漏电是否增大。仪器在使用过程中应注意如下几点①应正确操作，并加以必要的维护，以防止灰尘、油污以及潮气的侵入和超过容许的振动。②应注意仪器的稳定性(如零点漂移、发射电流以及阳极高压等的稳定性)是否变坏以及其他不正常情况的出现，以便及时检修。③经长期使用后，应对规管和仪器部分进行内部检查，以清除可能集积的尘污，必要时可进行基本性能的检查和校准。真空测量仪表的贮存环境一般温度为+10～40℃；相对湿度80％(10～25℃时)；无腐蚀性气体；通风良好；无强烈机械振动和强烈电磁场。几种真空仪表的常见故障及检修方法真空仪表的种类繁多，结构不一，因此检修工作较复杂。一般根据仪表实际所发生的故障现象以及仪表的结构进行具体分析，才能找出原因，排除故障。下面列出六种用得较多的真空仪表(定温型电阻真空计、热偶式真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、B—A超高真空电离计和冷阴极磁控式极高真空计)的常见故障、可能产生的原因及检修方法(分别见表9～表14)，以供参考。至于热偶、电离复合式真空计和热偶、B—A复合宽量程超高真空计的检修，可分别参阅下述各表有关部分。表9电阻真空计(定温式)的故障诊断及检修方法发生故障的现象可能产生的原因维修方法电源开关接通后，指示灯不亮1无供电电压2电源线断路3电源保险丝烧断4指示灯灯丝烧断或接触不良1检查电源插座有无供电电压2检查电源线或插头接线是否断路3检查电源部分(主要为电源变压器与整流器部分)是否短路。排除故障后，更换保险丝4检查电源电压后，更换指示灯或紧固灯座电源接通后，表头无指示1指示电表的动圈部分断路或卡牢2无直流电源电压，直流稳压电源部分损坏，无电压输出3量程转换开关接触不良或损坏4规管断丝或规管插座接触不良1更换指示电表2更换或修理直流稳压电源3更换量程转换开关4更换规管或规管插座当规管处于大气状态时，指示表超过满度或有较大的固定偏转1规管断丝或规管插座接触不良2量程转换开关部分接触不良3无直流补偿电压4满度调节电位器松动1更换规管或规管管座2更换量程转换开关3检修直流补偿电压电源4重调并紧固满度电位器指示表反偏超过零位1低频振荡电路工作不正常或停止振荡2量程转换开关损坏1其晶体管损坏或工作点失调等2更换量程转换开关指示表有较大幅度的摆动1转换开关、管座接触不良或低频振荡器产生寄生振荡或间隙振荡2外界干扰3电源电压低而波动频繁1检修转换开关、管座以及低频振荡电路2检查仪器周围是否存在火花检漏议、电动机等反复启动等干扰源3检查供电电源真空度变化时反应不灵敏或指示不变1规管电阻丝污染2规管断丝、转换开关或管座接触不良3低频振荡电路产生高频振荡1清洗规管2更换规管，更换转换开关或管座3检修低频电路量程换档衔接不好补偿电位器松动重调并紧固补偿电位器多只规管测量同一系统，结果不一样1规管补偿电位器松动2规管转换开关接触不良1重调并紧固规管补偿电位器2更换转换开关零点漂移过大1规管电阻丝表面状态变化2低频振荡电路的晶体管工作不正常或温度特性不良1清洗规管电阻丝或更换规管2更换有关晶体管[u][color=#006699]表l0，热偶真空计的故障诊断及检修方法故障现象可能产生的原因维修方法电源开关接通后，指示灯不亮同表9第1项内容电源接通后，加热电流和测量均无指示1指示表动圈部分断路(指针显示式仪器)2热偶规管灯丝断路或规管连接电缆部分断路3无加热电流4加热电流调节电位器断路5与指示表串连的电阻断路1更换指示表2更换热偶规管及检修规管连接电缆3检查稳流电源有无电压输出4检修调节电位器及其线路5更换电阻有热偶电流指示而无测量读数1规管断丝2规管电缆、插座及