《激光原理及应用》陈家璧第二版-第七章

7.1激光热加工原理1.无论是哪一种激光加工的方法，都要将一定功率激光束聚焦于被加工物体上，使激光与物质相互作用。在不同激光参数下的各种加工的应用范围如图7-1示图7-1各种参数条件下激光加工的可能应用和影响7.1激光热加工原理1.对激光与材料的相互作用过程的物理描述可以分为以下四个方面：(1)材料对激光的吸收激光热加工时首先发生的是材料对激光能量的吸收。透入材料内部的光能主要对材料起加热作用。不同材料对不同波长激光吸收率不同。假设材料表面反射率为R，则吸收率为RA1当激光由空气垂直入射到平板材料上时，根据菲涅尔公式，反射率为2221222121111nnnnnnR(2)材料的加热设入射激光束的光功率密度为qi，材料表面吸收的光功率密度为q0，则有RqAqqii10激光从表面入射到材料内部深度为处的光强azeqzq0一般将激光在材料内的穿透深度定义为光强降至I0/e时的深度，因而穿透深度为1/a7.1激光热加工原理(2)材料的加热为了得到加热阶段的温度分布，必须求解热传导微分方程。对于各向同性的均匀材料，激光加热的热传导偏微分方程的一般形式为tzyxQzTzyTyxTxtTctttl,,,如果光功率的损耗全部变成热量，则有tzyxqtzyxQ,,,,,,从理论上讲，根据加工时的各工艺参数以及初始条件，可以解出加工过程中激光照射区的温度场分布。但实际加工时，各方面的因素使热传导方程的求解十分困难简化：如果半无限大（即物体厚度无限大）物体表面受到均匀的激光垂直照射加热，被材料表面吸收的光功率密度不随时间改变，而且光照时间足够长，以至被吸收的能量、所产生的温度、导热和热辐射之间达到动平衡，此时圆形激光光斑中心的温度可以由下式确定trAPT0,07.1激光热加工原理(2)材料的加热如果光照时间为有限长(s)，考察点离开表面的距离(cm)也不为零，此时圆形激光光斑中心轴线上考察点的温度为ktrzierfcktzierfcktrAPtzTt222,20220进一步假设照射激光是高斯光束，且入射到表面上的光束有效半径为，则激光光斑的功率密度可用离开中心的距离表示为220exprSSrqrq持续加热得到的光斑中心的温度最大值为trSAqT2302,0,0(2)材料的熔化与汽化激光功率密度过高，材料在表面汽化，不在深层熔化；激光功率密度过低，则能量会扩散到较大的体积内，使焦点处熔化的深度很小7.1激光热加工原理(4)激光等离子体屏蔽现象如图7-2所示，为等离子云变化的过程激光作用于靶表面，引发蒸汽，蒸汽继续吸收激光能量，使温度升高，最后在靶表面产生高温高密度的等离子体。等离子体迅速向外膨胀，在此过程中继续吸收入射激光，阻止激光到达靶面，切断了激光与靶的能量耦合。图7-2等离子云变化的过程1.激光淬火技术，又称激光相变硬化，它利用聚焦后的激光束照射到钢铁材料表面，使其温度迅速升到相变点以上。当激光移开后，由于仍处于低温的内层材料的快速导热作用，使表层快速冷却到马氏体相变点以下，获得淬硬层。7.2.1激光淬火技术的原理与应用2.图7-3为一台柔性激光加工系统的示意图。它通过五维运动的工作头把激光照射到被加工的表面，在计算机控制下直接扫描被加工表面完成激光淬火图7-3柔性激光加工系统示意图3.激光淬火可以使工件表层0.1到1.0mm范围内的组织结构和性能发生明显变化。图7-4所示为45钢表面激光淬火区横截面金相组织图图7-4钢表面激光淬火区横截面金相组织图4.图7-5所示为该淬火区显微硬度沿深度方向的分布曲线7.2.1激光淬火技术的原理与应用图7-5该淬火区显微硬度沿深度方向的分布曲线图5.依据激光器的特点不同，激光淬火可分为CO2激光淬火和因素YAG激光淬火。但两者中影响淬硬性能的主要基本相同1)材料成分：是通过材料的淬硬性和淬透性来影响激光淬硬层深度与硬度的。