常用表面分析方法名称及用途

常用表面分析方法名称及用途探测粒子发射粒子分析方法名称简称主要用途ee低能电子衍射LowEnergyElectronDiffractionLEED结构e反射式高能电子衍射ReflectionHighEnergyElectronDiffractionRHEED结构e俄歇电子能谱AugerElectronSpectroscopyAES成分e扫描俄歇探针ScanningAugerMicroprobeSAM微区成分e电离损失谱IonizationLossSpectroscopyILS成分γ能量弥散X射线谱EnergyDispersiveX-raySpectroscopyEDXS成分e俄歇电子出现电势谱AugerElectronAppearanceSpectroscopyAEAPS成分γ软X射线出现电势谱SoftX-rayAppearanceSpectroscopySXAPS成分e消隐电势谱DisappearancePotentialSpectroscopyDAPS成分e电子能量损失谱ElectronEnergyLossSpectroscopyEELS原子及电子态I电子诱导脱附ElectronInducedDistributionEID吸附原子态及其成分e透射电子显微镜TransmissionElectronMicroscopeTEM形貌e扫描电子显微镜ScanningElectronMicroscopeSEM形貌e扫描透射电子显微镜ScanningTransmissionElectronMicroscopeSTEM形貌II离子探针质量分析IonMicroprobeMassSpectrographyIMMA微区成分I静态次级离子质谱StaticSecondaryIonMassSpectroscopySSIMS成分n次级中性粒子质谱SecondaryNeutral-ParticleMassSpectroscopySNMS成分I离子散射谱IonScatteringSpectrographyISS成分、结构I卢瑟福背散射谱RutherfordBackscatteringSpectroscopyRBS成分、结构e离子中和谱IonNeutralizationSpectrographyINS最表层电子态γ离子激发X射线谱IonExcitedX-raySpectroscopyIEXS原子及电子态探测粒子发射粒子分析方法名称简称主要用途γeX射线光电子谱X-rayPhotoemissionSpectroscopyXPS成分、结构e紫外线光电子谱Ultra-violetPhotoemissionSpectroscopyUPS分子及固体的电子态e同步辐射光电子谱SynchrotronRadiationPhotoemissionSpectroscopySRPES成分、原子及电子态γ红外吸收谱Infra-redSpectrographyIR原子态γ拉曼散射谱RamanScatteringSpectroscopyRAMAN原子态γ表面灵敏扩展X射线吸收谱细致结构Surface-sensitiveExtendedX-rayAbsorptionFineStructureSEXAFS结构γ角分解光电子谱AngularResolvedPhotoemissionSpectroscopyARPES结构I光子诱导脱附PhotonInducedDesorptionPID原子态εe场电子显微镜FieldElectronMicroscopeFEM结构I场离子显微镜FieldIonMicroscopeFIM结构I原子探针场离子显微镜AtomicProbeFieldIonMicroscopeAPFIM结构及成分e场电子发射能量分布FieldEmissionEnergyDistributionFEED电子态e扫描隧道显微镜ScanningTunnelMicroscopeSTM形貌Tn热脱附谱ThermalDesorptionSpectroscopyTDS原子态nγ中性粒子碰撞诱导辐射SurfaceCompositionbyAnalysisofNeutralandIonimpactRadiationSCANIIR成分n分子束散射MolecularBeamScatteringMBS结构AWAW声显微镜AcousticMicroscopeAM形貌摘自《表面分析技术》P3及附录Ⅲ2004年2月1日X射线激发原子后的去激过程（俄歇电子）射线）（特征（退激发）（光电子）（基态）eAXhvAAeA2*'{{摘自《表面分析技术》P2422004年2月28日