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文本复制检测报告单检测日期2010-03-24检测文献正文字数27146作者槿澜检测类型文本复制申请单位检测范围中国学术期刊网络出版总库,中国博士学位论文全文数据库/中国优秀硕士学位论文全文数据库,中国重要会议论文全文数据库,中国重要报纸全文数据库,中国专利全文数据库检测结果总重合字数6801总文字复制比25%总段落数3疑似段落数3前部重复字数2456后部重复字数4345疑似段落最大重复字数3047疑似段落最小重复字数1315段落标题正文-段落1重合文字来源磁悬浮平台承载特性研究作者郭磊文献来源中南大学硕士学位论文发表时间2005文字复制比14%引证关系否段落标题正文-段落1重合文字来源架空索道塔架现代设计方法应用研究作者金松安文献来源重庆大学硕士学位论文发表时间2006文字复制比8%引证关系否段落标题正文-段落1重合文字来源基于ASP平台的远程CAE服务的应用模式研究及其实例实现作者罗珊文献来源广西大学硕士学位论文发表时间2006文字复制比7%引证关系否段落标题正文-段落1重合文字来源焊接钢质药筒设计理论与研究作者何清文献来源中北大学博士学位论文发表时间2005文字复制比7%引证关系否段落标题正文-段落1重合文字来源基于架空索道塔架工程设计中的现代设计方法应用研究作者王宇文献来源重庆大学硕士学位论文发表时间2008文字复制比7%引证关系否段落标题正文-段落1重合文字来源某火箭武器特种集装箱式发射系统结构分析及动力学仿真作者李波文献来源南京理工大学硕士学位论文发表时间2008文字复制比7%引证关系否段落标题正文-段落1重合文字来源计算机辅助工程(CAE)技术及其应用作者王自勤文献来源贵州工业大学学报(自然科学版)发表时间2001年第04期文字复制比6%引证关系否段落标题正文-段落1重合文字来源大型转子式翻车机的三维建模及其数值模拟作者马艳丽文献来源昆明理工大学硕士学位论文发表时间2004文字复制比6%引证关系否第一章绪论1.1引言随着光刻机整体性能的日渐完善与提高，作为光刻机重要部件的定位平台技术也得到了快速的发展。目前,成熟的定位平台已由早期的丝杠驱动结构发展为直线电机驱动的气浮平台结构。随着磁悬浮技术的日趋成熟,这项技术得到了广泛的应用。磁悬浮技术是集控制工程、机械学、电磁学、动力学等学科为一体的典型机电一体化技术。2000年8月我国研发的第一台磁悬浮列车已经进入了试运行阶段。其运动平台和驱动机构采用非接触式磁浮驱动机构，消除了摩擦力和丝杠弹性变形的影响，易于实现多自由度的精密运动的优势逐渐显现出来。近年来，磁悬浮技术开始从宇航、军事等领域向一般工业推广应用[1]。1.2精密定位平台发展与研究现状磁悬浮技术研究始于二十世纪二十年代，发展和应用于六、七十年代，并主要应用在铁路交通运输以及磁悬浮轴承系统等方面。例如，磁悬浮列车，磁轴承支承的透平机械、磁轴承支承的飞轮储能系统等。近些年来，磁悬浮技术已经在很多高科技领域与相应的加工领域获得广泛的应用。例如，磁悬浮技术应用于机床加工系统，可减少机床的单位动力消耗，提高了加工精度，避免导轨摩擦，延长使用寿命，降低维修支出，并可实现微米级定位精度；应用于扫描隧道显微镜中最高可实现纳米级的定位精度。磁悬浮技术具有以下优点[2－3]：无接触、无润滑、无磨损，运行费用和维护费用低，工作周期和使用寿命长，适用于真空、超洁净、无菌车间等环境。正是由于磁悬浮技术的诸多优点，国内外很多组织都出巨资联合进行磁悬浮技术在光学系统中的应用和研究，研制开发磁悬浮定位平台。目前已经有很多种磁悬浮平台结构，根据其运行原理可大致分为2类：一类是悬浮力和推力由同一部件提供，该结构未能完全实现悬浮力和推力间的解耦，控制较为复杂；另一类是悬浮力和推力由不同的部件分别完成，这种结构实现了悬浮力和推力间的解耦，控制较为简单[4]。