一般说来，随着钢中含碳量的增加，淬火后马氏体的含量也增加，激光淬硬层的显微硬度也就越高，如图7-6所示。图7-6基材含碳量与激光淬火层显微硬度的关系7.2.1激光淬火技术的原理与应用5.依据激光器的特点不同，激光淬火可分为CO2激光淬火和因素YAG激光淬火。但两者中影响淬硬性能的主要基本相同2)激光工艺参数：激光淬火层的宽度主要决定于光斑直径；淬硬层深度由激光功率、光斑直径和扫描速度共同决定；描述激光淬火的另一个重要工艺参数为功率密度，即单位面积注入工件表面的激光功率。为了使材料表面不熔化，激光淬火的功率密度通常低于104W／cm2，一般为1000-6000W／cm2。3)表面预处理状态：一是表面组织淮备，即通过调质处理等手段使钢铁材料表面具有较细的表面组织，以便保证激光淬火时组织与性能的均匀、稳定。如图7-7为原始组织及扫描速度对激光淬硬层深度的影响；二是表面“黑化”处理，以便提高钢铁表面对激光束的吸收率。图7-7原始组织及扫描速度对激光淬硬层深度的影响7.2.2激光表面熔凝技术1.用激光束将表面熔化而不加任何合金元素，以达到表面组织改善的目的。与激光淬火工艺相比，激光熔凝处理的关键是使材料表面经历了一个快速熔化一凝固过程，所获得的熔凝层为铸态组织。工件横截面沿深度方向的组织依次为：熔凝层、相变硬化层、热影响区和基材，如图7-9所示。图7-9激光熔凝处理后横截面组织示意图2.图7-10给出了激光熔凝处理后，T10钢表面显微硬度沿深度方向的分布。图7-10T10钢激光熔凝层显微硬度沿淬硬层深度的分布7.2.3激光熔覆技术1.激光熔覆(LaserCladding)技术亦称激光包覆、激光涂覆、激光熔敷，是一种新的表面改性技术。它通过在基材表面添加熔覆材料，利用高功率密度的激光束使之与基材表面一起熔凝的方法，在基材表面形成与其为冶金结合的添料熔覆层，以改善其表面性能的工艺。2.激光熔覆技术具有如下优点图7-11同步送料法激光熔覆示意图3.激光熔覆工艺依据材料的添加方式不同，分为预置涂层法和同步送料法。4.同步送料法指在激光束照射基材的同时，将待熔覆的材料送入激光熔池，经熔融、冷凝后形成熔覆层的工艺过程。激光熔覆材料包括金属、陶瓷或者金属陶瓷，材料的形式可以是粉末、丝材或者板材，工艺过程如图7-11所示。。7.2.3激光熔覆技术5.评价激光熔覆层质量的主要指标为：熔覆层厚度、宽度、形状系数(宽度／厚度)、稀释率、硬度及其沿深度分布、基板的热影响区深度及变形程度等。典型熔覆层的截面示意图见图7-12图7-12熔覆层的截面示意图6.激光熔覆层的宽度主要决定于光斑直径；而激光熔覆层的厚度与送粉量、扫描速度、功率密度等参数密切相关。7.常用激光熔覆材料包括镍基、铁基、钻基、铜基自熔合金、以及上述合金与碳化物(WC、TiC、SiC等)，颗粒组成的金属陶瓷复合粉末以及Al203、ZrO2等陶瓷材料。常用的基材包括钢铁、铝合金、铜合金、镍合金和钛合金等。1.激光打孔原理：激光打孔机的基本结构包括激光器、加工头、冷却系统、数控装置和操作面盘（图7-13）。加工头将激光束聚焦在材料上需加工孔的位置，适当选择各加工参数，激光器发出光脉冲就可以加工出需要的孔。7.3.1激光打孔图7-13激光打孔机的基本结构示意图2.激光打孔时材料的去除主要与激光作用区内物质的破坏及破坏产物的运动有关。严格分析激光打孔的成因需要解决激光打孔时产生的蒸气和粘性液体沿孔壁流动的动力学问题，这里只根据一些实验关系，建立一个唯象的描述对激光打孔的激光束几何参数和总能量与孔的深度和孔径之间的关系进行估算7.3.1激光打孔图7-14激光打孔几何原理简图2.激光打孔的激光束几何参数和总能量与孔的深度和孔径之间的关系进行估算。