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微焦X射线透视装置的应用（株）島津製作所試験計測事業部ＮＤＩ部10-1310-1210-1110-1010-910-810-710-610-510-410-310-210-11101102103104γ線Ｘ線紫外線可視光線近红外线红外线远红外线微波超短波短波中波長波超声波ｎｍ1Åμｍｍｋｍ緑青紫黄橙赤３８０４３０４９０５５０５９０６４０７８０ｎｍ可視光線波長λ(ｍ)pｍX射线···１８９５年１０月X射线被德国科学家伦琴所发现【性質】☆透過作用☆荧光作用☆化学作用☆電離作用☆生物学的作用【特征】☆在同等密度的场合下，厚的物质难透过☆在相同厚度的场合下，密度高的物质难透过（原子序数大的物质难透过）有关日常生活中的放射线「電離放射線障害防止規則」第２章第３条①放射線業務を行う事業の事業者は、外部放射線による実効線量当量と空気中の放射線物質による実効線量当量と空気中の放射線物質による実効線量当量との合計が１週間につき0.3ミリシーベルトを超えるおそれのある区域（以下「管理区域」という。）を標識により明示しなければならない。②前項に規定する外部放射線による実効線量当量の測定は、１センチメートル線量当量について行うものとする。③事業者は、必要のある者以外の者を管理区域に立ち入らせてはならない。•计算方法：从事X射线装置操作的操作人员，以每天工作8小时，1周六个工作日计算的场合、•0.3mmSv＝300μSv÷（８時間×６日）＝６．２５μSv／小时。•如果是在６．２５μSv以下的话，就在除法律规定的区域以外的地方、通常人的进入的话都不会产生影响。•岛津的X射线检查装置在设计时，全部完全、充分地的满足了在此要求以下的设计要求。X射线检查装置的安全性X射线的应用领域应用方法应用例计测·控制厚度计测・浓度计测・密度计测非破壊検査Ｘ線透視・Ｘ線ＣＴＸ線射照照相术透過作用診断Ｘ線撮影・Ｘ線透視Ｘ線ＣＴ・Ｘ線造影検査計測Ｘ線的計測・金属的应力測定電離作用分析荧光Ｘ線分析殺菌医療用器具的杀菌育種品种改良X射线的照射生物学的作用治療癌的治療密閉型開放型構造特長・灯丝是长寿命型的・灯丝的更换不可・相比较的话X管球的电流更大・焦点尺寸比开放型管球的大・不受管电流的影响、焦点尺寸基本上是一定的・灯丝的寿命约200小时・灯丝的更换用户就可以做，运行成本非常低・焦点尺寸极小・焦点尺寸受到管电压、管电流的影响島津装置型式・SMX-80,100,130・SMX-31・SMX-160系列・SMX-225系列密閉型Ｘ線管と開放型Ｘ線管電子銃（陰極）出力窓（Ｂｅ）陽極高電圧電源ユニットフィラメント制御回路ターゲットフォーカスコイルステアリングアノードフィラメント高電圧レセプタクルターボポンプ高電圧ケーブル小焦点微焦点样品实际成像成像的虚化(B)Ｂ＝F（M－1）F：焦点尺寸M：几何学的放大率成像的虚化部分非常少↓成像鲜明！焦点尺寸和成像虚化的关系ＢＢＡＢＢ（FＩD）几何学的放大率Ｍｇ＝Ａ（FOD）Ｘ線管球样品Ｘ線I.I.几何学的放大率根据放大率的变化所得成像的变化4英寸图象接受管微焦点X射线管球放大倍率X〜200样品例：调制解调器卡放大倍率X〜50放大倍率X〜1X射线发生部直径1μmAu金丝(20μ)焊接微焦X射线ＴＶ透视检查装置的构造Ｘ線Ｉ．Ｉ．（照相机）样品Ｘ－Ｙ－Ｚ载物台Ｘ線管球控制装置操作箱控制用计算机打印机高压变压器微焦X射线TV透视检查装置的用途１．电子、电器相关：ＩＣ・电容器・電池・多层电路板（PCB）・二极管等２．汽车相关：铝铸件・橡胶制品・树脂制品等３．化学制品相关：ＦＲＰ・树脂制品・陶瓷等４．宇宙、航空相关：机体、机翼等５．医药品相关：锭剂・安瓿（装注射液剂的小玻璃瓶）等６．体育用品：高尔夫球棒・高尔夫球・自行车部件・钓鱼竿等７．