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洁净室cleanroom洁净室第一篇：基础知识第二篇：洁净室设计第三篇：洁净室施工第四篇：洁净室测试洁净室基础知识•微粒基础知识•大气尘•洁净室基本原理•净化级别•空气过滤器微粒永久性大气尘沉降性大气尘病毒细菌孢子毛发重工业灰尘红外线可见光紫外线X射线电子显微镜肉眼可见光学显微镜油烟烟草烟雾喷雾雨μm大气尘•总悬浮微粒(TSP):10~100微米10微米(可吸入颗粒)•大气尘组成：矿物碎片、烟、花粉、植物纤维、煤、碳、水泥等细粉、腐败植物、皮屑、金属、微生物等•大气尘随温度、湿度、风向等情况变化而变化空气洁净度级别1、美国宇航标准（NASA）2、美国联邦标准209C、209E3、日本洁净度级别JISB-99204、国际污染控制学会（ICCCS）制定的标准：ISO/TC209我国《洁净厂房设计规范》(GB50073-2001)中采用此标准。ISO14644-1和GB50073-2001洁净度等级ISO（N）0.1微米0.2微米0.3微米0.5微米1微米5微米ISO1102ISO210024104ISO31000237102358ISO4100002370102035283ISO51000002370010200352083229ISO61000000237000102000352008320293ISO7352000832002930ISO8352000083200029300ISO9352000008320000293000Cn=10N*(0.1/D)2.08N：等级D：粒径CN：浓度限值大于或等于表中粒径的最大浓度限值（P/M3）美国联邦标准209E洁净等级大于等于某粒径的粒子数（个/单位体积）国际单位英制0.3μm0.5μmm3ft3m3ft3M1.51106335.31M2.51010603035310M3.5100106003003530100M4.51000353001000M5.51000035300010000M6.51000003530000100000洁净室的设计计算•大气尘浓度•室内单位容器发尘量•人：站立(穿洁净工作服)—58500个/分钟.人站立(穿普通工作服)—339000个/分钟.人步行(普通服装)----2920000个/分钟.人步行(洁净服装)----560000个/分钟.人•机械设备电动机(300W以下):200000~500000个/分钟•纸张普通纸揉半分钟:10220个硫酸纸揉半分钟:523个(0.3微米)洁净室原理1、控制污染的途径:1)有效阻止室外的污染侵入室内.2)迅速有效的排除室内已经发生的污染3)控制污染源\减少污染发生量.乱流洁净室•原理当一股干净空气从送风口送入室内时，迅速向四周扩散，同时把差不多同样数量的空气从回风口排走，这股干净空气稀释着污染的空气，把原来含尘浓度比较高的空气充淡了，一直达到平衡。所以气流扩散得越快，越均匀，稀释的效果就越好。一般适应于1000级及以下的洁净度。•送风方式高效过滤器顶送、密集流线型散流器顶送、局部孔板送风、侧送单向流洁净室•基本原理在洁净室内，从送风口到回风口，气流流经图中几乎没有什么变化，加上送风静压箱和过滤器的均流作用，全室断面上的流速比较均匀，而至少在工作区内流线单向平行，没有涡流。•送风方式上送下回侧送侧回上送侧回微粒过滤机理•机械分离：重力、惯性、旋风•电力分离：静电•洗涤分离：喷雾、水膜、文式•过滤分离：填充式、袋式空气过滤系统过滤器分类性能指标额定风量下的效率20%额定风量下的效率额定风量下的初阻力备注类别%%pa粗效≥5μ;80η≥20-≤50大气尘计数效率中效≥1μ;70η≥20-≤80大气尘计数效率高中效≥1μ;99η≥70-≤100大气尘计数效率亚高效≥0.5μ;99.9η≥95-≤120大气尘计数效率高效A≥0.5μ;η≥99.9-≤190钠焰法效率高效B≥0.5μ;η≥99.99≥0.5μ;η≥99.99≤220钠焰法效率高效C≥0.5μ;η≥99.999≥0.5μ;η≥99.999≤250钠焰法效率高效D≥0.1μ;η≥99.999≥0.1μ;η≥99.999≤280计数效率纤维过滤器过滤机理•拦截、惯性、扩散、重力、静电总效应0.1110微粒大小(μm)拦截效率影响过滤效率的因素•微粒尺寸•微粒种类•微粒形状•纤维粗细和断面形状•过滤速度•纤维填充率•温度\湿度\压力\微粒大小与过滤效率总效应0.1110微粒大小过滤效率滤速与效率拦截滤速效率洁净室设计1、洁净室设计要考虑的问题2、常见几种洁净室的形式业主的问题1、如何设计一个不需要化很大代价来改变和修改的净化间？2、如何建造一个灵活的净化间来避免今后设备变化而付出昂贵代价？3、如何把需要控制的空气量减少从而把建造成本和运转成本最小化？3、怎样才能制订出一个可以信赖的工程预算？4、如何才能使工期持续缩短而不以牺牲质量为代价？