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太原理工大学学报JournalofTaiyuanUniversityofTechnology本模板由不同论文拼凑而成，请主要关注格式和规范要求，忽略内容上的前后不对应请单栏排版TiO2纳米颗粒的制备、光催化性能及羟基自由基研究标题题目应恰当简明地反映论文内容，精确点明本文的独创性内容第一作者1，2，第二作者2（1.XXXX大学XX学院，山西太谷030801；2XXXX大学XXXX学院，山西太原030006）摘要：摘要内容应包括目的、方法、结果和结论；缩写词第一次出现时请用全称；不要出现公式、图表和参考文献序号。针对金属层间介质以及MEMS等对氧化硅薄膜的需求，采用等离子增强型化学气相淀积(PECVD)技术，以SiH4和N2O为反应气体，低温制备了SiO2薄膜。利用椭偏仪、应力测试系统对SiO2薄膜的厚度、折射率、均匀性以及应力等性能指标进行了测试，探讨了射频功率、反应腔室压力、气体流量比等关键工艺参数对SiO2薄膜性能的影响。结果表明：SiO2薄膜的折射率主要由N2O/SiH4的流量比决定，而薄膜均匀性主要受电极间距以及反应腔室压力的影响。通过优化工艺参数，低温260℃下制备了折射率为1.45~1.52（中文环境下，用波浪线表示数字范围），均匀性为±0.64%，应力在−350~−16MPa（量、单位和符号严格执行国家标准，不可使用非法定计量单位；数字与单位之间空一格）可控的SiO2薄膜。采用该方法制备的SiO2薄膜均匀性好，结构致密，沉积速率快，沉积温度低，且应力可控，可广泛应用于集成电路以及MEMS器件中。关键词：二氧化钛纳米颗粒；聚丙烯酰胺凝胶法；羟基自由基；光催化活性关键词应能够反映论文的主题内容,应精确、包含热点信息；注意避免与正文标题重复太多,以增大论文通过不同角度被检索到的可能性；以3~8个为宜，用分号分隔中图分类号：文献标志码：A文章编号：1672-6030(2013)00-0000-00（可列出一个或一个以上中图分类号，按《中国图书馆分类法》确定）Preparation,PhotocatalyticPropertiesandPhotogeneratedHydroxylRadicalsofTiO2Nanoparticles给出英文标题,内容应与中文对应,语序可根据中英文逻辑习惯方面的不同进行相应的调整（实词首字母大写）WEIQin1,2,WUDan2,ZHANGXuzhen2,LIChao2（姓全部大写）Abstract:Tomeetthedemandofinter-metaldielectric(IMD)缩写词第一次出现时请用全称（并将缩写写太原理工大学学报在全称后面的括号中）layersandmicroelectromechanicalsystems(MEMS),silicondioxidefilmsdepositedbyplasmaenhancedchemicalvapordeposition(PECVD)atlowtemperaturewithsilane(SiH4)andnitrousoxide(N2O)asprecursorgaseswasreported.Theellipsometerandstressmeasurementsystemwereusedtotestthethickness,refractiveindex,uniformityandthestressofSiO2film,andtheeffectsofratiofrequency(RF)power,chamberpressureandN2O/SiH4flowratioonthepropertiesofSiO2filmwerestudied.TheresultsshowedthattherefractiveindexofSiO2filmwasmainlydeterminedbyN2O/SiH4flowratioandtheuniformityofthefilmwasinfluencedbythedistancebetweenelectrodesandthechamberpressure.Moreover,byoptimizingtheprocessparameters,theSiO2filmsweredepositedat260℃,withtherefractiveindexmeasuredas1.45—1.52（英文环境下，数字区间用长划线表示）,theuniformityof±0.64%,andthestresswasefficientlycontrolledbetween−350MPato−16MPa.ThedepositedSiO2filmshavegooduniformity,compactstructure,highdepositionrate,lowdepositiontemperatureandcontrollablestress,whichwillbewidelyusedinintegratedcircuit(IC)andMEMSdevices.Keywords:titaniumdioxidenanoparticles;polyacrylamidegelroute;hydroxylradical;photocatalyticactivity（英文关键词用名词形式，不要用缩写；除专有名词外，一律小写。）以下是双栏排前言不编号前言中应简明扼要地介绍直接相关的领域内国内外研究现状，并针对现状中存在的问题或空白，引出本文的研究目的和主要内容。引言最后对本文工作的介绍不要与摘要和结论在文字表达上重复。引言中最好不包含图表和公式，不应详述同行熟知的基本理论。矢量水听器由于能够提供声场的矢量信息而成为当前国内外换能器领域研究的热点，Leslie等[1]将水听器安装在刚性的球形壳体中来测量水质点的振速，证实了水听器在低频段有较好的指向性。