TELEMARK880型晶控器用户手册

TELEMARK880型晶控器用户手册（2003年6月7日首版发行）（未经通知，TELEMARK公司有权变更该手册中的任何内容）2003年版权AMPHENOL是ALLIED公司的一个注册商标AMP是TYCO/AMP股份有限公司的一个注册商标CONFLAT是VARIANASSOCIATE股份有限公司的一个注册商标IBM是IMP公司的一个注册商标MICROSOFT是MICROSOFT公司的一个注册商标MICRODOT是MICRODOT股份有限公司的一个注册商标SWAGELOK是CRAWFORDFITTING公司的一个注册商标WINDOWS是MICROSOFT公司的一个注册商标1880型晶控器保证条款：兹保证：TELEMARK产品是由良好材料和工艺精制而成，符合规范规定要求，无任何加工弊端，质保期为12月。TELEMARK从其它公司采购的元器件，其保质期不会低于这些公司向TELEMARK公司所作的保证期限，上述条款在按照TELEMARK公司所供说明书进行正确操作的情况下有效，但TELEMARK公司对安装和使用不当、误操作、人为事故、锈蚀不承担任何质保责任，在该质保期间，TELEMARK公司将免费进行维修，但运输费用将有用户承担，TELEMARK公司有权对昀终质保条款内容进行调整。用户责任：用户要按照该手册及其附加内容之说明对该设备的正确操作和适当保养负责，正确操作包括：按时更换磨损、破碎和所缺的零部件。如果用户对装置的使用或安装有不理解的地方，应及时与TELEMARK公司联系。用户按照本手册中“安装部分”之说明完成对装置的正确安装是极其重要的，若因装置安装不当而造成的损坏，本公司所承诺的质保条款将无效。任何擅自对装置进行设计修改和功能变更都不属于本公司质保条款的质保范畴，一些后果均有用户承担。安全警告：常规防范措施：任何人接触真空系统内或真空系统附近的高压电路都会造成致命伤，在打开真空室门或拆卸面板时一定要关闭电源，在连接晶控器之前，一定要使所有的高压馈入装置与一个接地钩短接。保密:对资料保密可有助于TELEMARK设备用户更好的完成对设备的操作和维修，用户没有泄漏该资料之权力，未经TELEMARK公司的书面批准，严禁复制该资料和生产该说明书中的设备。2第1章：引言开箱：该880型晶控器带有电源导线和RS-232接口用的接头，同时还带有输入/输出接口和模拟输出接口（请参见备件清单上规定的备件目录）。如果用户同时也订购了OSC-100A型振荡器，那么这些元器件也将随晶控器一起提供。该晶控器的操作电压范围为90—264VAC，不需进行转换。若因其它一些原因需把晶控器返厂维修，首先应电话联系取得一个返厂材料授权号。简介：该晶控器可实现对高真空环境下单层镀膜或多层镀膜的自动化控制，同时，通过完成对蒸镀工艺的数字化控制来实现蒸镀膜层的高度稳定性和可重复性。其还可完全实现自动控制运行并带有较宽的性能极限选择和用户设定范围。第1．1节：手册说明在工作系统上操作晶控器之前，请认真阅读并理解本手册之内容，该手册中有正确设定说明和设定步骤例示以便让你能够知道该880型晶控器是怎样使用的。服务菜单中有一个测试模式，可用来对系统进行模拟测试，我们可以运用该模式通过设置各种参数和程序来完成对晶体探头的模拟测试，而不会在晶体失效时使该模拟的工艺中止，在该测试模式下，也可以对电源的控制电压进行模拟测试。该手册包括以下主要章节：规格、概述、菜单程序的确定与设置、硬件设置、主通讯接口详细说明、微平衡理论与维护保养。如果需要更进一步的帮助，请直接与TELEMARK公司联系（请参见第1.6节之内容）。在“规格”这一章节中，主要阐述了880型晶控器的软/硬件规格以及有关的光学元器件规格，软件包括可编程参数表。在“概述”这一章节中，主要阐述了怎样使用880以及880是怎样工作的这样的问题，该章节重点叙述了880型晶控器的主要功能以及元器件的主要功能以便让用户对其工作原理有更清楚的了解。另外，在其它一些地方还叙述了一些基本信息来作为辅助说明或作为下一章节的铺垫，这些信息内容对你来说是有用的而必须的。对于有经验的用户（熟悉晶控器的用户）来说，也应认真完成对这些章节的阅读。在“菜单程序和操作详细说明”这一章节中，主要详细的阐述了应用程序之内容，有经验的用户（熟悉晶控的用户）知道从这里开始阅读。把这些章节弄明白后，应阅读以前的章节内容。“目录和索引”对于查找章节内容是有帮助的，该章节包括有膜系编程、工艺控制步骤、导入菜单、屏显、前面板键、运行模式、存储器缺省值和详细参数以及程序总汇等说明。“硬件设置”这一章节主要阐述并演示了880型晶控器在整个系统中的接口连接、内部连接、外部连接和机械连接，“主通讯”的详细内容请参见第6章，校验与校验理论的详细内容清参见第7章。在“微平衡理论”和厚度读值校验这一章节中带有要确定的密度、Z系数和工装系数，未确定的数值没包括其中。3第1．2节：符号说明你必须要熟悉本手册规定的警告/安全/预警符号，这些符号有以下含义NOTE：强调一个重要方面或重要条件。CAUTION：警告可造成晶控器及其有关相连设备损坏的一个条件，同时也警告若不采取适当措施可造成的后果。或！警告有可能造成晶控器及其有关相连设备损坏的一个条件，同时也警告用户有可能存在的不安全形势，例示是静电感应、昀大额定功率和保险熔断等或警告用户、晶控器以及与之相连设备所处的危险状态。4第1.3节：目录扉页......................................................................................................1质保条款..............................................................................................2第1章:简介.........................................................................................3第1.0节...............................................................................................3开箱说明..............................................................................................3第1.1节...............................................................................................3手册说明:使用、主要内容和编排顺序.............................................3第1.2节..............................................................................................4手册规定符号说明..............................................................................4第1.3节:目录......................................................................................5第1.4节...............................................................................................11备件(包括880)....................................................................................11选用零件..............................................................................................11第1.5节...............................................................................................11选用晶体探头零件..............................................................................11第1.6节...............................................................................................12连接说明..............................................................................................12第1.7节...............................................................................................13产品规格..............................................................................................13第1.8节...............................................................................................14可编程参数目录..................................................................................14可编程参数子目录..............................................................................17第1.9节...............................................................................................19探头规格..............................................................................................19第2章:概述.........................................................................................21第2.0节...............................................................................................21880有什么用途?.................................................................................21第2.1节..............................................................................................22怎样使用880?.........................