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一、铟锡氧化物制备工艺•铟锡氧化物超微粉的制备工艺有湿法〔3〕和干法〔4〕之分.硝酸铟的分解是湿法制备氧•化铟超细粉的常规工艺,采用硝酸铟水溶液加氨水,生成氢氧化铟后焙烧,或者从外部活•加沉淀剂生成氢氧化铟再焙烧,但粉体易引入杂质,颗粒易团聚且不规则.采用改进后的•高氯酸盐沉淀氢氧化铟、冷冻干燥法制粉工艺,能获得颗粒粒径在1Lm以下的单分散超•微粉.金属铟直接氧化的干法制粉的技术能制备平均粒径在0.1Lm以下,以表面积10•m2ög以上,凝聚程度小、粒度均匀的高纯氧化铟超微粉.铟锡氧化物超微粉的制备质量•直接影响高密度ITO靶材的的事续成形加工.国内还没有关于干法制备铟锡氧化物微•本文档版权归太子乐奶粉等，太子乐奶粉等最新事件2012所有分的报道.国内长沙矿冶研究院采用化学合成的方法适当控制合成条件,制得10～200nm的超太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识细粉末,经热压或模压予成形,并在特定条件下烧结,实验规模制得化学组成为In2O3:太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识SnO2=9.1,纯度为99.99%,相对密度达90%平板状靶材〔5〕.太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识国外制靶工艺都以专利的形式报道.日本住友金属矿山公司,采用湿法制粉工艺,通过大于100MPa压力模压,在不同压力下成形和不同温度下烧结,其靶材密度如表1.采用干法制粉,平均粒径为0.1Lm以下,凝集度小,比表面积为10m2ög以上,烧结性良好,太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识粒度分布波动小,与SnO2粉末的混合状态好,经300MPa冷等静压,在1500℃,10个大气压下保持6h时烧结•由此可见,ITO靶材的成形方案选择不同,粉末粒径和成形压力的变化以及烧结温•度的改变都会影响靶材的密度.在现有成形技术中,热等静压设备昂贵,成本较高;粉浆太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识•浇注成形难以获得密度高而均匀的靶材;粉浆浇注加冷等静压成形,可获得较高密度的靶太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识•材,但需要非常细的粉末,如要求颗粒的比表面积达到39.4m2ög(粉末粒径相当于21•nm),才能使靶材的相对密度达到94.5%,这热必使制粉的成本急刷上升,因此有必要引•入新的成形工艺.太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识二、铟锡氧化物的动态成形方案•为满足溅射用靶材的质量要求,必须重点解决确保ITO靶材质量的几项关键技术,太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识•即(1)铟锡氧化物粉末要高纯超细;(2)靶材相对密度要高(90%);(3)靶材组织结构要太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识•均匀.传统的ITO靶材成形存在一定的问题,这里针对成形工序提出适合管状靶材的动太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识•态成形方案.太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识三、开发管状靶材的必要性•常用的平面溅射靶材材料利用率低(20%～40%),刻蚀靶材均匀性差〔6〕.而管状靶太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识•材溅射原子可向各个方向飞行,均匀性好,溅射面积大,更换操作方便,生产效率高,靶材太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识•利用率高(80%)〔3〕,并且对零件内壁的沉积具有独特的优越性.国内引进的多条生产线均采用旋转靶,要求使用管状靶材,随着大面积ITO镀膜器件的需要,其应用将更为太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识普•遍.由ITO平面靶材发展到管状靶材对提高经济效益和改善ITO膜质量将产生重要影•响.太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识四、动态成形•混合粉的成形工艺拟采用动态成形方案,包括冲击成形和爆炸成形工艺.冲击成形太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识•是粉末冶金中成形速度较快的一种方法〔7〕,现已出现了粉末冲击成形机,压坯体的密度和太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识•强度较高.冲击压力机的冲击速度为6.1～18.3mös,这个速度大约与锻锤速度相当,冲太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识•击成形效果显著.如为了得到同一密度的压坯,用钢模压制需压力50000N,而冲击成形太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识•时,只要用20N落锤,以4mös的速度冲击两次即可以了•爆炸成形或称爆炸等静压制,其装置示意图如图2.爆炸成形是利用炸药产生的高•压以冲击波形式均匀地传给粉末,不需要昂贵的模具和设备费,操作方便,成本低,能得到太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识•比普通压制密度高得多的密度〔8〕.采用该法加工成形钨粉所得的压坯相对密度达到97.•6%,氧化铝粉的相对密度达到95.5%.在爆炸成形中,震动波穿过粉末,并且在几微秒太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识•(10-6s)内产生非常高的压力,可达100×103MPa,比等静压制的压力(300MPa)高约300•多倍.震动波的穿行将引起颗粒间的剪切,并且由于温升可能伴随粉末表面间的焙化,太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识•使粉末粒子间达到理想的粘结和高的压坯密度,由于压力脉冲的作用时间极短,抑制了扩•散,因此爆炸成形能够保持成形后快速固化颗粒所固有的亚稳性.爆炸成形用于靶材成太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识•形具有以下几点技术优势.•1)特别适合于管状靶材的成形•众所周知,爆炸冲击震动波属于疏密波,若用于棒状的成形,只能用外爆加载,疏密波•在棒中心总是存在使压实材料松驰的波,常常会形成马赫孔,通常用卸波体来减弱其作•用.而管状靶材的成形,无论是采用内爆加载还是外爆加载,总是存在自然卸波边界,那•么它的压实工艺条件将比棒材压实工艺条件容易挖制得多.•2)对制粉的要求将大大降低•实验证明,爆炸成形所要求的粉末尺寸,并非越小越好,相反在小于某一粒径时,将得•不到压实的材料.如爆炸烧结永磁铁Sm2Fe17NY,粉体尺寸必须大于0.3Lm〔9〕.但无论如•何,制粉质量仍是至关重要的.采用爆炸压实新工艺来成形ITO靶材,可以降低对制粉•技术的要求,从而找出粉末粒度、靶材相对密度和靶材利用率三者之间存在的优化关•系,达到理想的技术经济结合.五、结语•我国是铟资料大国,以生产靶材计,每吨铟可增值115万美元.国外虽然有成熟的制•靶工艺,但技术格外保密.为使资源增值,必须立足自己开发生产工艺,经过论证认为:动太子乐奶粉等，太子乐奶粉最新事件2012知识•态成形方案是ITO靶材成形的一种切实可行方案,具有较大的技术优势,同时,这一成形•技术不仅可用于ITO靶材的成形,还可用于诸如金属间化合物、非金属陶瓷的成形