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《自动化技术与应用》２０１３第３２卷第６期收稿日期：２０１３－０５－０９位移传感器的技术发展现状与发展趋势刘焱，王烨（中国电子科技集团公司第四十九研究所，黑龙江哈尔滨１５０００１）摘要：位移传感器是新技术革命和信息社会的重要技术基础，是实现测试与自动控制重要环节。综述了位移传感器的技术发展现状，着重介绍和比较了主要类别传感器的工作原理、应用场合及优缺点，列举了一些位移传感器的应用实例，并对其未来的发展趋势做了展望。关键词：位移传感器；现状；发展趋势；分类；应用中图分类号：ＴＰ２１２文献标识码：Ａ文章编号：１００３－７２４１（２０１２）０４－００７６－０６PresentStatusandThrendofTechnicalDevelopmentofDisplacementSensorLIUYan,WANGYe(The49thResearchInstituteofChinaElectronicTechnologyGroupCorporation,Harbin150001ChinaAbstract:Displacementsensorisalsoanimportanttechnicalfoundationofnewtechnologicalrevolutionandinformationsociety,andisanimportantlinkstorealizetestingandautomaticcontrol.Thepresentstatusofdisplacementsensorisreviewed,andtheworkingprinciples,application,advantagesanddisadvantagesofthemajorclassificationsensorarefocusedon,andsomeapplicationexmplesofsensorarelisted.Atlastpossiblefuturedisplacementtrendsofdisplacementsensorarediscussed.Keywords:displacementsensor;presentstatus;developmentthrends;classify;application１引言传感器技术是现代科技的前沿技术，是测量技术、半导体技术、计算机技术、信息处理技术、微电子学、光学、声学、精密机械、仿生学、材料科学等众多学科相互交叉的综合性高新技术，是现代信息技术的三大支柱之一。位移是指物体位置对参考点产生的偏移量，是指物体相对于某参考坐标系一点的距离的变化量，它是描述物体空间位置变化的物理量［１］。位移传感器又称为线性传感器，是将位移转换成电量的传感器。位移传感器的发展经历了两个阶段，经典位移传感器阶段和半导体位移传感器阶段。２０世纪８０年代以前，人们以经典电磁学为理论基础，把不便于定量检测和处理的位移、位置、液位、尺寸、流量、速度、振动等物理量转换为易于定量检测、便于作信息传输与处理的电学量［２］。近２０年来，位移传感器种类繁多，应用领域不断扩大，同时有越来越多的创新技术被运用到传感器中，如基于ＯＥＭ的ＬＶＤＴ（ＬｉｎｅｒＶａｒｉａｂｌｅＤｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌＴｒａｎｆｏｒｍｅｒ）［３，４］技术、超声波技术、磁致伸缩技术、光纤技术、时栅技术［５］等，位移传感器技术已取得了突破性进展。由于技术的进步，使得各种传感器性能大幅度提高，成本大幅度降低，从而极大地扩展了应用范围，形成了一个高速增长的产业。２位移传感器的分类与发展现状２．１位移传感器原理分类由于位移传感器的工作原理、安装测量方式和所测量的被测量不同，其分类也各不相同，本文将按测量原理介绍位移传感器的分类。