检测方法14644-3

36洁净室及相关受控环境——第3部分：检测方法ISO14644-3第一版2005-12-15ReferencenumberISO14644-3:2005(E)国际标准INTERNATIONALSTANDARDCopyrightInternationalOrganizationforStandardizationProvidedbyIHSunderlicensewithISONoreproductionornetworkingpermittedwithoutlicensefromIHS37洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法目次前言引言1范围2引用标准3术语与定义3.1概述3.2空气悬浮粒子测量3.3空气过滤器与系统3.4气流3.5静电测量3.6测量仪器与测量条件3.7占用状态4检测方法4.1洁净室检测4.2原理5检测报告附件A（资料）各种检测的选择和实施顺序附件B（资料）检测方法附件C（资料）检测仪器文献（略）38前言国际标准化组织（ISO）为全球各国标准化组织（ISO成员）的联合会，国际标准的编写工作由其下的各技术委员会进行。ISO的各个成员组织若对技术委员会的某个课题感兴趣，它就有权参加该技术委员会的工作。国际上凡与ISO保持联系的政府的或是非政府组织，均可参与此项工作。ISO在电气技术标准化的各项事宜中，与国际电气技术委员会（IEC）进行紧密合作。国际标准草案是按照ISO/IEC指导条例第2部分的法则制定的。技术委员会的主要任务是制定国际标准。国际标准草案由其技术委员会认可后送各会员团体进行传阅，以待表决。至少需要75%投票的会员团体投赞成票才可将草案作为国际标准颁布。ISO14644的这一部分中可能有些内容会涉及到专利权。ISO不对识别任何或全部这类专利权负责。ISO14644-3是由洁净室及相关受控环境技术委员会ISO/TC209编写的。ISO14644在洁净室及相关受控环境的总标题下包含下述各部分：——第1部分：空气洁净度分级——第2部分：证明一直符合ISO14644-1的检测和监测技术条件——第3部分：检测方法——第4部分：设计、建造和启动——第5部分：运行——第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）——第8部分：空气分子污染分级正在编写的部分有：——第6部分：词汇39引言洁净室及相关受控环境须将空气悬浮粒子控制在合适的水平，以完成相关的、对污染敏感的活动。下述行业的产品和工艺均受益于对空气悬浮污染物的控制：航天、微电子、制药、医疗器械、食品和医疗。本部分ISO14644说明的检测方法，可用于说明ISO14644其它部分中所述的洁净室的特性。注：本部分ISO14644并未包括所有洁净室参数的检测方法。ISO/TC209编制的其他文件中讨论了有特定产品或工艺的洁净室和洁净区的其他参数进行检测时所使用的方法和仪器（例如ISO14698中对活物质的控制和测量方法，ISO14644-4中的洁净室功能性检测，ISO14644-7中的隔离装置检测）。此外还可以考虑其他的适用标准。本部分ISO14644中的陈述参照了ASTM，CEN，DIN，IEST，JACA，JIS和SEMI等标准。40洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法注意–本部分ISO14644的应用可能涉及有害的材料、作业和设备。本部分ISO14644未提及所有与其使用有关的安全性问题。因此，使用本标准时，客户应负责制定适当的安全和卫生准则，及在使用前确定规程性限制的适用性。1范围本部分ISO14644规定了指定级别的空气悬浮微粒洁净度的检测方法和测定洁净室和洁净区性能特性的检测方法。这种特性检测可用在3种状态（空态、静态、动态）下的、单向流和非单向流这两种类型的洁净室和洁净区。检测方法中有检测仪器和检测方法方面的建议。如果洁净室和洁净区的类型影响到检测方法，则有其他检测方法的建议。其中的某些检测，则建议了几种不同的方法和仪器，以便适合于不同的最终使用要求。如果客户与建造商一致同意的话，可以使用本部分的ISO14644中未包括的方法。替代方法不一定会提供等效的测量结果。本部分ISO14644不适用对洁净室或隔离装置内产品或工艺进行的测量。2引用标准下列引用标准对本文件的使用是不可或缺的。标有日期的引用标准，只有该引用的版本适用。没标有日期的引用标准，则其最新版本的规范性文件（包括任何修正版）适用。ISO7726:1998，热环境人机工程学-物理量测量仪ISO14644-1:1999，洁净室及相关受控环境-第1部分：空气洁净度分级ISO14644-2:2000，洁净室及相关受控环境-第2部分：证明一直符合ISO14644-1的检测和监测技术条件ISO14644-4:2001，洁净室及相关受控环境-第4部分：设计、建造和启动3术语和定义本部分ISO14644采用的术语和定义如下。413.1普通3.1.1洁净室cleanroom空气悬浮粒子浓度受控的房间，其建造和使用方式可最大限度减少房间内进入的、产生的、滞留的粒子，房间内温度、湿度和压力等其他相关参数按要求受控。[ISO14644-1:1992,2.1.1]3.1.2洁净区cleanzone空气悬浮粒子浓度受控的专门空间，其建造和使用方式可最大限度减少区内进入的、产生的、滞留的粒子，区内温度、湿度和压力等其他相关参数按要求受控。注：洁净区可以是开放式的也可以是封闭式的，可以位于或不在洁净室内。[ISO14644-1:1992,2.1.2]3.1.3洁净室设施installation带有全部维护结构、空气处理系统、服务设施、公用设施的洁净室或洁净区。[ISO14644-1:1992,2.1.3]3.1.4隔离装置separativedevice采用构造和动力学方法在确定的容积内外创建可靠隔离水平的设备。注：某些产业用隔离装置有：层流罩（洁净工作台）、隔离密封空间、手套箱、隔离器、微环境。