北方微调试方案

微电子装备楼等4项工程项目洁净空调系统调试方案编制：审核：批准：中国电子系统工程第四建设有限公司北方微电子项目部2011年4月微电子装备楼等4项工程项目洁净空调系统调试方案1目录一、系统概况..................................................................................................................................2二、调试依据..................................................................................................................................2三、测试流程..................................................................................................................................3四、调试测试..................................................................................................................................41.单机试运转..........................................................................................................................42.环境保洁..............................................................................................................................43.空吹......................................................................................................................................44.系统总风量测试方法：......................................................................................................45.风平衡调整..........................................................................................................................56.洁净区静压差测试..............................................................................................................67.洁净度测试：（静态）........................................................................................................78.洁净区照度测试..................................................................................................................99.洁净区噪声测试................................................................................................................10微电子装备楼等4项工程项目洁净空调系统调试方案2一、系统概况微电子装备楼4项工程项目洁净区在1#建筑一层，洁净区面积大约8000余平方米，分为东区和西区两部分。洁净区分为4个级别。东区：J5级区域：P108检测区；J6级区域：P110PVD区、P112刻蚀区、P115净化清洗区、P119LED清洗包装区、P117aLED刻蚀区、P117bLED黄光区；J7级区域：P120b净化走道；J8级区域：P120a净化走道、P102更衣间、P122净化仓库、P123研发试验区、P121机电装配区、P130大型零件来料区、P129RFLAB；洁净空调形式：1.MAU（JK-1/2）+FFU（424台）+DCC（47台），服务于J5、J6级区域；2.MAU（JK-1/2）+RCU（12台）+HEPA（148台），服务于J7、J8级。西区：J7级区域：P101制绒/清洗/刻蚀/去PSG；J8级区域：P102扩散间、P103扩散灰区、P105PECVD区、P106丝印烧结、P107包装区、P108PECVD设备组装试验区洁净空调形式：1.MAU（MAU-1/2）+HEPA（20台），服务于J7级区域；2.MAU（MAU-1/2）+HEPA（20台）、RCU（9台）+HEPA（68台），服务于J8级（除108外）区域；3.AHU（AHU-1/2）+球星喷口（38台）、RCU（4台）+球形喷口（19个），服务于P108房间。非洁净空调系统：两台AHU机组（K-1/2）,服务于一次更衣间、换鞋间、预留净化区、非净化仓库、大型设备放置区、周转卸货区、门厅、值班室、办公室、参观走廊等区域二、调试依据1.《微电子装备楼等4项工程项目-设计图纸》2006-01-102.《通风与空调工程施工质量验收规范》GB50243-20023.