单晶硅废气处理工艺

XXXXX科技有限公司废气处理工程设计方案温州市XXXX科技有限公司北京XXXX上海院2007年6月XXXXX科技有限公司废气处理工程设计方案执行单位：温州市XXXX科技有限公司1目录1．总论.................................................................................................................22.废气处理工艺设计方案.................................................................................43.主要设备一览表..............................................................................................54.运行费用分析...................................................................................................55.投资估算...........................................................................................................7XXXXX科技有限公司废气处理工程设计方案执行单位：温州市XXXX科技有限公司21．总论1.1工程概况1.1.1工程名称及建设单位工程名称：XXXXX科技有限公司废气处理工程建设单位：XXXXX科技有限公司1.1.2项目来源XXXXX科技有限公司（下简称金西公司）是我国太阳能光伏电池片的重点生产企业，公司现位于XX县城区，根据XX县城市发展规划，企业必须整体搬迁。为此公司投资13200万元，在XX工业园区，（二期）即茶场片区征地，新建厂房及辅助用房，购置国际先进的太阳能电池制造设备、多线切割机、硅单晶炉、切片机、切方机等先进设备，形成年产25兆瓦太阳能光伏电池的生产能力。该项目为新建项目，项目投产后，生产加工过程中有一定量的酸洗及清洗废水，根据新建项目执行“三同时”法规要求，废水排放前需达到污水国家综合排放一级标准。企业领导对此非常重视，决定在厂房设计建设同时，与之配套的环保设施也同时建设，并采取科学、合理、规范的环保工艺对排放的废气进行处理，达到良好的社会、经济效益和环境效益。受主主委托，现将处理方案编制如下，供业主方及各主管部门评审。1.1.3废气产生情况本项目工艺流程为：废气后续工艺*****多晶硅腐蚀清洗烘干装炉抽真空加热拉晶切头尾切方滚磨XXXXX科技有限公司废气处理工程设计方案执行单位：温州市XXXX科技有限公司3工艺废气中的HF、HNO3等执行《大气污染综合排放标准》（GB16297-1996）的二级排放标准即：排放标准项目排放浓度（mg/m3）二级排放速率限值HF9.020ug/m3氮氧化物2400.12mg/m31.1.6主要污染因子理化性质：1）硝酸：分子式HNO3，分子量63.01，纯品为无色透明发烟液体，有酸味。熔点-42℃/无水，沸点86℃/无水，与水混溶，相对密度（水=1）1.50（无水）。硝酸属高毒类，其蒸汽有刺激作用，引起粘膜和上呼吸道的刺激症状，如流泪、咽喉刺激感、呛咳、并伴有头痛、头晕、胸闷等。长期接触可引起牙齿酸蚀症，皮肤接触引起灼伤。硝酸具有强氧化性，与易燃物（如苯）和有机物（如糖，纤维素等）接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。与碱金属能发生剧烈反应。具有强腐蚀性。2）氢氟酸分子式HF，分子量20.01，无色透明有刺激性臭味的液体，商品为40%的水溶液。熔点-83.1℃（纯），沸点120℃（35.3%），与水混溶，相对密度（水=1）1.26(75%)。氢氟酸急性毒性为LC501276ppm（1小时，大鼠吸入）。对皮肤有强烈的腐蚀作用，能穿透皮肤向深层渗透，形成坏死和溃疡，且不易治愈。眼接触高浓度氢氟酸可引起角膜穿孔。接触其蒸气，可发生支气管炎、肺炎等。长期接触可发生呼吸道慢性炎症，引起牙周炎，氟骨病。氢氟酸腐蚀性极强，遇H发泡剂立即燃烧。能与普通金属发生反应，放出氢气而与空气形成爆炸性混合物。1.2设计范围设计范围为：自废气收集系统至废气高空排放系统间所涉及范围内的土建工程、机XXXXX科技有限公司废气处理工程设计方案执行单位：温州市XXXX科技有限公司4械设备工程、电气和仪控制工程、管线与安装工程等。1.3设计指导思想(1)认真贯彻执行国家关于环境保护工作的方针、政策，使方案设计符合国家有关法规规范和标准。(2)废气排放情况及排放要求，力求选用技术先进，稳妥可靠，处理效率高，维修管理简便，占地面积小，投资少，运行费用低的处理工艺。1.4设计依据（1）《中华人民共和国环境保护法》1989.10.26（2）《中华人民共和国大气污染防治法》1987.9.5（3）《浙江省大气污染防治条例》2003.9.1；（4）《大气污染综合排放标准》（GB16297-1996）（5）《车间空气HF卫生标准》（GB16231—1996）（6）《年产25兆瓦太阳能光伏电池技改项目》环境影响报告书；（7）同类废废气处理工程的设计、施工及运行资料。2.废气处理工艺设计方案2.1废气处理工艺流程废气收集系统一级吸收器填料吸收塔吸收器集气罩废液排入污水处理系统尾气排放引风机泵泵储槽储槽XXXXX科技有限公司废气处理工程设计方案执行单位：温州市XXXX科技有限公司53.主要设备一览表3.1废气处理设备一览表序号名称规和或型号单位数量备注1一级吸收器10003000台1PP材质2填料吸收塔10003000台1PP材质3引风机6000m3/h5.5kw台14循环泵10m3/h15m1.5kw台25排气筒60015m支16排气筒保护架套17吸收塔支架套18碱液计量槽只1PP材质9风管及收集系统套11011电气设备套13.2运行费用分析A.电费单位数据总装机功率Kw8.50使用功率Kw8.50每度电电费(暂定)元/Kw.hr0.65每日运行Hr10A、每日电费元/日55.25B.处理药费单位每日耗量单价费用备注XXXXX科技有限公司废气处理工程设计方案执行单位：温州市XXXX科技有限公司6药剂投加量Kg/d252元/Kg50.0元C、每日总运行费元/日A+B=105.25XXXXX科技有限公司废气处理工程设计方案执行单位：温州市XXXX科技有限公司74.投资估算4.1HCl废气处理设备报价表单位：万元序号名称规和或型号单位数量单价合价1一级吸收器10003000台11.501.502填料吸收塔10003000台12.002.003引风机6000m3/h5.5kw台10.500.504循环泵10m3/h15m1.5kw台20.200.405排气筒60015m支1厂方统一同锅炉6排气筒保护架套10.100.107吸收塔支架套10.100.108电气设备套10.200.209风管及收集系统套1根据现场统计11安装费0.200.2012运杂费0.250.25合计5.255.售后维修服务全套设备质量保证期为一年，起始日期以设备进厂单机正常运转，双方签收为准。在质保期内由于供方原因而发生问题，由供方负责解决，以确保用户正常使用，但由于使用单位违反操作规程造成的损失，需收取一定费用；项目验收后，若在运转中发生工艺问题，供方可现场派人帮助解决，或免费进行咨询，必要时收取一定费用，以双方签定合约为准。