洁净厂房设计规范净化间污染控制问题基本系统组成•空调与净化•供配电与照明•冷热源•生命安全•CCTV•纯水•真空•设备冷却水•排气•药品供给•大宗气体与特气•自动控制•排水•内装•……洁净厂房常见的几种形式•按照气流组织单向流、非单向流•按技术下夹层无下技术夹层、单技术夹层、双技术夹层•按空气搬送风机的布置完全分散（ＦＦＵ）、相对集中（ＦＭＵ）、高度集中•按照设备布局方式港湾式、大开间式（FFU+CLEANBOOTH+SMIF）净化间常见形式之一高效过滤器净化间空调机房通道上夹层1、上送侧回、无架空地板、温湿度控制通过空调机实现；造价低、噪音小但灵活性差净化间常见形式之二高效过滤器净化间空调机房通道上夹层在方式一的基础上增加了下夹层，主要考虑设备配管配线的便利性和整体美观。净化间常见形式之三高效过滤器净化间空调机房通道上夹层上送上回，节约了回风夹道所占面积，主要实用于低级别的洁净室，自净时间会延长净化间常见形式之四净化间通道上夹层FFUFFUFFUFFUFFU+FCU的方式，低下夹层净化间常见形式之五特点：1）设备间和作业间放置在不同的分区内2）单夹层、集中送风、上夹层为静压箱2）净化间利用率偏低3）安全性上来说有利也有弊4）不利于设备布局的变化净化间常见形式之六特点：1、双技术下夹层；FFU+CLEANBOOTH+SMIF方式2、设备主体与辅助设备垂直放置3、作业层是大开间、增加设备布局变化的灵活性净化系统基本流程图初效过滤中效过滤水喷淋高效过滤化学过滤中效过滤超高效过滤人身净化空调系统基本构成CoolingtowerChiller集水缸分水缸冷却水泵CoolingWaterPump冷冻水泵ChillingWaterPumpDispensingBoxAssemblingBox新风机循环空调机C/R外气锅炉天然气或柴油热交换采暖系统蒸汽热水冷冻水Makeupairunit净化间的节能问题•温湿度的调节方式•冷热回收•当地自然条件的充分利用•高效率产品采用•高级别区域的最小化•隔热与保温洁净室的施工如何建设一个好的净化间质量、工期、建设费用、运转成本、灵活性、环保与安全洁净室施工及验收规范第一章总则第二章建筑装饰第一节一般规定第二节材料要求第三节构造与装饰要求第四节施工要求第五节装配式洁净室的安装第三章净化空调系统第一节一般规定第二节风管及其部件的制作第三节系统安装第四节高效过滤器安装第五节空调器安装第六节空气净化设备和装置的安装第四章、水、电、气第一节一般规定第二节给水排水第三节消防设施第四节气体管道第五节电气装置第五章工程验收第一节一般规定第二节竣工验收第三节综合性能全面评定第四节评定标准施工阶段--质量控制1）设计意图把握2）施工规范理解与贯彻3）把好进货质量检验关4）合格分供方的评价5）必要的检验与测试6）过程控制7）把问题消灭在萌芽状态8）沟通协作与团队精神施工阶段--进度控制1）制订合理的施工计划表2）不能以牺牲质量来换取进度3）熟练的作业队伍和必要的施工机具是保证进度的基础4）尽量减少返工5）尽量在净化间外进行预制6）需要中间验收的环节提前申报施工阶段---成本控制1）提高材料的利用率2）减少返工率3）提高工人的劳动效率4）建立稳定的供应商体系减少中间环节5）集中购买，避免零敲碎打施工阶段---安全管理1）牢固树立“安全第一”的思想2）建立安全生产监督管理体系3）安全教育与培训4）安全警示和安全设施设备材料选择•内装：壁板、顶板、门窗、架空地板、卷材、防尘涂料、防静电地面•空调净化：空调机、高效过滤器、FFU、保温材料、各种风管、风量调节阀、风机、防火阀、排烟阀等•自动控制：各种传感器（温湿度、露点、液位、流量、压力、微压差等）、各种调节阀门（气动、电动）、工业控制机、控制软件•生命安全：温感、烟感、水泄露检测、药品泄露检测、气体泄露检测、固定或移动灭火装置、紧急喷淋、紧急排气、紧急排烟等•气体：空压机、气体纯化器、各种不锈钢管材及接头、阀门、检测仪器仪表•设备冷却水：水泵、水箱、热交换器、管材、阀门。•真空：真空设备、管材及阀门、压力表•排气：PVC管道、玻璃钢管道、不锈钢管道、酸碱洗气塔、有机吸附装置、防腐风机等等•药品供应：管道、供液泵、废液回收等•供配电及照明：变压器、UPS、配电柜、电缆、桥架、照明器具•冷热源：锅炉、冷冻机、热交换设备、冷却塔等•其他关联系统：纯水制备、废水处理等等金属壁板•表面钢板厚度：0.3mm,0.5mm,0.8mm•夹心材料:岩棉、聚苯、纸蜂窝、铝蜂窝•拼接方式：•表面处理方式:•性能：防火、隔热、平整度、强度•价格:80~240元/M2架空地板•材质:全钢制、钢制+水泥、高压铝制、铸铝等•主要性能参数：集中荷载、均布荷载、表面导电率等•尺寸600*600设备材料国产化或现地化状况•目前主要依赖进口的设备及材料材料高纯气体管道及配件、PVDF、高品质阀门、高精度传感器或特殊用途的传感器、FFU、超高效过滤器、特殊要求的水泵或风机、气体纯化设备等洁净室施工要点•施工顺序几条原则先上后下、先粗后细、统筹安排、相互保护•洁净室施工管理注意事项1.不要把问题留到以后来解决2.一时的偷懒结果是代价太高3.良好的习惯最重要、改变习惯非常难4.细部工作不容忽视（打胶）5.分包方或材料厂家的管理非常重要净化间的测试测试项目•中间测试：管道打压、风管捡漏、过滤器捡漏•最终测试：•温度：•湿度：•照度：•噪音：•洁净度：浮游尘、降下尘•风速：•风向偏转度：•地面导电性能：•特殊：分子污染、微振动、