目前扫描微动工作台主要有五类：1、柔性支承微动工作台；2、滚动导轨式微动工作台；3、滑动微动工作台；4、气浮式微动工作台；5、磁悬浮式微动工作台。柔性支承微动机构是近年来发展起来的一种新型的微位移机构。它的特点是结构紧凑、体积较小，无机械摩擦、无间隙，具有较高的位移分辨率，可达到1nm。使用压电或电致伸缩器件驱动，可以达到亚微米甚至是纳米级的精度，且不产生噪音和发热，适用于各种介质环境工作，是精密机械中理想的微位移机构。滚动导轨微动工作台也是一种常见形式，它具有行程大，运动灵活、结构简单、工艺性好、容易实现较高的定位精度等优点。图1-1所示为一种典型的滚动导轨式微动工作台，该微动工作台使用滚珠导轨作为微动工作台的支承和导向元件，直流伺服电机传动，实现了对自动分步重复光刻机的微定位控制[5]。该微动工作台运动范围为x、y方向150mm，最大工作速度为40mm/s，定位精度为±0.1μm。图1-1滚动导轨式微动工作台图1-2所示为一种典型的采用两级丝杆驱动的滑动微动工作台实现微位移原理的示意图[6]。第一级用交流电机驱动的丝杆机构可实现±0.5μm的定位精度，通过2级制动器对第一级位置误差修正补偿，可获得±1nm的定位精度。图1-2丝杆滑动机构驱动示意图图1-3是日本日立公司在1988年研制出的一种精密x-y定位平台。该平台具有粗动台和微动台双层台结构。粗动台采用PTFE滑动轴承导向的独特轻型机械结构，平台仅在x-y方向作平面运动，粗动台具有120mm×120mm行程，最高速度达到100mm/s，定位精度为5μm。微动台由三个压电陶瓷驱动器进行驱动，沿x、y和绕z轴的θz旋转方向作精密运动，以校正粗动台x、y轴的定位误差以及扭摆误差，微动台的行程为±8μm，可作160μrad的旋转。平台的定位是通过三维激光干涉测量系统进行闭环伺服控制。该定位平台通过微动台实现了±0.05μm的定位精度，以及小于±1μrad的扭摆误差。图1-3双层台机械结构定位平台荷兰ASML公司研制的气浮结构定位平台如图1-4所示[7]。气浮平台为粗动台，压电陶瓷驱动平台为微动台。工作时气足悬浮于台面上，托起平台在直线电机的驱动下做无摩擦的步进定位运动。由于采用了六轴激光干涉测量系统，所以平台可以实现高速度的精确定位。但定位平台的灵敏性较差。图1-4直线电机驱动的气浮结构定位平台图1-5为美国德克萨斯州立大学机械工程系的精密机械研究所研制的六轴的磁悬浮式微动工作平台[8]，它可以实现x、y、z三个方向的平动和分别绕三个坐标轴的转动六个自由度的运动，其x-y平面运动范围为100μm，z方向有10μm的运动范畴，运动精度可实现0.01μm。图1-5六轴磁悬浮系统实物图1-6为中国科学院长春光学精密机械与物理研究所研制的磁悬浮式扫描工作台[9]，该工作台在x、y方向达到0.02μm的定位精度，达到0.1μm的调焦精度和3.0μrad调平精度。图1-6磁悬浮微动工作平台示意图综合分析以上各种微动工作台，可见柔性支承机构达到的精度最高，具有纳米级甚至亚纳米级的精度，但其运动范围很小，一般只能达到微米级以下的运动范围；滑动导轨式微动工作台运动范围可以实现毫米级，但精度只能达到10nm，且可实现的自由度有限，只能实现一维的运动；气浮式微动工作台，虽然可以实现大范围的运动，但是由于气体的可压缩性使得工作平台存在着干扰，运动重复性和定位精度都比较低，难以实现50nm以下高精度的纳米级运动；滚动导轨式微动平台的运动范围很大，可以实现毫米级，但是其精度却不到10nm。目前要实现大范围纳米级微运动时，一般采用的方法是：采用多种微运动方法相结合的方式。综合几种现有的微运动技术，磁悬浮技术在运动范围、自由度以及精度等各个方面的综合性能均优于其他几种技术。但是在实际应用中，通过改变电流大小从而改变运动平台的受力，这必然会导致运动平台高度的变化，如何实现其电流改变时运动平台的恒高度是一个难点。我国的磁悬浮技术起步较晚,清华大学、西安交通大学等高校在磁悬浮轴承领域都进行了多年的研究，在该领域发表了许多相关论文，并取得了丰硕的成果。