应变片

应变式传感器电阻应变式传感器是利用电阻应变片将应变转换为电阻变化的传感器,传感器由在弹性元件上粘贴电阻应变敏感元件构成。当被测物理量作用在弹性元件上时,弹性元件的变形引起应变敏感元件的阻值变化,通过转换电路将其转变成电量输出,电量变化的大小反映了被测物理量的大小。应变式电阻传感器是目前测量力、力矩、压力、加速度、重量等参数应用最广泛的传感器。工作原理电阻应变片的工作原理是基于应变效应,即在导体产生机械变形时,它的电阻值相应发生变化。如图3-1所示,一根金属电阻丝,在其未受力时,原始电阻值为R=式中:ρ——电阻丝的电阻率;L——电阻丝的长度;S——电阻丝的截面积。SL.（3-1）当电阻丝受到拉力F作用时,将伸长ΔL,横截面积相应减小ΔS,电阻率将因晶格发生变形等因素而改变Δρ,故引起电阻值相对变化量为SSLLRR式中ΔL/L是长度相对变化量,用应变ε表示LLΔS/S为圆形电阻丝的截面积相对变化量,即rrSS2（3-2）（3-3）（3-4）由材料力学可知,在弹性范围内,金属丝受拉力时,沿轴向伸长,沿径向缩短,那么轴向应变和径向应变的关系可表示为LLrr式中:μ——电阻丝材料的泊松比,负号表示应变方向相反。将式（3-3）（3-4）（3-5）代入式（3-2）,可得或)21(RR（3-6）)21(RR（3-7）（3-5）通常把单位应变能引起的电阻值变化称为电阻丝的灵敏度系数。其物理意义是单位应变所引起的电阻相对变化量,其表达式为21K（3-8）灵敏度系数受两个因素影响:一个是受力后材料几何尺寸的变化,即（1+2μ）;另一个是受力后材料的电阻率发生的变化,即（Δρ/ρ）/ε。对金属材料电阻丝来说,灵敏度系数表达式中（1+2μ）的值要比（（Δρ/ρ）/ε）大得多,而半导体材料的（（Δρ/ρ）/ε）项的值比（1+2μ）大得多。大量实验证明,在电阻丝拉伸极限内,电阻的相对变化与应变成正比,即K为常数。用应变片测量应变或应力时,根据上述特点,在外力作用下,被测对象产生微小机械变形,应变片随着发生相同的变化,同时应变片电阻值也发生相应变化。ΔR时,便可得到被测对象的应变值。根据应力与应变的关系,得到应力值σσ=E·ε（3-9）式中:σ——试件的应力;ε——试件的应变;E——试件材料的弹性模量。由此可知,应力值σ正比于应变ε,而试件应变ε正比于电阻值的变化,所以应力σ正比于电阻值的变化,这就是利用应变片测量应变的基本原理。电阻应变片特性一、电阻应变片的种类电阻应变片品种繁多,形式多样。但常用的应变片可分为两类:金属电阻应变片和半导体电阻应变片。金属应变片由敏感栅、基片、覆盖层和引线等部分组成,如图3-2所示。敏感栅是应变片的核心部分,它粘贴在绝缘的基片上,其上再粘贴起保护作用的覆盖层,两端焊接引出导线。金属电阻应变片的敏感栅有丝式、箔式和薄膜式三种。箔式应变片是利用光刻、腐蚀等工艺制成的一种很薄的金属箔栅,其厚度一般在0.003～0.01mm。其优点是散热条件好,允许通过的电流较大,可制成各种所需的形状,便于批量生产。薄膜应变片是采用真空蒸发或真空沉淀等方法在薄的绝缘基片上形成0.1μm以下的金属电阻薄膜的敏感栅,最后再加上保护层。它的优点是应变灵敏度系数大,允许电流密度大,工作范围广。半导体应变片是用半导体材料制成的,其工作原理是基于半导体材料的压阻效应。所谓压阻效应，是指半导体材料在某一轴向受外力作用时,其电阻率ρ发生变化的现象。半导体应变片受轴向力作用时,其电阻相对变化为)21(RR（3-10）式中Δρ/ρ为半导体应变片的电阻率相对变化量,其值与半导体敏感元件在轴向所受的应变力关系为E（3-11）式中:π——半导体材料的压阻系数。将式（3-11）代入式（3-10）中得)21(E（3-12）实验证明,πE比（1+2μ）大上百倍,所以（1+2μ）可以忽略,Ks=RR（3-13）半导体应变片突出优点是灵敏度高,比金属丝式高50～80倍,尺寸小,动态响应好。