量程开关等部分接触不良3真空度太低(》133Pa)1更换规管2线锈或更换有问题部分3检查被测系统真空度有热偶电流指示而测量读数很小1真空度较低(133Pa)2热电偶部分被污染1检查被测系统真空度2更换或清洗规管无热偶电流指示而有测量读数分流器中与指示电表串连的电阻断路更换电阻，重新校准电流值加热电流失控(1)加热电流过大，且不能调小(2)加热电流过小，且不能调大或无法调节1调节晶体管击穿(晶体管式)2调节晶体管与散热器之间的绝缘破坏3加热电流调节电位器一端断路1更换调节晶体管2检修绝缘部分3更换电位器或检修调节电位器电路加热电流不稳定1线路板接插件、规管管座或电缆接头等接触不良2稳压电源失效3交流供电电压低而且波动大1检修相关部分2检修稳压电源3检查供电电源电压一档量程能正常工作，另—档工作不正常或无指示1量程转换开关损坏或接触不良2另一量程的加热电路或热偶测量电路的元件损坏1更换转换开关2检修相关电路及更换损坏元件表11电离真空计的故障诊断及检修方法故障现象可能产生的原因维修方法电源开关接通后，指示灯不亮同表9第1项内容规管电源接通后，灯丝不亮1真空度过低。规管灯丝烧断2规管插座、开关、电缆或管座等损坏或接触不良3规管保险丝断或由于真空度远低于被测量程，规管自动过载保护装置已经动作4规管灯丝电路继电器的触头接触不良5规管稳发射电流装置损坏，无电压输出1更换规管2维修或更换相关部件3更换保险丝，检查和调整离子流测量放大器零位及过载保护灵敏度4维修或更换继电器5检修稳发射电路及其元件规管灯丝很暗，无发射电流1电源变压器短路2晶体管稳流器的检出放大管无集电极辅助电压3检测放大器或基准参考电压部黼4过流保护电路晶体管损坏或元件变值，致使稳流器过流保护装置非正常工作1检修电源变匪器2检修集电极辅助电源3维修险测放大器和比较基准电路4更换有关元件规管灯丝较暗，发射电流调不到额定值(5mA)1电源变压器短路2规管灯丝氧化或发射能力不足3规管被油蒸汽污染4真空度过低(10-1Pa)5交流供电电压过低(远低于200V)1检修电源变压器2更换规管3清洗或更换规管4检查被测系统真空度5检查供电电压，采用交流稳压器供电规管灯丝超过正常亮度又无发射电流无加速极电压检修高压部分有无电压输出并更换有关元件调节发射电流时规管灯丝亮度有变化，但是无发射指示1发射电流指示表动圈断路或卡表2分流器中与指示表串连的电阻断路1更换指示表2更换分流器电阻，并重新校准电流值发射电流指示超过满度，但又无法调节1调整管击穿或其集电极与散热器短路2检出放大器的采样电位器断路3规管加速极与阴极发生短路4分流器断路5阻抗变压器短路1更换调整管及检修散热器绝缘部分2维修检出采样电路，更换有关元件3检修管路电路、更换规管4更换分流器并重新校准电流值5检修或更蒯沮抗变压器发射电流不稳定1电源供电电压过低且波动剧烈2滤波电容器容量衰减3电路板及其接插件、规管管座或连接电缆接头等接触不良1检查供电电压，采用交流稳压器供电2更换电容器3检修或更换有关部件规管除气时加速极不红除气电源开关或继电器以及电缆接头、规管管座等损坏或按啦不良检修或更换有关部件离子流测量放大器无法调零，指示表指针超过满度或反偏1差允赫吠电路晶体管损坏或严重不对称2差分放大电路元件损坏1更换晶体管2检查并更换有关元件在“校准”或“满度”档上调不到满度1离子流测量放大器的一直流工作电压过低2差分放大电路晶体管放大解懒3发射电流降低4满度电位器损坏1检修供电电源2更换晶体管3查找茇射电流降低原因并调至额定值4更换电位器测量时指示表无指示1离子收集极电路断路或对地短路2离子收集殴无负偏压3真空魔E6荀(10-5Pa)4指示表或测量档