我国在八五期间成功研制了0.8-1μm的分步投影光刻机和0.7-0.8μmi线投影光刻机.光刻机上的定位平台采用了气浮结构和双层台结构,并利用了三维激光干涉测量技术,达到了亚微米或深亚微米的定位精度。1.3磁悬浮技术在国内外的研究进展为了让铁磁体在受到磁力的作用下实现稳定的自由悬浮，必须根据物体的悬浮状态不断的调节磁场。磁场的大小能够通过调节可控电磁铁来完成。20世纪60年代，世界上出现了3个载人气垫车试验系统。它是最早对磁悬浮列车进行研究的系统。70年代后，磁悬浮列车气隙和高速旋转磁悬浮转子的控制研究日益深入和广泛。随着纳米技术的兴起，探索悬浮技术和纳米技术融合产生的新型前沿技术的可能性不断增长。80年代至90年代期间，日本、美、英等国的科技工作者进行了磁悬浮列车的总体试验和研究，主要包括磁悬浮系统结构及控制的研究、磁悬浮系统动力学模型的分析与建立、悬浮系统磁场的分析及磁力的计算、悬浮列车的阻尼及振动分析、导向磁浮系统的动力学分析以及涡流电流的影响等[10]。目前、在工业上得到广泛应用的都是传统的磁悬浮轴承，这类轴承需要5个或10个非接触式位置传感器来检测转子的位移。由于传感器的尺寸，使磁悬浮轴承的轴向尺寸增大，系统的动态性能降低，可靠度低。由于结构的限制，传感器不能放在磁悬浮轴承的内部，使系统的控制方程相互耦合，控制器设计较为复杂。另外，传感器的价格较高，从而导致磁悬浮轴承的价格很高，某种程度上限制了它在工业上的推广。最近几年，结合磁悬浮轴承和无传感器检测两大研究领域的最新突破，人们已经研制出了无传感器的磁悬浮轴承。这类轴承转子的轴向尺寸变小，系统动态性能及工作可靠性都有所提高，便于设计磁悬浮轴承的控制器，价格明显下降。磁悬浮轴承在电力工程上的应用也具有广阔的前景。进行以磁悬浮轴承系统基础的振动控制理论的研究，可将其应用到汽轮机转子的振动和故障分析中；通过调整磁悬浮轴承的刚度来改变汽轮机转子的结构设计思想，从而完善转子运行的动态特性，提高机组运行的可靠性等，这些都为解决电力工程的技术难题提供了全新的思路。我国磁悬浮列车研究工作起步较晚，1989年3月国防科技大学研制出我国第一台磁悬浮试验样车。国内对磁悬浮轴承的研究工作起步也较迟，尚处于实验阶段，落后国外约20年。虽然，经过多年的研究国内外对于这项技术取得了很大的进步，但是不论在理论还是产品化过程中，磁悬浮技术都存在很多难题。例如：磁悬浮列车存在悬浮与推进以及一套复杂的控制系统的问题。它的实现需要运用电磁元件、机械机构、直线电机、电子技术等各方面的高科技成果。而磁悬浮轴承所存在的难题主要体现在控制系统和满足转子轴系动力特性上。近几年，我国也增加了磁悬浮方面研究的投入，我国的科技人员通过深入研究，在磁悬浮技术方面也取得了可喜的成果。国防科技大学、西南交通大学的学者们在电磁铁磁悬浮基础理论研究的基础上，对磁悬浮列车的悬浮电磁铁设计、磁浮力的分析计算、悬浮系统的非线性控制、列车与轨道之间的共振、悬浮导向系统、悬浮转向系统等进行了理论与实验研究，并在此基础上开展了动力磁轴承的研究[11-16]。1.4有限元法在磁悬浮技术中的以前说到了这个论文抄袭检测系统,同学们都很关心,而且有些同学很关注如何破解,现在我在网上找到了一些破解这个系统的方法,分享给大家,希望能给大家帮助.“对抗中国知网学术不端论文抄袭检测系统”第一招:翻译张同学和小徐还不能算“反反抄袭”一族中最谨慎的。北京某综合类研究型大学的大四女生丁晓薇认为，要抄，就不能留下任何痕迹。她的方法更加繁琐，但也更加保险，那就是翻译。“据我所知，跨语言的论文测谎系统还没有研发出来。”丁晓薇笑得有点狡黠，“我广泛查阅外文资料，挑出可以为我所用的部分，按照一定框架合在一起，一篇拼凑的英文论文就诞生啦！再把它翻译成中文，毕业论文不就有着落了吗？说我抄袭，那个测谎仪软件查得出来吗？”这种方法对英语水平有很高要求，不过，英语一般的同学也有自己的“门道”。丁晓薇透露，她周围就有一些同学，会付钱给学校里英语专业的研究生，请他们对自己的“双语论文”