美国伊利诺斯州立大学的Fan等[2]通过模仿鱼类侧线器官的工作原理，研制出了微流量传感器。波恩大学的Izadi等[3]受鱼类侧线原理的启发，研究了纤毛式仿生微传感器。国内主要以哈尔滨工程大学、612厂、715所、声学所等单位为主积极进行矢量水听器技术研究，进行了大量湖海试，并初步实现了工程应用[4-6]。(参考文献在文内以上角标形式、按首次出现的先后顺序编号，文后参考文献的排列顺序应与在正文中出现的顺序相同。参考文献在前言标注之后，如果在正文中参考，也必须再次标注，编号是同一个。)但由于当前矢量水听器主要是同振式的，应用起来不太方便，且都是采用多个加速度计组合的方式实现空间声信号的探测，大大增加了矢量水听器的体积，且组合结构基准面的选择、对称性和浮力平衡的精度问题也将直接影响着水听器的指向性能[7-8]。薛晨阳等人[9-11]于2008年提出了一种MEMS仿生矢量水听器，将MEMS技术与仿生学引入到传统的水声换能器领域，实现了矢量水听器的小型化，且可刚性安装，得到国内同行专家的关注。然而，该水听器的接收灵敏度偏低（灵敏度为−197.7dB），且幅频响应波动较大。为此，本文改善了纤毛材料及纤毛与四梁微结构二次集成的问题，并设计了一种“半油半酯”的新型封装结构，旨在通过封装改进提高水听器的灵敏度和改善其频响曲线。1驱动原理（层次标题控制在3级之内，避免使用4级标题，一律用阿拉伯数字连续编号，如：“1”，“1.1”，“1.1.1”。）本文利用ANSYS软件对水听器结构进行了有限元仿真分析，纤毛的材料分别选用钢、塑料和光纤，材料属性如表1所示，建立的模型如图1所示。（正文中必须有与图/表呼应的文字出现在图/表的前面，且叙述应与图、表结果相符）沿Y轴负半轴方向加载1Pa的载荷进行静态分析，得到不同材料纤毛的应力曲线。表1三种纤毛材料属性表名应中英文对应，与正文之间空一行题名应能恰当、简明地反映论文内容Tab.1Propertiesofthethreedifferentmaterialsofcilia表题第一个单词首字母大写，其余小写；表注、表内文字均用中文。纵表头为自变量，横表头为因变量，即表中项目和该项目对应的数值应上下排列。纤毛材料密度/（kg·m-3）泊松系数弹性模量/Pa光纤2.32×1030.177.4×1010塑料1.18×1030.404.0×109钢7.85×1030.282.1×1011图1矢量水听器结构有限元模型图名应中英文对应，与正文之间空一行Fig.1Finiteelementmodelofthehydrophonestructure（图和表应在提到该图或该表的文字下方出现，不提前也不延后。英文题名第一个单词的首字母大写，其余小写。图中说明文字用中文。流程图、设备图要合理、简洁，不列与正文无关的内容。图片占单栏还是双栏要以图中结构和文字易辨识为准）在压电晶体表面加载交流电压会产生交变电磁场，由于应力场和电磁场的耦合作用，表面一定深度内的质点会做椭圆形的周期性运动形成声表面波，声表面波沿压电衬底表面传播。依据上述模型，由参考文献[12-13]可得，声波经过水-聚氨酯-油三层介质的透声系数为)(sin)/()(cos)(422223122221331LkZZZZLkZZZZT(1)经过水-聚氨酯两层介质的声波透声系数为1222124()ZZTZZ(2)式中：123,,ZZZZ1Z2Z3分别为海水、聚胺酯及油的特性阻抗；K2为声波在聚胺酯中传播的波数；L为聚胺酯层的厚度。（请用Word自带公式编辑器或Equation排版，不要做成图片形式。公式依出现的顺序编号。公式中出现的变量应在公式前后逐一解释其含义。变量及其上下标的正斜体的确定方法：变量（如物理量符号、坐标轴符号和表示变动性数字的符号）用斜体，英文缩写字母用正体；矩阵、向量、矢量和张量用黑斜体。太原理工大学学报尽量用单个字母作变量，避免使用英文组合字符作变量；一篇论文中同一字母只能表示一个变量；同一变量的字母大小写要统一。）2实验(对实验设备、过程和条件的介绍应全面)2.1压电衬底材料选择的特殊性本实验中器件在压电衬底材料的选择时必须考虑到以下3个因素。1）机电耦合系数KsKs为表示压电晶体的电能与机械能之间转换效率的物理量，反映了换能器的效率。为了最大限度地降低制造高频功率器件的难度，必须采用耦合系数较大的材料。2）晶体的周期性场条件从固体物理学的观点看，声波在晶体内传播的过程中，任何晶体的缺陷和损伤都会引起周期性场条件的破坏，从而严重影响波的稳态传播。3）微细加工的可行性考虑到所加工的器件的特性，材料必须可以用MEMS技术进行微细加工。2.2器件制造图2给出了在低频子图像中应用本文算法提取目标的实验结果。图2(a)和(c)是大小分别为256256的两幅SAR图像，图2(b)和(d)是应用本文算法提取出的目标，从提取的结果看，本文方法效果是非常好的，把所有的目标都提取出来了。(a)原始图像1(b)图像1目标提取结果(c)原始图像2(d)图像2目标提取结果图2SAR图像目标提取Fig.2ObjectextractionofSARimages每个分图应有单独的题名，分别放在各分图下方，总题名应能够概括所有分图的意思。，不必有英文分图名。题名应能恰当、简明地反映论文内容照片图要求图像清晰，层次分明，反差适中，电子显微镜和电镜照片应标明照片实际放大倍数或长度标尺。照片精度尽量保证在300dpi。2.3驱动系统搭建驱动系统由信号发生器、功率放大器和28V直流电源构成。其中，28V直流电源给功率放大器提供直流工作电源，调节信号发生器使其发生频率符合谐振频率（约为9.6MHz），从而实现液滴的驱动。随着煅烧温度的进一步升高，更多锐钛矿相转变为金红石相，使其失去最佳比例，导致光催化性能下降，同时粒径增大对光催化产生的不良影响也显现出来。另一方面，由于单相锐钛矿型TiO2的光催化性能优于单相金红石型TiO2。当产物完全转变为纯相金红石型TiO2时，其光催化效率要低于纯相锐钛矿型TiO2。3结果（和讨论）结果和讨论宜分章进行