转换开关损坏1检修有关故障2检修离子收集极电路，恢复额定偏压值（～—25V)3检查被测真空度4更换指示表或转换开关测量时指示表指针反偏1离子收集极无负偏压，在高量程档上因电子打到收集极上形成负电流2规管中出现高频电子正栅振荡3外界干扰1检修离子收集极负偏压电路2改变电缆长度或在离子收集陂电路中串接5～6匝线圈加以消除3查找干扰源或对规管收集极加以金属屏蔽零点漂移显著1离子流测量放大器的输入管栅流增大2离子流测量放大器的晶体管工作特性不稳定3收集极接线的绝缘性能变坏4电源供电电压波动剧烈5离子流测量放大器的直流工作电源的纹波系数增大1检查输入电路或更换输入管2更换有关晶体管3检修并改进绝缘陛能4采用交流稳压器供电5改善直流稳压器的工作性能或加大滤波电容器的容量商量程档的栅流影响加大输入管表面或高输入阻抗零件(量程开关、电缆接头及管座等)受潮或损坏检修或更换有关器件表12冷阴极电离真空计的故障诊断及检修方法故障现象可能产生的原因维修方法电源开关接通后，指示灯不亮同表9第1项内容接通电源后，无高压或高压很低1高压整流管损坏或衰老2高压变压器绕组断路或局部短路3高压滤波电容器击穿4高压输出限流电阻烧断1更换整流管2更换高压变压器3更换滤波电容器4更换限流电阻测量指示表无指示1无高压(见前项)2规管的高压电缆断路3指示表断路4真空度过高(10-5Pa)1同前项2检修或更换高压电缆或接头3检修或更换指示表4检测被测系统真空度指示表的偏转过大1真空度过低(10-1Pa)2指示表分流器断路3规管电极短路1检测被测系统真空度2更换分流器，并重新校准电流值3更换规管测量指示表明显错误规管损坏更换规管测量指示不稳定l规管高压电极接触不良，产生局部放电2规管损坏3高压稳压电源损坏4交流供电电压过低且波动剧烈5在某压力下出现CM点或放电不稳定1检修规管高压电极接头2更换规管3维修高压稳压电源4采用交流稳压器供电5检测系统真空度及规管性能表13B—A式超高电离真空计的故障诊断及检修方法故障现象可能产生的原因维修方法电源开关接通后，指示灯不亮同表9第1项内容规管灯丝接通后，灯丝不亮同表11第2项内容规管灯丝很暗，无发射电流同表11第3项内容规管灯丝较暗，发射电流调不到额定值同表11第4项内容规管灯丝超过正常亮度又无发射电流同表11第5项内容规管灯丝亮度正常但无发射电流指示1发射电流指示表损坏2指示表的转换开关损坏或分流器中串连电阻断路1更换指示表2更换转换开关或分流器电路，并重新校准电流值发射电流指示超过满度，但又无法调节1晶体管式稳流器的整流滤波电容器损坏或其外壳与机壳短路2其余同表11相应项内容1更换电容器或消除短路现象2其余同表12相应项内容发射电流不稳定同表12相应项内容规管灯丝亮度闪烁，发射电流指针随之摇摆1晶体管式稳流器的检出放大级的高频去耦电容变值2基准电压稳压管电路故障3整流滤波电容器外壳漏电1更换电容器2检修基准稳压电路并更换有关元件3更换电容器规管除气时加速极不够红，除气电源不稳定1电源供电电压过低2倍压整流的除气高压部分故障1检查供电电压，采用交流稳压器供电2检修倍压整流电路及更换有关元件有发射电流指示，但无除气电流指示1转换开关损坏2除气高压电路故障3除气电流分流器中与指示表连接的电阻断路1更换转换开关2检修除气高压电路及更换有关元件3更换分流器电阻并重新校准电流值离子流测量放大器无法调零，指示表指针超过满度或反偏1离子流测量放大器中有一级或一级以上放大电路失衡或损坏2工作直流电压过低或—组损坏3静电计管衰老1检修有关电路及更换元件2检修直流电源及更换有关元件3更换静电汁管及施以防潮处理零位调节太灵敏或不稳定1离子流测量放大器的负反馈电