洁净室日常管理制度

1洁净室日常管理制度（2010-10-06)目的：确保洁净室的洁净等级符合科研环境条件，避免样品污染。范围：适用于洁净室内所有人员、设备、材料以及工艺过程、分析测试等操作过程。一、人员管理1.1参观者：工作人员须妥善安排接待进入洁净室参观的领导和专家等，使其了解本研究所的相关规定。1.2工作人员：所有人员均须经洁净纪律培训和安全培训，并经考核合格后方可获准进入洁净室。二、人员出入制度2.1洁净服着装所有人员进入洁净室进入洁净室的所有人员均须穿着洁净服和洁净鞋，并严格按照洁净室人员进退流程进行。注意事项：1.扎好头发，戴上头套，避免头发外露；2.戴上口罩；3.以站立姿势穿洁净服，避免接触地板等有尘物品，拉上拉链并扣好搭扣；4.穿上洁净鞋，扣好搭扣；5.戴上手套，衣袖口须包住手套口；6.着装完成后检查服装仪容方可进入风淋室。2.2进入风淋室(1)进入人员一定要通过风淋室，以1人为上限，不得超过；(2)按规定关好门后进行吹净，双手叉腰并摆动身体，吹净时间为15秒；(3)吹净停止后5秒，方可开门进入洁净室；(4)风淋室吹气口不得任意调整；2.3退出洁净室出洁净室时，不通过风淋室，应从旁通门进入更衣间。2.4洁净服管理(1)洁净工作服每月底清洗一次；(2)送洗前按“编码”在指定记录本上进行登记；(3)在更衣间折叠并包装好，放入“洁净服周转柜”；(4)通知洁净服专业清洗公司前来拿取；(5)洁净服清洗完毕并送回后，按“编码”进行清点，并放入“洁净服周转柜”；(6)在更衣间内，按“编码”在指定时间发放给洁净室工作人员。注意事项：1.保持个人卫生，减轻洁净服脏损程度；2.保持个人洁净衣柜和洁净服周转柜的清洁；3.尽量避免洁净服沾染油污，如已发生，登记时需提醒洁净服送洗人员；4.净服清洗完毕并送回后，必须在更衣间或更高洁净度的区域才能打开。2三、物料出入制度3.1凡欲带入洁净室的物品和设备，均需用70％无水乙醇及无尘纸擦拭干净；3.2洁净室内使用的工具器材，如桌椅、推车、吸尘器等，均需合乎无尘规范；3.3设备操作手册等文件若以非无尘纸影印、须加以塑料套封装，并擦拭干净后方可带入；放置和翻阅处应远离设备、产品，同时不得带出洁净室；3.4洁净室内使用原珠笔或油性签字笔书写；铅笔、白板笔、橡皮擦、修正液及钉书机等文具，严禁携入使用；3.5除洁净室专用纸外，其余纸类不得携入使用。四、设备管理制度4.1设备管理员制度(1)所有设备均由专人管理，每台设备安排1~2名设备管理员；(2)所有设备均设有专门的运行记录本、预约登记本等，由设备管理员负责保管；(3)设备管理员负责对设备的使用记录、维修记录及操作人员的登记、维护情况进行有效管理，并对仪器设备的相关资料建立纸质及电子档案；(4)设备管理员负责妥善管理所管辖设备的附件及耗材的存放与购置工作；(5)设备管理员负责安排设备定期的维护和保养工作，对贵重、精密仪器设备的性能、指标进行检验和校正，确保设备始终保持在正常工作状态；(6)当仪器设备发生故障时，使用者必须将仪器故障情况及时通报设备管理员，并尽快安排维修。4.2设备操作资格认定制度(1)使用前应认真阅读设备使用说明书及设备操作规程，并通过设备操作人员资格考核，取得设备操作资格认定证明；(2)保管人需率先取得设备操作资格认定证明，并对设备管理员进行资格考核；(3)设备管理员经审核通过后，与设备保管人共同负责对其他工作人员进行设备操作资格考核认定；(4)设备保管人和设备管理员共同负责提供定期或不定期的设备操作人员培训。4.3仪器设备预约申请制度(1)所有工作人员均必须遵守仪器设备预约申请制度；(2)设备管理员负责所管辖设备的预约登记工作；(3)预约者如需使用仪器设备，均需向设备管理员提出预约申请；(4)设备管理员需充分了解设备使用和运转状况，依据预约者的实验内容，合理安排预约时间，并对预约者填写的实验内容，预约日期和时段进行签字确认；(5)预约时间确认后，由设备管理员在E302室公示栏的《洁净室设备预约登记表》中注明，并严格遵守，以确保预约登记流程的顺利进行；(6)预约时间公示后，不得随意调整预约时间，如遇特殊情况确需变更，由设备管理员负责协调、调换时段或顺延，并在公示栏注明。