刻蚀机设备操作规程

CSUN刻蚀机设备操作规程一、开机1.检查电压、特气、氮气、压缩空气、冷却水等压力是否正常2.从电源柜送电至设备电源控制器3.打开电源（需按下绿色电源按钮）4.打开真空泵电源按钮开关5.打开工控机按钮开关6.打开射频电源按钮开关7.启动视窗作业系统8.执行PSM、进入系统主操作界面视窗，包括开机动作的任何已执行的动作均在视窗内提示9.进入此视窗后可依不同的要求进入不同的功能界面执行各种功能（注：操作人员登录只能进入自动运行权限，工艺人员如需更改工艺参数，需要记录好每次修改参数，以便出现问题及时查找原因）10.登陆进入要运行工艺界面后、进入自动运行界面即可二、基本操作1.每次交接班后，每班必须及时清理腔体内碎片，用无尘布檫拭腔体2.拿到刻蚀夹具后，摆放好位置进行装片，一定要保持其平面整齐，等装好硅片后锁紧，不能遗漏正面的螺丝档杆3.打开腔体炉门，将夹具放置旋转平面上，等放好后用手旋转几周，检查以免在旋转时夹具侧滑4.按RUN系统自动运行所设计的制程。按确认后，系统开始执行所设计的制程5.按LOG可提示执行记录6.离开自动操作模式时，选择STOP&EXIT就会出现离开选择对话框，选择YES将回到主见面7.等刻蚀完成后，报警指示灯亮后拿出硅片、卸片即可三、关机：1.退出自动运行界面后，点击离开、退出程序即可2.关闭显示器后，关闭射频电源3.关闭真空泵开关4.关闭电源开关（需按下红色电源按钮）（生产过程中发现问题，请及时补充）注：请按照操作规程操作设备严禁随意更改设备参数，违者从严处理