但它有温度系数大,应变时非线性比较严重等缺点。二、横向效应当将图3-3所示的应变片粘贴在被测试件上时,由于其敏感栅是由n条长度为l1的直线段和（n-1）个半径为r的半圆组成,若该应变片承受轴向应力而产生纵向拉应变εx时,则各直线段的电阻将增加,但在半圆弧段则受到从+εx到-μεx之间变化的应变,圆弧段电阻的变化将小于沿轴向安放的同样长度电阻丝电阻的变化。综上所述,将直的电阻丝绕成敏感栅后,虽然长度不变,应变状态相同,但由于应变片敏感栅的电阻变化较小,因而其灵敏系数K较电阻丝的灵敏系数K0小,这种现象称为应变片的横向效应。当实际使用应变片的条件与其灵敏系数K的标定条件不同时,或受非单向应力状态时,由于横向效应的影响,实际K值要改变,如仍按标称灵敏系数来进行计算,可能造成较大误差。当不能满足测量精度要求时,应进行必要的修正,为了减小横向效应产生的测量误差,现在一般多采用箔式应变片。三、应变片的温度误差及补偿1.应变片的温度误差由于测量现场环境温度的改变而给测量带来的附加误差,称为应变片的温度误差。产生应变片温度误差的主要因素有:1)敏感栅的电阻丝阻值随温度变化的关系可用下式表示：Rt=R0（1+α0Δt）(3-14)式中:Rt——温度为t℃时的电阻值;R0——温度为0℃时的电阻值;α0——金属丝的电阻温度系数;Δt——温度变化值,Δt=t-t0当温度变化Δt时,电阻丝电阻的变化值为ΔRt=Rt-R0=R0α0Δt（3-15）2)当试件与电阻丝材料的线膨胀系数相同时,不论环境温度如何变化,电阻丝的变形仍和自由状态一样,不会产生附加变形。当试件和电阻丝线膨胀系数不同时,由于环境温度的变化,电阻丝会产生附加变形,从而产生附加电阻。设电阻丝和试件在温度为0℃时的长度均为L0，它们的线膨胀系数分别为βs和βg,若两者不粘贴,则它们的长度分别为Ls=L0（1+βsΔt）（3-16）Lg=L0（1+βgΔt）（3-17）当二者粘贴在一起时,电阻丝产生的附加变形ΔL,附加应变εβ和附加电阻变化ΔRβ分别为ΔL=Lg-Ls=（βg-βs）L0Δt(3-18)εβ=ΔL/L0=（βg-βs）Δt(3-19)ΔRβ=K0R0εβ=K0R0(βg-βs)Δt(3-20)由式（3-15）和式（3-20）,可得由于温度变化而引起应变片总电阻相对变化量为tgKts)(00ttgKts)]([0000RRRRR可知,因环境温度变化而引起的附加电阻的相对变化量,除了与环境温度有关外,还与应变片自身的性能参数（K0，α0，βs）以及被测试件线膨胀系数βg有关。2.电阻应变片的温度补偿方法电阻应变片的温度补偿方法通常有线路补偿法和应变片自补偿两大类。1)电桥补偿是最常用的且效果较好的线路补偿法。图3-4所示是电桥补偿法的原理图。电桥输出电压U0与桥臂参数的关系为U0=A（R1R4-RBR3）（3-23）式中:A——由桥臂电阻和电源电压决定的常数。R1—工作应变片；RB—补偿应变片由上式可知,当R3和R4为常数时,R1和RB对电桥输出电压U0的作用方向相反。利用这一基本关系可实现对温度的补偿。测量应变时,工作应变片R1粘贴在被测试件表面上,补偿应变片RB粘贴在与被测试件材料完全相同的补偿块上,且仅工作应变片承受应变。当被测试件不承受应变时,R1和RB又处于同一环境温度为t℃的温度场中,调整电桥参数，使之达到平衡,有U0=A（R1R4-RBR3）=0（3–24）工程上,一般按R1=R2=R3=R4选取桥臂电阻。当温度升高或降低Δt=t-t0时,两个应变片的因温度而引起的电阻变化量相等,电桥仍处于平衡状态,即Uo=A［（R1+ΔR1t）R4-(RB+ΔRBt)R3］=0(3-25)若此时被测试件有应变ε的作用,则工作应变片电阻R1又有新的增量ΔR1=R1Kε,而补偿片因不承受应变,故不产生新的增量,此时电桥输出电压为Uo=AR1R4Kε（3-26）由上式可知,电桥的输出电压Uo仅与被测试件的应变ε有关,而与环境温度无关。