如图7-14的激光打孔原理简图如果在t时刻孔的底面半径为r(t)，孔深为h(t)，则有thtgrtr0考虑材料从孔底蒸发，而熔化的液体从孔壁流走，t时刻的能量守衡方程为drthtrLdhtrLdttPMB22当时，可以近似解出用激光加工的总能量表示的孔深度和孔径为0)(rth31223MBLLtgEh3123MBLLEtghtgr7.3.1激光打孔图7-14离焦量对打孔质量的影响3.激光打孔工艺参数的影响※脉冲宽度对打孔的影响：脉冲宽度对打孔深度、孔径、孔形的影响较大。窄脉冲能够得到较深而且较大的孔；宽脉冲不仅使孔深度、孔径变小，而且使孔的表面粗糙度变大，尺寸精度下降。※激光打孔中离焦量对打孔的影响当激光聚焦于材料上表面时，打出的孔比较深，锥度较小。在焦点处于表面下某一位置时相同条件下打出的孔最深；而过分的入焦和离焦都会使得激光功率密度大大降低，以至打成盲孔（图7-15）。7.3.1激光打孔3.激光打孔工艺参数的影响※被加工材料对打孔的影响※脉冲激光的重复频率对打孔的影响用调Q方法取得巨脉冲时，脉冲的平均功率基本不变，脉宽也不变，重复频率越高，脉冲的峰值功率越小，单脉冲的能量也越小。这样打出的孔深度要减小。材料对激光的吸收率直接影响到打孔的效率。由于不同材料对不同激光波长有不同的吸收率，必须根据所加工的材料性质选择激光器。4.应用实例：用激光加工系统打薄板筛孔图7-15薄板打孔效果图7.3.2激光切割1.激光切割的原理与特点切割过程中激光光束聚焦成很小的光点（最小直径可小于0.1mm）使焦点处达到很高功率密度（可超过106W/cm2）。如图7-17所示为激光切割头的结构，除了透镜以外它还有一个喷出辅助气体流的同轴喷嘴。2.激光切割的特点图7-15激光切割头的结构示意图3.激光切割分类及其机理※汽化切割:工件在激光作用下快速加热至沸点，部分材料化作蒸汽逸去，部分材料为喷出物从切割缝底部吹走。这种切割机制所需激光功率密度一般为108Ｗ/cm2左右，是无熔化材料的切割方式※熔化切割:激光将工件加热至熔化状态，与光束同轴的氩、氦、氮等辅助气流将熔化材料从切缝中吹掉。熔化切割所需的激光功率密度一般为107Ｗ/cm2左右※氧助熔化切割:金属被激光迅速加热至燃点以上，与氧发生剧烈的氧化反应（即燃烧），放出大量的热，又加热下一层金属，金属被继续氧化，并借助气体压力将氧化物从切缝中吹掉。7.3.2激光切割4.激光切割的工艺参数及其规律※激光功率:激光切割时所需功率的大小，是由材料性质和切割机理决定的。※切割速度:在一定功率条件下，板厚越大，切割速度越小。切割速度对切口表面粗糙度也有较大影响。※喷嘴：喷嘴是影响激光切割质量和效率的—个重要部件。激光切割一般采用同轴(气流与光轴同心)喷嘴，喷嘴出口直径大小应依据板厚加以选择。另外，喷嘴到工件表面的距离对切割质量也有较大影响，为了保证切割过程稳定，这个距离必须保持不变。※气体的压力：在功率和切割材料板厚一定时，有一最佳切割气体流量，这时切割速度最快。随着激光功率的增加，切割气体的最佳流量是增大的。※光束在质量、透镜焦距和离焦量：激光器输出光束的模式为基横模时对激光切割最为有利。光斑大小与聚焦透镜的焦距成正比。短焦距的透镜虽然可以得到较小光斑，但焦深很小。离焦量对切割速度和切割深度影响较大，切割过程中必须保持不变，一般离焦量选用负值，即焦点位置置于切割板面下面某一点。7.3.2激光切割5.工业材料的激光切割※金属材料的激光切割:二氧化碳激光器成功的用于许多金属的切割实践；利用氧助熔化切割方法切割碳钢板的切缝可控制在满意的宽度范围内；大多数合金结构钢和合金工具钢都能够用激光切割方法得到良好的切边质量；铝及铝合金不能用氧助熔化切割而要熔化切割机制；飞机制造业常用的钛及钛合金采用空气作为辅助气体比较稳妥，可以确保切割质量；大多数镍基合金也可实施氧助熔化切割；铜及铜合金反射率太高，基本上不能用10.6μ的二氧化碳激光进行切割。※非金属材料的激光切