仪器仪表与检测技术InstrumentationandMeasurment《自动化技术与应用》２０１３年第３２卷第６期|77（１）电位器式电位器位移传感器分为绕线电位器和非绕线电位器２种：绕线电位器一般由电阻丝烧制在绝缘骨架上，由电刷引出与滑动点电阻对应的输入变化。电刷由待测量位移部分拖动，输出与位移成正比的电阻或电压的变化；常见的非线绕式电位器位移传感器是在绝缘基片上制成各种薄膜元件，如合成膜式、金属膜式、导电塑料和导电玻璃釉电位器等。（２）电阻应变式传感器是由弹性敏感元件和电阻应变片构成，当测量杆随试件产生位移时，弹性敏感元件在感受到测量杆变化而产生变形，其表面产生的应变与测量杆的位移成线性关系。这种传感器具有线性好、分辨率较高、结构简单和使用方便等特点，其位移测量范围较小，通常在０．１μｍ－０．１ｍｍ之间，测量精度小于２％，线性度为０．１％－０．５％。（３）电容式电容传感器通过位移来改变电容两个极板之间的距离，即将位移量转换成电容变化量进行测量的。它具有功率小、阻抗高、动态特性好、可进行非接触测量等优点；但是电容传感器存在寄生电容和分布电容，会影响测量精度，且常用的变隙式电容传感器存在测量量程小，存在非线性误差等缺点。一般使用极距变化型电容式位移传感器和面积变化型电容式位移传感器。（４）电感式电感式传感器利用电磁感应将被测位移转换成线圈的自感系数和互感系数的变化，再由电路转换为电压或电流的变化量输出，实现非电量到电量的转换。传感器分为自感式、互感式（如ＬＶＤＴ）、电涡流式三种。电感式传感器具有灵敏度和分辨力高，能测出０．０１微米的位移变化，传感器非线性误差可达０．０５％－０．１％。（５）磁敏式磁敏式传感器包含有磁致伸缩式、霍尔式、磁栅式、感应同步器。ａ．磁致伸缩线性位移（液位）传感器主要由测杆、电子仓和套在测杆上的非接触的磁环（浮球）组成。测杆内装有磁致伸缩线（波导丝）。工作时，由电子仓内的电子电路产生一起始脉冲，此起始脉冲在波导丝中传输时，同时产生了一沿波导丝方向前进的旋转磁场。当这个磁场与磁环（浮球）中的永久磁场相遇时，产生磁致伸缩效应，使波导丝发生扭动，产生扭动脉冲。这一扭动脉冲被安装在电子仓内的拾能机构所感知并转换成相应的电流脉冲，通过电子电路计算出两脉冲起始和返回之间的时间差，即可精确测出被测的位置或位移。ｂ．磁栅式位移传感器是一种测量位移的数字传感器，它是在非磁性体的平整面上镀一层磁性薄膜，并用录制磁头沿长度方向按一定的节距Ｋ录上磁性刻度线而构成的，因此又把磁栅称为磁尺。磁栅可分为单面型直线磁栅、同轴型直线磁栅和旋转型磁栅等。磁栅主要用于大型机床和精密机床的位置或位移量的检测元件。（６）光电式光电式位移传感器包含有光栅式、光纤式、激光式［１０］：ａ．激光传感器是一种非接触式的精密激光测量装置。它是根据激光光三角原理设计和制造的，由半导体激光机发出一定波长的激光光束，经过发射光学系统后会聚在被测物体表面，形成漫反射。该漫反射像经过光学系统后成像在ＣＣＤ上，并被转换成电信号。当被测面相对传感器在Ｙ方向移动时，漫反射像将移动，在ＣＣＤ光敏面上的成像也将跟着移动位置，这样即输出不同的电信号后，再将位移量最终转换成电信号，与其他设备进行接口。ｂ．光栅传感器属于数字式传感器，可以将位移转换为数字量输出。其原理是利用计量光栅的莫尔条纹现象进行位移测量的，它通常由光源、标尺光栅、指示光栅和光电器件组成。发光二极管经聚光透镜形成平行光，平行光以一定角度射向裂相指示光栅，由标尺光栅的反射光与指示光栅作用形成莫尔条纹，光电器件接收到的莫尔条纹光强信号经电路处理后可得到两光栅的相对位移。ｃ．光纤位移传感器分为元件型和反射型两种型式。元件型位移传感器通过压力或应变等形式作用在光纤上，使光在光纤内部传输过程中，引起相位、振幅、偏振态等变化，只要能测得光纤的特性变化，即可测得位移，在这里光纤是作为敏感元件使用的。反射式光纤位移传感器工作原理是入射光纤的光射向被测物体，被测物体反射的光一部分被接收光纤接收，根据光学原理可知反射光的强度与被测物体的距离有关，通过测得反射仪器仪表与检测技术InstrumentationandMeasurment《自动化技术与应用》２０１３第３２卷第６期仪器仪表与检测技术InstrumentationandMeasurment光的强度，可知物体位移的变化。