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志聖工業竹科分公司Plasma專案組PRS基本故障与排除1、PRS故障讯息2、故障原因排除一、PRS故障讯息FAULT!EXHAUSTFAIL!故障！排气失败！Fault:Totalprocesstimeislargethansettingtimeabout10second故障！总制程时间大于设定时间约10秒Fault:测漏----不合格!故障:测漏----不合格!FAULT!,ICP_RFReflectivepowerislargethansettingvalue&P_RF_F&%故障！射频反射功率大于设定值设定内容FAULT!,ICP_RF'sForwardpowerislargethansettingvalue&P_RF_F&%故障！射频输入功率大于设定值设定内容FAULT!,ICP_RF'sForwardpowerislessthansettingvalue&P_RF_F&%故障！设频输入功率小于设定值设定内容FAULT!COMPRESSAIRFAIL!故障！压缩空气(CDA供压)失败！FAULT!MFC(&i&)flowislargethansettingvalue&P_GAS_F&%故障！质流控制器(MFC)流量大于设定值！FAULT!MFC(&i&)flowislessthansettingvalue&P_GAS_F&%故障！质流控制器(MFC)流量小于设定值！FAULT!PRESSURE(MKS)islargethansettingvalue&P_MKS_F&%故障！压力(MKS)大于设定值！FAULT!PRESSURE(MKS)islessthansettingvalue&P_MKS_F&%故障！压力(MKS)小于设定值！FAULT!PUMPsystemfail!故障！帮浦系统失败！FAULT!WATERFLOWfail!故障！冷却水流量失败！Fault:CHAMBERLIDOPEN!故障！腔体门盖开启！Fault:ERROR_FLAGRISE故障！错误讯号发生！Fault:GASCONTROLERROR!故障！气体控制错误！Fault:I7000DIMODULE(&(CH_LID\&H10000)&)ERROR!故障！I7000DI(数字输入)模块错误!Fault:I7000DOMODULE(&(RV_VALVE\&H10000)&)ERROR!故障！I7000DO(数字输出)模块错误!Fault:I7000(SMC)ERROR!故障！I7000(SMC)错误!Fault:ICP_RFAUTOMATCHINGERROR!故障！射频自动匹配错误!Fault:MACHINEINITALERROR!故障！匹配初始错误!Fault:MKS-CLOSE--ERROR!故障！MKS(节流阀)关闭错误!Fault:MOTORBREAKERROR!故障！(旋转模块)马达损坏错误!Fault:MOTORSETERROR!故障！(旋转模块)马达设置错误!Fault:PUMPDOWNTIMEOUT!故障！抽气时间过长!Fault:Pumptobasepressurefailed,initialtimeout!故障！抽至基楚压力失败，初始时间过长!Fault:READPRESSURE(MKS)--ERROR!故障！读取压力(MKSgauge)失败!Fault:RFCONTROLERROR!故障！射频控制失败失败!Fault:RotorSpeedreaderror!故障！转子(旋转模块)速度读取失败!Fault:SERVOPRESSUREERROR!故障！伺服压力失败!志聖工業竹科分公司Plasma專案組Fault:SETICP_RFPOWEROFFERROR.故障！设定射频电源关闭失败！Fault:SETICP_RFREMOTEMODEERROR.故障！设定射频遥控模式失败！Fault:SETICP_RFSECHOOFFERROR.故障！设定射频回应关闭失败！Fault:SETMOTORSTOPERROR!故障！设定马达停止失败！Fault:SYSTENINITALERROR!故障！系统初始化失败！Fault:THROTTLEVALVEOPEN(100%)--ERROR!故障！节流阀全开失败！故障原因与排除1.FAULT!EXHAUSTFAIL!故障！排气失败！原因:早期PRS于PUNP排气端有加设EXHAUST(排气)负(背)压侦测，该负(背)压需小于-0.02torr，该读值可由PUMP排气端SMCgauge上读取。(目前该设置均已取消)处理:1.确认PUMP排气端是否设有负压侦测器，若有则检查读值是否正确，确认厂务EXHAUST是否开启，调整gauge设定测试gauge是否正常。2.进入计算机程序系统，最高权限中『组件组合』项目，确认EXHAUST单元是否被勾选。2.Fault:Totalprocesstimeislargethansettingtimeabout10second故障！总制程时间大于设定时间约10秒。原因:因系统警告或软件BUG造成制程动作延迟。处理:进行软件修正BUG。3.Fault:测漏----不合格!原因:进行系统测漏程序，其结果超出设定时发出。处理:1.重新确认测漏条件，抽气时间是否设定太短，漏率标准是否太高。2.检查腔体内是否清洁，O-ring是否破损。4.FAULT!,ICP_RFReflectivepowerislargethansettingvalue故障！射频反射功率大于设定值原因:射频反射功率达到程序项目内设定之警告值。处理:1.腔体污染，请清洁腔体。2.程序项目内参数异常，请检查a.RFReflectivepower设定百分比过低！b.程序间延迟时间(delaytime)过短！c.子程序顺序错误3.RFcable松脱、断线或短路。4.Matcherboxmatching异常，Coil铜线松脱、断线、短路或氧化。