刻蚀机作业指导书

1.目的本指导书规定了M42200-2/UM等离子体刻蚀机操作人员的工作步骤、操作方法及注意事项，指导该岗位操作人员按规定操作。2.适用范围适用于M42200-2/UM等离子体刻蚀机的所有操作人员。3.规范性引用文件无4.职责4.1设备动力处负责指导操作工操作设备、维护设备。4.2操作员工负责设备的日常维护保养。5.术语和定义无6.流程图无7.正文内容7.1上电：打开电源控制柜相应刻蚀机的断路器，按下操作面板的电源电源按钮;7.2通气：打开工作气体（N2，O2，CF4）截止阀，并调整压力在0.2Mpa左右；打开压缩空气调压阀，设定在0.5Mpa左右。7.3预热：打开真空泵与射频电源电子管“预热”按钮，待机5分钟。7.4操作步骤7.4.1打开电脑，点击桌面应用软件进入手动操作界面，进入操作界面点击“充气”指示灯亮后进行充气，反应室内压力达到大气压时会有报警提示，此时可以打开密封盖。7.4.2将硅片按照工艺要求装夹，并小心放入反应室内，盖好密封盖；湖北键多新能源股份有限公司编号QJ/SR3603–2008编制控制状态等离子体刻蚀机作业指导书审核批准实施日期2008年5月8日第A版/第0次修改第01页共02页7.4.3点击自动按钮“自动”状态，并按下“运行”按钮，此时设备将自动运行。7.4.4本机的工艺过程为：预抽---主抽---恒压---辉光(反应室平台旋转)---充氮气---抽空---充气。7.4.5工艺结束时报警提示，关掉“运行”按钮后才能打开上盖，取片。7.5关机：7.5.1最后一批次结束后，可空运转到第三个工艺流程即“辉光”前按下“运行”键，使“运行”指示灯灭。7.5.2然后关掉泵开关，并依次关掉射频开关“按钮和面板电源开关。7.5.3关掉控制柜内电源开关。7.6注意事项7.6.1工作过程中抽风机不得停止,另外操作人员要严密关注气体流量及反射功率情况。7.6.2未经培训人员严禁接触设备；一旦发生意外请及时通知设备人员解决。7.6.3变动工艺时如：变动装夹负载容量时必须匹配调试。7.6.4气体流量及各工作过程时间设定严格根据工艺进行变动。8.支持性文件无9.附录无