（７）超声波位移传感器［１１］它是利用超声波在两种介质分界面上的反射特性而制作的。当已知从发射超声波脉冲开始时间到接收换能器接收到发射波为止的这个时间间隔，就可以计算出位移或物位。２．２位移传感器发展现状伴随着各国航空航天、船舶等军事领域，及工业控制和农业现代化的不断发展，对位移传感器的需求量也不断上升，同时要求位移传感器不断地进行技术革新，不断地有新技术、新材料的运用，以满足不同场合、不同环境条件的需求。具有代表性的新技术有：（１）自从导电塑料这种特殊的材料偶然发现以来，随着研究的不断深入，其应用也越来越广泛。２１世纪初，德国、日本和美国就开始将其用在精密角度传感器中作为敏感材料，将其制成电阻膜，使老式的传感器式角度传感器的结构大为精简，克服了传统的绕线式电位器位移传感器的分辨力差、摩擦阻力大和碳膜式电位器位移传感器的电噪声大、耐磨性差、使用寿命短的不足。输出精度大大提高，且具备极强的抗噪声能力和超长的机械寿命，被广泛应用于雷达、导弹、火炮等军事设备中，并已经拓展到民用领域。德国ＶＯＬＦＡ位移传感器的测量长度为５０～１０００ｍｍ，重复性为±０．０１３ｍｍ，线性为±０．０５％，寿命长为５０００万次（最高），噪声低，无断解像度。（２）ＬＶＤＴ式位移传感器由于其结构简单、抗恶劣环境好、工作稳定可靠等优点，而一直受到位移传感器使用者们的青睐。随着近３０年ＯＥＭ技术在传感器研制上的应用和ＬＶＤＴ信号处理电路如ＡＤ６９８等的不断开发，使得传感器正在逐渐向集成化、小型化和智能化发展。德国的米铱Ｍｉｃｒｏ－Ｅｐｓｉｌｏｎ、美国的Ｓｃｈａｅｖｉｔｚ、英国Ｍｉｃｒｏ－Ｅｐｓｉｌｏｎ等国际公司在ＬＶＤＴ传感器行业走在了前列，其最高精度可达０．０５％，绝对误差１ｕｍ，重复性０．１ｕｍ；中国也有阜新祥锐传感器有限责任公司、上海鑫杰传感测控科技有限公司、北京汇金祥科技有限公司、合肥硕锋电子科技有限公司等多家单位生产ＬＶＤＴ传感器，且技术成熟，并已不断开发出一体化、小型化的该类传感器。（３）近几年，采用了高科技材料和先进电子处理技术的磁致伸缩式位移传感器，由于其测量范围大（８０～５０００ｍ）、敏感元件无直接接触、可在高温高压和高振荡等极恶劣的工业环境中工作，不易受油渍、溶液、尘埃或其它污染的影响等优势，而被越来越多地用到工业自动控制的液位、位置、位移测量。在国外，美国ＭＴＳ磁致伸缩位移传感器等公司生产的磁致伸缩位移传感器走在前列，其非线性为０．０５％ＦＳ，重复性为０．００２％ＦＳ，迟滞最大为０．００１ｉｎ；美国ＲＥＮＹＷＥＬＬ公司又最新开发了基于该原理的非接触绝对位移传感器，采用ＤＵＡＬＷＡＶＥＰＵＬＳＥ专利技术，将电磁感应、磁致伸缩效应、差动补偿原理、误差平均效应和模块化设计有机结合，显著提高信噪比，降低工艺要求，实现大批量快速生产。在国内，北京航天金泰星测技术有限公司自１９９６年开始此时伸缩技术研究，生产的传感器已达到该类产品国际水平。（４）三角测量法是一种位移测量方法，其最大优点是非接触性测量。随着激光器的诞生及新的光电扫描技术与阵列型光电探测器的发展，计算机控制与数据处理使这种传统的方法有了很多新的进展。在国外，有代表性的该类产品有德国Ｍｉｃｒｏ－Ｅｐｓｉｌｏｎ公司的ｏｐｔｏＮＣＤＴ系列，其线性度达０．０３％～０．１％，分辨率为０．００５％～０．０１％，美国ＭＴＩ公司的ＭｉｃｒｏＴＲＡＫ系列等多种型号直射式位移传感器，其线性度达０．０５％；日本Ｋｅｙｅｎｃｅ公司的ＬＤ系列斜射式激光位移传感器。（５）由于低损耗光导纤维问世和检测用特殊光纤的开发，在光纤应用领域继光纤通信技术之后，又出现了一门崭新的光纤传感器过程技术。自２０世纪８０年代以来，光纤传感技术受到世界各国的极大重视，美国、日本和西欧等国家投入巨资开展光纤传感器的研究和开发。２０多年来，光纤传感器一直被设想为主导传感技术，但至今尚未实现。从目