5.FAULT!,ICP_RF'sForwardpowerislargethansettingvalue故障！射频输入功率大于设定值原因:射频输入功率达到程序项目内设定之警告值。处理:1.使用dummyload进行射频产生器(RFGenerator)输出功率测试。志聖工業竹科分公司Plasma專案組2.确认射频产生器内输出功率调整差值是否变动。6.FAULT!,ICP_RF'sForwardpowerislessthansettingvalue故障！设频输入功率小于设定值原因:射频输入功率达到程序项目内设定之警告值。处理:1.使用dummyload进行射频产生器(RFGenerator)输出功率测试。2.确认射频产生器内输出功率调整差值是否变动。7.FAULT!COMPRESSAIRFAIL!故障！压缩空气(CDA供压)失败！原因:GASbox内CDA压力侦测器达到警告值。处理:1.检查厂务供气是否正常。2.检查管路是否阻塞。3.检查CDA压力侦测器是否正常。8.FAULT!MFC(&i&)flowislargethansettingvalue！故障！质流控制器(MFC)流量大于设定值原因:质流控制器流量达到程序项目内设定之警告值。处理:1.将供气手动阀关闭，MFC流量设定至全开，抽真空后，将MFC归零后再开启手动阀测试。2.更换MFC。9.FAULT!MFC(&i&)flowislessthansettingvalue！故障！质流控制器(MFC)流量小于设定值原因:质流控制器流量达到程序项目内设定之警告值。处理:1.检查厂务端供气是否正常。2.检查手动阀、气动阀、电控阀件是否动作正常。3.将供气手动阀关闭，MFC流量设定至全开，抽真空后，将MFC归零后再开启手动阀测试。4.更换MFC。10.FAULT!PRESSURE(MKS)islargethansettingvalue故障！压力(MKS)大于设定值！原因:CT1压力(MKSGauge)读值大于程序内部设定之警告值。处理:1.腔体污染，内含过量粉尘或水气，请清洁腔体。2.PUMP抽气效率不良，测试PUMP底压。3.腔体或气体管路漏气，请更换O-RING或GASKEY。11.FAULT!PRESSURE(MKS)islessthansettingvalue故障！压力(MKS)小于设定值！原因:CT1压力(MKSGauge)读值小于程序内部设定之警告值。处理:1.厂务端气体未开或供气不足。2.MFC下方气动阀未开启，检查气动阀动作或CDA供气是否正常。3.MFC或腔体或气体管路阻塞，请检查管路。志聖工業竹科分公司Plasma專案組12.FAULT!PUMPsystemfail!故障！帮浦系统失败！原因:系统启动时PUMP上方SMCvacuumswitch未达到设定值(-700mmhg)处理:1.检查PUMP有无起动，冷却水是否开启，水流量传感器是否正常。2.检查真空开关是否归零，PUMP抽气是否达到设定值。13.FAULT!WATERFLOWfail!故障！冷却水流量失败！原因:系统启动时冷却水流量未达到设定值处理:1.检查厂务冷却水是否开启。2.检查PUMP或系统冷却水是否开启。3.检查水流量传感器是否正常。14.Fault:CHAMBERLIDOPEN!故障！腔体门盖开启！原因:系统启动时腔体门未关闭。处理:1.检查腔体门是否关闭。2.检查腔体上方两颗安全开关动作是否正常。15.Fault:ERROR_FLAGRISE故障！错误讯号发生！原因:系统发生错误讯号。处理:1.检查错误讯号发生原因。16.Fault:I7000DIMODULEERROR!故障！I7000DI(数字输入)模块错误!原因:DI(7053)数字控制模块异常。处理:1.检查所有数字模块灯号、电源(24V)是否正常。2.检查数字模块(7520)RS232转RS485讯号是否正常。3.检查数字模块(7053)数字模块是否正常。17.Fault:I7000DOMODULEERROR!故障！I7000DO(数字输出)模块错误!原因:DO(7043)数字控制模块异常。处理:1.检查所有数字模块灯号、电源(24V)是否正常。2.检查数字模块(7520)RS232转RS485讯号是否正常。3.检查数字模块(7043)数字模块是否正常。18.Fault:I7000(SMC)ERROR!故障！I7000(SMC)错误!原因:SMC数字控制异常。志聖工業竹科分公司Plasma專案組处理:1.检查所有SMC控制讯号是否正常。2.检查数字模块(7520)RS232转RS485讯号是否正常。3.检查数字模块(7053)数字模块是否正常。19.Fault:ICP_RFAUTOMATCHINGERROR!故障！射频自动匹配错误!原因:射频匹配器无法自行匹配。处理:1.检查匹配器内电容及马达动作是否正常。2.检查匹配器电源是否正常。3.检查匹配器控制模块是否正常。20.Fault:MACHINEINITALERROR!故障！匹配初始错误!原因:射频匹配器无法连接。处理:1.检查匹配器电源是否正常。2.检查匹配器讯号线是否连接21.Fault:MKS-CLOSE--ERROR!故障！MKS(节流阀)关闭错误!原因:MKS(节流阀)无法关闭处理:1.检查MKS(节流阀)动作是否正常。22.Fault:MOTORBREAKERROR!故障！(旋转模块)马达损坏错误!原因:(旋转模块)马达损坏！处理:1.检查(旋转模块)马达供电是否正常。2.检查(旋转模块)马达动作是否正常。3.检查(旋转模块)控制器讯号是否正常。23.Fault:MOTORSETERROR!故障！(旋转模块)马达设置错误!原因:(旋转模块)马达设置错误！处理:1.检查(旋转模块)马达供电是否正常。2.检查(旋转模块)马达动作是否正常。3.检查(旋转模块)控制器讯号是否正常。24.Fault:PUMPDOWNTIMEOUT!故障！抽气时间过长!故障！抽气时间过长!原因:AUTORUN时腔体后SMC真空开关未达设定