《洁净厂房设计规范》GBJ50073-2001微电子装备楼等4项工程项目洁净空调系统调试方案3三、测试流程调试准备单机试运转1、拆除机组临时固定件2、清洁机组内部3、初效过滤器加无纺布保护洁净区回风口加无纺布保护4、打开系统全部风阀5、点动检查风机转向6、检查风机电机的工作电流空吹（不少于48小时）环境保洁1、检查系统阀门开启状态：系统阀门全部处于开启状态，包括防火阀、电动阀等AHU的新风阀开启60%左右，其他阀门全开。2、MAU、RAU、AHU等以30~40Hz运行3、检查各房间的压力情况安装高效过滤器滤芯、FFU再次空吹总风量测试1、空吹完成后拆除无纺布1、通过风机变频调整系统总风量风平衡调整静压差调整洁净度测试噪声测试照度测试出具测试报告微电子装备楼等4项工程项目洁净空调系统调试方案4四、调试测试1.单机试运转首先拆除机组的临时固定间，并对机组功能段内部进行清洁处理，检查风机箱内是否有异物。开启系统上全部风阀，包括机组风阀、电动风阀、防火风阀、末端的全部风阀。在机组的初效过滤器以及所有末端回风口处安装无纺布对系统进行保护。能够进行手工盘动的传动机构应先手盘检查，确认旋转无阻碍。点动确认风机转向正确。将机组风机逐步提高到工频（50Hz），检查风机的工作电流并对着机组铭牌进行检查。需注意开启时间不应过长，且开启时最低工作频率不低于25Hz。单机试运转前应对洁净区环境进行彻底保洁。2.环境保洁对洁净区以及回风夹道内的环境要彻底保洁。3.空吹MAU、AHU、RAU以及全新风系统的JK机组等同时以30~40Hz的频率下运行。空吹时间建议不低于48小时检查系统阀门的开启状况，同时对房间的压力情况进行监视，避免房间的静压过大对壁板或顶部造成损害，对于静压过大的房间须打开房门泄压。对无风的送回风口进行处理。空吹完成后安装高效过滤器滤芯及FFU4.系统总风量测试方法：总风量测试前再次确认系统阀门的状态：对于全新风系统上所有的阀门都应处于全部开启状态；对于循环机组系统的新风阀开启度调整到60~70%的程度，系统上其他阀门均处于全部开启状态。采用热球式风速仪在各机组的主干管的直管段上对风速进行测试，换算成总风量。测试点尽量避开弯头、三通、阀门等阻力元件，避免紊流对风速的影响因素。微电子装备楼等4项工程项目洁净空调系统调试方案5测试操作方法见下示意图干管内风速测试示意图风量换算：通过风管截面的风量L（m3/h）可按下式确定：L=3600FV式中：F——风管截面积（m2）；V——测定截面内的平均风速（m/s）实测系统总风量误差不得超过设计总风量的±10%。总风量调整通过调整风机的工作频率来实现。5.风平衡调整风平衡调整可利用风量罩或热球式风速仪高效送风口的风量可通过风量罩直接罩住进行测量，直接读数；也可采用风口法测量：风口法是在安装有高效过滤器的风口处，根据风口形状连接辅助风管进行测量。即用镀锌钢板或其他不产尘材料做成与风口形状及内截面相同，长度等于2倍风口长边长的直管段，连接于风口外部。在辅助风管出口平面上，按最少测点数不少于6点均匀布置，使用热球式风速仪测定各测点之风速。然后，以求取的风口截面平均风速乘以风口净截面积求取测定风量；对于风口上风侧有较长的支管段，且已经或可以钻孔时，可以用风管法确定风量。测量断面应位于大于或等于局部阻力部件前3倍管径或长边长，局部阻力部件后5倍管径或长边长的部位；微电子装备楼等4项工程项目洁净空调系统调试方案6通过调节该高效送风口上方的调节阀来控制末端风量；室内各高效送风口风量应在设计风量的±15%范围以内为合格。调整操作方法见下示意图。利用风量罩进行风平衡调整操作示意图利用热球式风速仪进行风平衡调制操作示意图6.洁净区静压差测试洁净室的静压差利用微压差计进行。测试条件：在各区域门窗全部关闭的状态下进行测试调整。在系统风平衡状态下，通过调整末端回风量、泄漏风量的方法来调整房间的压力。房间之间的静压差通过将微压差计采样管穿过相邻房间门缝来测量。验收标准：各洁净区及洁净室之间的静压差应符合设计要求。当无设计要求时，则按照洁净区对外界静压差不得小于10Pa；高等级对低等级洁净室之间的静压差不得小于5Pa的原则进行调整。静压差测试操作示意见下图。高效过滤器或FFU风速仪显示器风速仪探头套帽式风量罩高效过滤器微电子装备楼等4项工程项目洁净空调系统调试方案7静压差测试操作示意图7.洁净度测试：（静态）洁净度测试采用2.83升的尘埃粒子计数器进行。判定粒径：0.5μm、5μm。洁净区内对应洁净级别的尘埃粒子浓度限值应符合《洁净度级别及悬浮粒子浓度限值表》的规定（见下表）。洁净度级别及悬浮粒子浓度限值表洁净度等级大于或等于表中粒径D的最大浓度Cn（pc/m3）0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm1.0μm5.0μm1102----210024104--31000237102358-4100002370102035283-51000002370010200352083229610000002370001020003520083202937---3520008320029308---3520000832000293009---352000008320000293000微压差计压差计软管另一端通过门缝到进另一间洁净室门壁板微电子装备楼等4项工程项目洁净空调系统调试方案8洁净度等级大于或等于表中粒径D的最大浓度Cn（pc/m3）0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm1.0μm5.0μm注：1、本表仅表示了整数值的洁净度等级（N）悬浮粒子最大浓度的限值。2、洁净度等级定级的粒径范围为0.1~5.0μm,用于定级的粒径数不应大于3,且其粒径的顺序级差不应小于1.5倍采样点位置：采样点均匀分布在整个洁净室或洁净区内，测点高度0.8m；特殊情况采样位置根据工作区域确定，如激光大厅主要工艺设备的工作区域在3至6米钢桁架上，因此重点对此区域的洁净度进行检测。采样