应当指出,若实现完全补偿,上述分析过程必须满足四个条件:①在应变片工作过程中,保证R3=R4②R1和RB两个应变片应具有相同的电阻温度系数α,线膨胀系数β,应变灵敏度系数K和初始电阻值R0③粘贴补偿片的补偿块材料和粘贴工作片的被测试件材料必须一样,两者线膨胀系数相同。④两应变片应处于同一温度场。2)这种温度补偿法是利用自身具有温度补偿作用的应变片,称之为温度自补偿应变片。温度自补偿应变片的工作原理可由式（3-21）得出,要实现温度自补偿,必须有α0=-K0（βg-βs）（3-27）上式表明,当被测试件的线膨胀系数βg已知时,如果合理选择敏感栅材料,即其电阻温度系数α0、灵敏系数K0和线膨胀系数βs,使式（3-27）成立,则不论温度如何变化,均有ΔRt/R0=0,从而达到温度自补偿的目的。电阻应变片的测量电路由于机械应变一般都很小,要把微小应变引起的微小电阻变化测量出来,同时要把电阻相对变化ΔR/R转换为电压或电流的变化。因此,需要有专用测量电路用于测量应变变化而引起电阻变化的测量电路,通常采用直流电桥和交流电桥。一、直流电桥1.电桥如图3-5所示,E为电源,R1、R2、R3及R4为桥臂电阻,RL为负载电阻。)(4332110RRRRRREU（3-28）当电桥平衡时,U0=0,则有R1R4=R2R3或4321RRRR（3-29）式（3-29）称为电桥平衡条件。这说明欲使电桥平衡,其相邻两臂电阻的比值应相等,或相对两臂电阻的乘积相等。2.R1为电阻应变片，R2,R3,R4为电桥固定电阻，这就构成了单臂电桥。应变片工作时,其电阻值变化很小,电桥相应输出电压也很小,一般需要加入放大器放大。由于放大器的输入阻抗比桥路输出阻抗高很多,所以此时仍视电桥为开路情况。当产生应变时,若应变片电阻变化为ΔR,其它桥臂固定不变,电桥输出电压Uo≠0,则电桥不平衡输出电压为))(()(432114143321110RRRRRRRERRRRRRREU)1)(1(3412111134RRRRRRRRRRE设桥臂比n=R2/R1,由于ΔR1R1,分母中ΔR1/R1可忽略,并考虑到平衡条件R2/R1=R4/R3,则式（3-30）可写为1120)1(RRnnEU电桥电压灵敏度定义为2110)1(nnERRUKU从式（3-32）分析发现:①电桥电压灵敏度正比于电桥供电电压,供电电压越高,电桥电压灵敏度越高,但供电电压的提高受到应变片允许功耗的限制,所以要作适当选择;②电桥电压灵敏度是桥臂电阻比值n的函数,恰当地选择桥臂比n的值,保证电桥具有较高的电压灵敏度。当E值确定后,n值取何值时使KU最高？由dKU/dn=0求RU的最大值,得（3-33）求得n=1时,KU为最大值。这就是说,在电桥电压确定后,当R1=R2=R3=R4时,电桥电压灵敏度最高,此时有（3-34）KU=（3-35）0)1(132nndndKURREU1044E从上述可知,当电源电压E和电阻相对变化量ΔR1/R1一定时,电桥的输出电压及其灵敏度也是定值,且与各桥臂电阻阻值大小无关。3.非线性误差及其补偿方法由式（3-30）求出的输出电压因略去分母中的ΔR1/R1项而得出的是理想值,实际值计算为)1)(1(11110nRRnRRnEU(3-36)非线性误差为γL=11110001RRnRRUUU如果是四等臂电桥,R1=R2=R3=R4,则γL=1111212RRRR对于一般应变片来说,所受应变ε通常在5×10-3以下,若取KU=2,则ΔR1/R1=KUε=0.01,代入式（3-38）计算得非线性误差为0.5%;若KU=130,ε=1×１0-3时,ΔR1/R1=0.