等离子体产生原理

等离子体的应用反应离子刻蚀：RIE、ICP薄膜沉积：等离子体增强化学气相沉积(PECVD)微波增强化学气相沉积(MPECVD)在等离子体气体中，以电子碰撞双原子分子XY为例，若碰撞能量小，则会发生弹性碰撞，电子的动能不会改变。若碰撞能量很高，分子中绕核运动的低能电子，就会在碰撞中获得足够的能量，被激发至离核较远的高能级轨道上运动。我们把这种高能级状态的分子称为激发态分子，用XY*表示。激发态分子中的电子从高能级跳回到低能级时，便以发光的形式发出多余能量(辉光放电)，这个过程称为“退激”。等离子体的产生•若碰撞电子能量足够高，电子吸收的能量就可以使其脱离核的束缚而成为自由电子，也就是分子发生了“电离”，用XY+表示。•电子对分子XY的碰撞也可以使之分解成为X原子和Y原子（离解/裂解）。用“：”表示分子中成键的电子对，离解过程可以表示为X:YX+Y。这样带有未成对电子的X，Y就容易发生化学反应，故称为化学活性或基团。等离子体特性等离子体的基本反应过程等离子体特性应用激发：XY+eXY*+e退激:XY*XY＋hv（光子）离解：XY+eX+Y+e电离：XY+eXY++2eX++Y+2e电子和离子在电场中受加速粒子间的碰撞产生热效应、粒子和固体表面的碰撞发光特性光学应用化学活性化学应用导电性电气应用高速粒子力学应用产生高温热学应用