3.2空气悬浮粒子测量3.2.1气溶胶发生器aerosolgenerator能以加热、液压、气动、超声波音频、静电等方式生成浓度恒定、粒径范围适当（例如0.05µm至2µm）的微粒物质的仪器。3.2.2空气悬浮粒子airborneparticle悬浮在空气中的、粒径从1纳米到100微米的活的或非活的固态或液态粒子。注1：针对ISO14644-3。分级方面见2.103。注2：摘自ISO14644-3:2005,3.2.2。3.2.3数量中径countmedianparticlediameter（CMD）根据粒子数量得出的粒径中值。注：粒径中值即一半的粒子粒径小于数量中值，一半的粒子粒径大于数量中值。3.2.4大粒子macroparticle当量直径大于5µm的粒子。[ISO14644-1:1992,2.2.6]3.2.5M描述符Mdescriptor规定的或测得的每立方米空气中大粒子的浓度，以所用测量方法特性确定的当量直径表示。注：M描述符可以作为采样点平均浓度的上限（或按照洁净室或洁净区中采样点的数量作为置信42上限）。不能使用M描述符规定悬浮粒子洁净度等级，但M描述符既可单独引述，也可与悬浮粒子洁净度等级同时引述。[ISO14644-1:1992,2.3.2]3.2.6质量中径massmedianparticlediameter（MMD）根据粒子质量得出的粒子直径中值。注：质量中径即全部粒子质量的一半小于质量中径，另一半大于质量中径。3.2.7粒子浓度particleconcentration单位空气体积中粒子的个数。[ISO14644-1:1992,2.2.3]3.2.8粒径particlesize在指定的粒子尺寸测定仪上，有相当于被测粒子的响应的球体的直径。注：光散射离散粒子计数器在粒子计数中使用的则是当量光学直径。[ISO14644-1:1992,2.2.2]3.2.9粒径分布particlesizedistribution粒子浓度的累积分布，它是粒径的函数。[ISO14644-1:1992,2.2.4]3.2.10检测气溶胶testaerosol具有已知浓度与受控的粒径分布的固体和（或）液体粒子的气态悬浮物。3.2.11U描述符Udescriptor每立方米空气中测出的或规定的粒子包括超微粒子浓度。注：可将U描述符作为采样点平均值上限（或作为置信上限，依洁净室或洁净区测量时所用的采样点数量确定）。不能用U描述符规定悬浮粒子洁净度等级，但它可与悬浮粒子洁净度等级同时引述，也可以单独引述。[ISO14644-1:1992,2.3.1]3.2.12超微粒子ultrafineparticle当量直径小于0.1µm的粒子。[ISO14644-1:1992，2.2.5]3.3空气过滤器与系统3.3.1气溶胶检测aerosolchallenge用检测气溶胶对过滤器或已安装在位的过滤器系统进行检测。3.3.2规定渗漏designatedleak客户与建造商商定的最大允许穿透限值。用离散粒子计数器或气溶胶光度计对洁净室设施进行扫描时可检测到的渗漏。3.3.3稀释系统dilutionsystem按已知容积比将进入的气溶胶与无粒子空气混合以降低气溶胶浓度的系统。3.3.4过滤器系统filtersystem由过滤器、框架及其他支撑装置或外壳所组成的系统。433.3.5终端过滤器finalfilter处在于空气进入洁净室前终端位置上的过滤器。3.3.6安装就位的过滤器系统installedfiltersystem安装在天花板、墙壁、风管或设备上的过滤器系统。3.3.7过滤器安装后检漏installedfiltersystemleakagetest为确认过滤器安装良好、没有向洁净室设施的旁路渗漏，过滤器及其框架均无缺陷和渗漏所做的检测。3.3.8渗漏leak（过滤器系统）因密封性欠佳或缺陷使污染物漏出，造成下风向浓度超过预期值。3.3.9扫描scanning用气溶胶光度计或离散粒子计数器的采样管、采取重叠的行程移过规定的检测）区、以发现过滤器渗漏的方法。3.3.10“标准”渗漏率standardleakpenetration离散粒子计数器或气溶胶光度计的采样管停留在渗漏处以标准采样流量测得的渗漏率。注：穿透率是过滤器下风向粒子浓度与上风向浓度之比。3.4气流3.4.1换气次数airexchangerate单位时间的换气率，以单位时间送入空气的体积除以空间的体积计算。3.4.2平均风量averageairflowrate单位时间通过的平均空气容积，可据此确定洁净室或洁净区的换气次数。注：风量以每小时立方米表示（m3/h）。3.4.3测量平面measuringplane用来检测或测量风速等性能参数的横断面。3.4.4非单向流non-unidirectionalairflow送入洁净区的送风以诱导方式与区内空气混合的气流分布类型。[ISO14644-2:2001,3.6]3.4.5送风量supplyairflowrate在单位时间内从风管或从终端过滤器送入洁净室设施的风量。3.4.6总风量totalairflowrate在单位时间里通过洁净室设施的断面的风量。3.4.7单向流unidirectionalairflow通过洁净区整个断面的、风速稳定、大致平行的受控气流。注：这种气流可定向清除洁净区的粒子。44[ISO14644-2:2001,3.11]3.4.8气流均匀性uniformityofairflow单向流各点的风速读数处在规定的平均风速偏差率内。3.5静电测量3.5.1放电时间dischargetime绝缘的导电监测板的电压降至原（正的或负的）充电电压所需的时间。3.5.2补偿电压offsetvoltage把未充电的绝缘导电板置于电离空气中时其上积累的电压。3.5.3静电耗散特性static-dissipativeproperty以传导或其它机理将工作表面或产品表面的静电荷降至额定零电荷或特定值的能力。3.5.4表面电压电平surfacevoltagelevel用仪器测出的工作表面或产品表面的（正的或负的）静电电压电平。