其他：铝罐等提高了解析能力（焦点尺寸的缩小）小焦点(过去机型)解析能力300μmFI-30密闭型微焦机型解析能力5～10μmSMX-80、100、130开放型微焦机型解析能力1μmSMX-160,225CT过去的LSI最新型LSI表面（左）背面（右）手机电话高集积化应用例ＩＣ（ＱＦＰ型）起始侧联结侧Ｘ５００Ｘ１５００ＬＥＤ焊接不良焊接不良应用例电解电容器从横向透视从上面透视应用例锂电池检查电极结合部的连接应用例电源ＩＣ金丝断线从横向透视断线状态应用例片式电容器层与层之间的裂缝应用例ＩＣ（ＢＧＡ型）球体的变形球体的气孔球体的搭桥从斜侧面透视结合状态应用例瓶盖螺纹紧密接触的状态螺纹松的状态应用例行业X射线的使用目的现状与未来检查倍率推荐透视装置机种竞争中的特长之一推荐CT装置机种1、半导体（QFP·BGA·CSP·MCM）气泡、金丝铅缺损及日益增长的高密度产品1000~2000SMX-160E、160ET1μm焦点，高解析画质图象清晰SMX-160CT2、片式电容（多层陶瓷）微观裂纹0.5mm大小的产品已经出现1000~2000SMX-160E、160ET1μm焦点，高解析画质图象清晰SMX-160CT3、电池(锂电子\镍氢)、电解电容器卷状、异物大大左右寿命的长短100~300SMX-31水平照射、5轴控制、操作性超群SMX-225CT4、LED接点状态大大左右寿命的长短100~300SMX-80\100或F系列简单高性能图象处理、电压自动调整SMX-130CT5、印刷电路板（大尺寸多层,柔性的）层间偏差计测在高密度下，偏差会产生问题1000~2000SMX-100同上、600×700、OK——印刷电路板（小尺寸多层,柔性的）SMX-160E、160ET1μm焦点，高解析画质图象清晰SMX-225CT(15mm程度6、开关、继电器接点状态、构造提高部品的可靠性100~300SMX-80\100或F系列简单高性能图象处理、电压自动调整SMX-130CT7、微型马达变芯、接合部振动和寿命100~300SMX-31水平照射、5轴控制、操作性超群SMX-225CT8、片式电阻卷线形状、接合状态提高寿命与性能1000~2000SMX-160E、160ET1μm焦点，高解析画质图象清晰SMX-160CT9、晶片等级CPS·BGA粘接率检查芯片小，焊球也小并且多，要求1000~2000SMX-160E可以对连续多数的点进行全自动检查9、其他电器产品内部缺陷、形状提高部品的可靠性100~300SMX-31或SMX-1301、移动电话关联2、游戏机接触左记产品或部件接合状态可以从斜向因为有高密度倾向，所以接触不1000~2000SMX-160ET焦点尺寸1μm，并且在不下降倍率的3、笔记本电脑的组装企业。或是用CT来确认良等的接触问题就会产生情况下，最大可以旋转600从斜向透4、数码相机视5、DVD1、薄的小件产品裂纹、气泡检查今后也是全部气泡的检查2~200SMX-31水平照射5轴多方向透视，高解析力SMX-130CT2、厚的、大的物件气泡（气孔）检查不能没有2~4倍FI-30或FI-355多目的性，操作性超群——裂纹、气泡检查今后也是全部气泡的检查2~200SMX-31水平照射5轴多方向透视，高解析力SMX-130CT气泡（气孔）检查不能没有2~4倍FI-30或FI-355多目的性，操作性超群——1、异物检查异物混入PL法、用HCCEP厂家为了高品质1~2倍SLDX-500或1500小型、并充实自动检查项目。2、形状解析300~1000SMX-160E1μm焦点，高解析画质图象清晰SMX-130CT[基础医学、齿科]：1、小动物实验药的效果、病理学免疫控制等的各种研究逐渐盛行2~200SMX-130CT2、小动物、细胞的X射线照射药效、癌研究起来HF-320高精度、高稳定度，世界一流[钢铁、金属部件]30mm以下HF-160高精度、高稳定1、铸件40mm以下铸件的沙眼维持状态HF-225根据透视或是摄影2、焊接物50mm以下焊接气孔基本上以超声波为主HF-320有多种机种可上下70mm以下HF-420选择100mm以下HF-450[食品、药品]：[电子线路]：原来的检查方式是通过破坏塑封材料后，所花时间长。现在的方法，不仅可以使产品再利用，而且可以立刻再现。[安装、装配]：用原来的X射线装置不能检测出安装在印刷线路板上的BGA的接合状态。[铝铸件]：因为有要比镁系强度更高的要求的部品的出现，同时要求进行欠缺检查[橡胶、树脂陶瓷]：