五、化学品管理制度5.1化学品领用管理(1)洁净室管理员负责洁净室化学试剂的管理（申购、入库、领用、清点）工作；3(2)洁净室管理员负责领购洁净室常用化学品（丙酮、乙醇、氢氟酸等）并定期清点以确保用量，并建立化学品存放账册；每学期末按照规定进行化学品盘点；(3)为避免重复领购和积压，领购化学品前应查阅现存化学品帐册。购进化学品要及时进行入库登记，并在瓶身注明领购时间；(4)特殊化学品由使用者按申购流程进行领购，易燃易爆危险化学品、剧毒化学品要限量领购，控制实验室存量；(5)化学试剂必须按性质分类存放，瓶身标签朝外；(6)所有工作人员均需按照“洁净室化学品领用流程”进行领用并登记。5.2废液空瓶回收管理(1)洁净室协管员负责洁净室废液及空瓶回收管理工作；(2)洁净室所有化学试剂均有专用的废液桶，标明“废液+化学品名称”；(3)严禁向下水口倾倒易燃易爆、有毒有害及有刺激性气味的废液，化学品废液均需倒入指定废液桶内，由协管员负责定期通知学校相关部门回收处理。六、耗材管理制度6.1洁净室管理员负责洁净室耗材的管理（申购、入库、领用、清点）工作；6.2无尘纸、无尘布、手套等洁净室耗材均放在指定抽屉中，使用前无需申请，注意节约使用；备用洁净室耗材放在指定存储柜中，每两周清点1次，并建立库存档案；6.3洁净室管理员负责单晶硅片、抛光玻璃片、镀膜靶材等实验耗材的管理工作；单晶硅片放在千级间电子防潮干燥柜指定位置，镀膜靶材放在万级间电子防潮干燥柜中，钥匙均由管理员保管；6.4单晶硅片、镀膜靶材领用严格遵守“洁净室耗材及器皿领用流程”，领用后自己妥善保管，并据实填写领用记录；每周清点一次使用量与备用量；6.5洁净室协管员负责玻璃器皿、定性滤纸等实验耗材的管理（申购、入库、领用、清点）工作，每两周清点1次，并建立库存档案；如需领用，严格遵守“洁净室耗材及器皿领用流程”，领用后自己妥善保管，并据实填写领用记录；6.6石英清洗花篮、PFA清洗花篮、显影、漂洗用微波塑料盒、烧杯、镊子等为公用实验器皿，均放在指定位置，使用完毕后需清洗干净，重新放回原处；由协管员负责监督、检查和管理；6.7洁净室管理员负责无尘本的申购、编码、领用、存档工作；每年将领用档案书面资料递交实验室主管1份。七、卫生制度7.1保持个人卫生，减轻洁净室人为污染；7.2进入洁净室的人员避免使用化妆品；7.3严禁携带食物、饮料、水等进入洁净室食用；7.4走动时动作宜轻缓，以免产生大量微尘；7.5工作人员不能对产品方向谈话或打喷涕；7.6不得在靠近产品方向翻阅文件、手册或纸张；7.7除维修施工外，不得跪或坐在地板、工作台上翻阅资料或操作产品；7.8洁净室内不要的纸张等不可撕裂或揉捏成团，应将其带离洁净室丢弃；7.9不得重力放置产品或器具，以免引起震动；7.10粘尘垫必须定期更换，或定期剥去表面已粘污的薄层；47.11洁净室的清洁工作应在每天工艺操作结束后，洁净室空调净化系统运行时进行，并根据不同净化级别安排清洁周期；7.12清扫用拖把、抹布不要用易掉纤维的织物材料；7.13清洁人员收取垃圾时，必须先将塑料袋口封紧，再取出塑料袋，禁止用倾倒方式，以避免产生微尘。八、安全制度8.1所有工作人员必须确保熟悉洁净室内水、电、气的开关位置及操作方法。实验完毕或遇突发事件时，必须及时关闭相应开关；8.2灭火器、急救箱、防毒面具等消防急救装备，须置于指定位置；应定期检查各项安全护具、装备，耗材，并保持随时可用之状态；8.3所有工作人员必须熟悉灭火器、急救箱等摆放位置及使用方法；必须熟悉洁净实验室疏散通道和疏散方向；灭火器使用后及时通报更换；过道应保持畅通，不可有阻碍，以免妨碍逃生通道；紧急逃生门，非紧急需要，严禁开启；8.4不可存放易燃易爆物品，如确属工作所需必须事先通报并取得许可，并负责设置安全隔离措施；8.5在洁净室内进行施工或维修时，若有登高、动火或其它特殊作业时，应事先通报并取得许可后方可进行；8.6如发现危害安全之行为、物品或状况时，除立即采取必要措施外，应迅速报告；8.7设备或洁净室中之各项安全措施，不可任意关闭，若有损坏应迅速修复；8.8工作中应及时注意各项安全警告标语或注意标语，并严格遵守；8.9应避免单独1人于洁净室内工作；8.10油、水、化学品等液体漏洒于地面或工作台时，应迅速清除以免发生危险；8.11各类清洁液、有机溶剂、化学品等之瓶盖，使用后应立即盖紧；8.12仪器及其它电气设备等应做好接地及绝缘措施；8.13操作设备前，必须先取得操作资格后，方可独立操作；8.14操作高能光源时，眼睛不可直视光源，以免发生危险。